一种高浓臭氧发生器的制作方法

1.本实用新型涉及半导体处理技术领域，尤其涉及一种高浓臭氧发生器。


背景技术：

2.臭氧是当前可获得除氢氟酸外氧化电位最高的光谱高效强氧化物质，由于臭氧具有现场可制备，无需存储，生产过程无污染，后处理仅为氧气，没有任何有毒残留，不形成二次污染，节约化学试剂成本等诸多优点，当前伴随着半导体行业，光伏行业的发展，臭氧在硅基片处理工艺过程中的应用越来越广泛，半导体和光伏行业持续的对臭氧生产设备在臭氧产量，臭氧浓度，设备运行稳定性等方面提出更高的要求，传统臭氧设备需要不断进行技术升级以满足新的需求。
3.现有的臭氧发生器，通常针对放电单元采用水冷方式，对高压整流器与变压器等采用风冷方式，各个单元空间上独立分开，造成臭氧发生器体积偏大，不适宜半导体和光伏行业的应用需求，同时传统臭氧生产设备在设备运行稳定性，设备维修保养方面难以满足长时间稳定运行，不停机维护保养的需求。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有的臭氧发生器，通常针对放电单元采用水冷方式，对高压整流器与变压器等采用风冷方式，各个单元空间上独立分开，造成臭氧发生器体积偏大，不适宜半导体和光伏行业的应用需求，同时传统臭氧生产设备在设备运行稳定性，设备维修保养方面难以满足长时间稳定运行，不停机维护保养的需求的缺点，而提出的一种高浓臭氧发生器。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种高浓臭氧发生器，包括壳罩，所述壳罩的顶端安装有提手，且壳罩的内部连接有高压整流器，所述高压整流器的底部安装有底部水冷板，且底部水冷板的底端连接有托板；
7.所述高压整流器的内侧安装有变压器，且变压器的另一侧连接有放电板，所述放电板的顶端安装有散热风扇；
8.所述壳罩与托板之间通过固定螺钉相连接；
9.所述放电板的外侧连接有侧部水冷板，所述壳罩的内壁嵌合安装有固定磁板，且固定磁板的另一侧磁性连接有磁性片，并且磁性片在散热风扇的外壁啮合连接。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述侧部水冷板关于放电板的中轴线对称设置有两组，且放电板的中轴线与底部水冷板的中轴线相重合。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述侧部水冷板与底部水冷板之间呈垂直分布，且底部水冷板与托板之间呈平行分布。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述散热风扇的顶端固定安装有滑块，且滑块的外壁滑动连接有滑道，所述滑道的外壁固定安装有固定板，所述滑块的外壁贴合连接有限位块，且限位块的一侧固定安装有拉杆，所述拉杆的外壁套设有复位弹簧。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述滑块呈“t”形，且滑块通过滑道与固定板之间构成滑动结构。
18.作为上述技术方案的进一步描述：
19.所述散热风扇通过滑块、限位块、固定板与壳罩之间构成固定结构，且限位块通过拉杆、复位弹簧与壳罩之间构成弹性结构。
20.综上，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：
21.1、本实用新型中，通过在壳罩的内部进行集成式的水冷和风冷的结构，从而达到了降低放电板工作温度的效果，并且减小了臭氧发生器的体积，提高臭氧发生器的冷却效率，更高的冷却效率意味着放电板更低的工作温度，而臭氧发生器工作温度的降低直接提升了臭氧浓度指标和臭氧产量指标，实现了臭氧发生器的高浓度，并且散热风扇吹动的冷却风流经高压整流器表面和变压器表面，冷却风的流动一方面进行散热为高压整流器和变压器提供适宜的散热温度，一方面带走因水冷板的低温所带来的冷凝水汽，防止冷凝水产生，提升了设备的安全性，通过这样的设置，相比传统臭氧生产设备，极大提高了设备运行的可靠性，并且减小了设备的占用体积。
22.2、本实用新型中，通过变压器的外壁与水冷板之间贴合连接，则使变压器工作过程的散热传导到水冷板，从而使散热后变压器是始终处于最适宜的工作温度，提升了设备的工作可靠性。
23.3、本实用新型中，通过滑块与滑道的设置，则使散热风扇可以通过滑块在壳罩的内部进行拆卸，便于用户对单组臭氧发生单元进行拆卸，实现了设备运行过程中的不停机维护，消除了传统臭氧生产设备故障并停机时的产线损失，保证了臭氧发生器的工作效率。
附图说明
24.图1为本实用新型中一种高浓臭氧发生器的立体结构示意图；
25.图2为现有的臭氧发生器的内部结构示意图；
26.图3为本实用新型中一种高浓臭氧发生器的内部正面结构示意图；
27.图4为本实用新型中一种高浓臭氧发生器的侧面结构示意图；
28.图5为本实用新型中图3的a处放大结构示意图。
29.图例说明：
30.1、壳罩；2、提手；3、高压整流器；4、底部水冷板；5、托板；6、变压器；7、放电板；8、散热风扇；9、固定螺钉；10、侧部水冷板；11、固定磁板；12、磁性片；13、滑块；14、滑道；15、固定板；16、限位块；17、拉杆；18、复位弹簧。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的
实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
32.参照图2，现有的臭氧发生器，在臭氧发生器的内部针对放电单元采用水冷方式，对高压整流单元与变压器单元等采用风冷方式，各个单元空间上独立分开，从而造成臭氧发生器设备体积偏大，不能够适宜半导体和光伏行业的应用需求，同时，现有的臭氧生产设备在设备运行稳定性，设备维修保养方面也难以满足长时间稳定运行，不停机维护保养的需求。
33.参照图1、图3、图4和图5，一种高浓臭氧发生器，包括壳罩1、提手2、高压整流器3、底部水冷板4、托板5、变压器6、放电板7、散热风扇8、固定螺钉9、侧部水冷板10、固定磁板11、磁性片12、滑块13、滑道14、固定板15、限位块16、拉杆17和复位弹簧18，壳罩1的顶端安装有提手2，且壳罩1的内部连接有高压整流器3，高压整流器3的底部安装有底部水冷板4，且底部水冷板4的底端连接有托板5；
34.高压整流器3的内侧安装有变压器6，且变压器6的另一侧连接有放电板7，放电板7的顶端安装有散热风扇8，在散热风扇8的外壁设置磁性片12，在磁性片12与固定磁板11的磁性作用下，则使散热风扇8在壳罩1的内部实现限位；
35.壳罩1与托板5之间通过固定螺钉9相连接，通过固定螺钉9的设置，则使壳罩1与托板5之间的固定方便，确保了单元在壳罩1内部的安全性；
36.放电板7的外侧连接有侧部水冷板10，壳罩1的内壁嵌合安装有固定磁板11，且固定磁板11的另一侧磁性连接有磁性片12，并且磁性片12在散热风扇8的外壁啮合连接，在固定磁板11与磁性片12的磁性作用下，则使散热风扇8带动放电板7、变压器6和高压整流器3在壳罩1内部的固定效果提高，确保了单元在壳罩1内部的稳定性。
37.进一步的，侧部水冷板10关于放电板7的中轴线对称设置有两组，且放电板7的中轴线与底部水冷板4的中轴线相重合，侧部水冷板10与底部水冷板4可以最高效的利用冷却水对放电板7整体进行散热，由于臭氧浓度指标与放电板7的温度是强相关的，更高的散热效率和更低的水温可以有效提高臭氧浓度指标。
38.进一步的，侧部水冷板10与底部水冷板4之间呈垂直分布，且底部水冷板4与托板5之间呈平行分布，通过侧部水冷板10与底部水冷板4以及散热风扇8对放电板7、变压器6的集成设置，避免了了传统臭氧发生器散热效率低，系统可靠性低，不便于维护保养，臭氧产量低等缺陷。
39.进一步的，散热风扇8的顶端固定安装有滑块13，且滑块13的外壁滑动连接有滑道14，滑道14的外壁固定安装有固定板15，滑块13的外壁贴合连接有限位块16，且限位块16的一侧固定安装有拉杆17，拉杆17的外壁套设有复位弹簧18，在复位弹簧18的作用下，则使限位块16始终在外壁对滑块13进行限位，则使滑块13在限位块16与固定板15之间进行限位固定。
40.进一步的，滑块13呈“t”形，且滑块13通过滑道14与固定板15之间构成滑动结构，通过滑块13对壳罩1的内部单元进行拆卸，则使臭氧发生器在工作过程中发生故障时，可以快速的进行不停机切换维修，而传统臭氧生产设备中由于多个放电模块集中作为一个功能单元，使得任意一块放电板7出现故障时都需要设备进行停机，由于在臭氧生产设备是需要使用多达十数个放电板7，这样就极大的降低了设备的可靠性，并且降低的工作效率，后期
维护不方便。
41.进一步的，散热风扇8通过滑块13、限位块16、固定板15与壳罩1之间构成固定结构，且限位块16通过拉杆17、复位弹簧18与壳罩1之间构成弹性结构，通过操作拉杆17带动限位块16活动，则使滑块13可以在滑道14的内部滑动，从而使壳罩1内部的任何一个放电板7发生故障时都只需要停止故障放电板7工作，同时启用备用放电板7，而不需要整机停机，使得设备具有高可靠性和非常优异的可维护性，支持设备长时间不停机运行。
42.工作原理：使用时，通过在散热风扇8的顶部固定安装滑块13，在滑块13与滑道14的滑动作用下，通过散热风扇8与放电板7的固定连接，则使散热风扇8带动放电板7的在壳罩1的内部进行安装，在磁性片12与固定磁板11的磁性连接作用下，则使散热风扇8与放电板7在壳罩1的内部固定，同时，在复位弹簧18的弹性作用下，则使拉杆17带动限位块16对滑块13外壁进行限位，确保散热风扇8、放电板7、变压器6、高压整流器3在壳罩1内部的固定效果，实现散热风扇8、放电板7、变压器6、高压整流器3在壳罩1内部的单元式安装，便于用户根据不同需求的臭氧浓度和流量指标，灵活的对单元进行组合式安装，提高了装置使用的灵活性，同时，在底部水冷板4与侧部水冷板10的作用下，在冷却水进行分流的作用下，使得冷却水可以更具针对性的对放电板7进行散热，冷却水既通过流经放电板7进行散热，同时在水冷板与放电板7的外表面进行贴合的作用下，也对放电板7的外围壳体进行散热，从而可以最高效的利用冷却水对放电板7整体进行散热，通过变压器6与高压整流器3的设置，则使高压整流器3与放电板7产生的热量传导到水冷板，通过冷却水带出，保证了高压整流器3与变压器6始终工作在最佳温度区域，而散热风扇8吹出的冷却风流经变压器6的上半部带走热量，进一步提升散热效率，同时散热风扇8提供的冷却风也可以带走因水冷板的低温所带来的冷凝水汽，使得壳罩1内部始终不会发生冷凝水现象，保证了设备的安全性，就这样完成该装置的工作原理。
43.以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。