一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体的制作方法

1.本实用新型涉及微波等离子体运用技术领域，具体为一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体。


背景技术：

2.在工业运用过程中，现有未必等离子在进行激励腔体时通常是做简单隔离或不隔离，无法做到激励腔的有效密封，现有技术处理腔尺寸会受波导尺寸和水冷设计等限制，使得设备处理能力受限，现有技术处理腔微波特性通常使用石英管、陶瓷管、蓝宝石等透波材料穿过激励腔的形式，会使腔体尺寸比较受限，使得此类材质在微波能量比较高的情况下，受到等离子的刻蚀及温度影响比较大，容易损坏，且在出来氟化物时，易受氟离子的腐蚀。
3.本实用新型提出一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体。


技术实现要素：

4.本实用新型提供一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，本实用新型可以使可以使微波激励腔体与处理部分成为整体，有效激发等离子体，减少现有技术下等离子对的处理腔的刻蚀，大大提高设备的使用时间，缩短维修维护时间，适用于工业生产。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，包括进气通路、压缩传输波导以及密封件，所述进气通路上通过压缩激励腔体密封连接有压缩传输波导，所述压缩传输波导靠近进气通路一侧安装有密封件，密封件远离压缩传输波导一侧设置有安装在压缩激励腔体内部的阻热板。
6.进一步地，所述压缩激励腔体内部开设有与阻热板配合连接的腔体。
7.进一步地，所述密封件为聚四氟乙烯、陶瓷、石英或蓝宝石制成。
8.进一步地，所述压缩传输波导、压缩激励腔体以及密封件通过螺栓进行组装。
9.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
10.1、本实用新型通过密封件可以使整体处理部分在真空密闭环境下工作，防止处理有毒有害气体时对环境和工作人员的危害。
11.2、本实用新型在密封件处通过采用聚四氟乙烯、陶瓷、石英或蓝宝石等材料能有效减少现有技术下等离子对处理腔的刻蚀，大大提高设备的使用时间，缩短维修维护时间，适用于工业生产。
12.3、本实用新型通过螺栓进行连接，便于更换，提高工业生产的效率。
附图说明
13.1-压缩激励腔体、2-压缩传输波导、3-进气通路、4-密封件、5-阻热板。
14.图1为本实用新型一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体的正视剖视图。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.根据本实用新型的一实施方式结合图1示出：一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，包括进气通路3、压缩传输波导2以及密封件4，进气通路3上通过压缩激励腔体1密封连接有压缩传输波导2，压缩传输波导2靠近进气通路3一侧安装有密封件4，密封件4远离压缩传输波导2一侧设置有安装在压缩激励腔体1内部的阻热板5，通过阻热板5进行隔热，防止温度过高对内部造成损坏。
17.压缩激励腔体1内部开设有与阻热板5配合连接的腔体，该设计提高了连接处的密封性，密封件4为聚四氟乙烯、陶瓷、石英或蓝宝石制成，该设计能有效减少现有技术对进气通路3内部处理腔的刻蚀，压缩传输波导2、压缩激励腔体1以及密封件4通过螺栓进行组装，该设计通过螺栓连接拆装方便，进气通路3内部处理腔通常采用。
18.作为本实用新型的一个实施例，微波等离子通过压缩传输波导2进行传递时，通过密封件4进行密封，可以使整体处理部分在真空密闭环境下工作，防止处理有毒有害气体时对环境和工作人员的危害，通过密封件4阻隔等离子，使进气通路3内部激励腔体采用的石英等透波材质远离等离子中心区域，因为离子具有的快速复合效应，因此可以大大减少离子对于进气通路3内部激励腔体的刻蚀作用，对于处理含氟化合物的分解，防止氟化硅的产生具有良好的效果。
19.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，其特征在于，包括进气通路(3)、压缩传输波导(2)以及密封件(4)，所述进气通路(3)上通过压缩激励腔体(1)密封连接有压缩传输波导(2)，所述压缩传输波导(2)靠近进气通路(3)一侧安装有密封件(4)，密封件(4)远离压缩传输波导(2)一侧设置有安装在压缩激励腔体(1)内部用于防离子的阻热板(5)。2.根据权利要求1所述的一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，其特征在于：所述压缩激励腔体(1)内部开设有与阻热板(5)配合连接的腔体。3.根据权利要求1所述的一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，其特征在于：所述密封件(4)为聚四氟乙烯、陶瓷、石英或蓝宝石制成。4.根据权利要求1所述的一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，其特征在于：所述压缩传输波导(2)、压缩激励腔体(1)以及密封件(4)通过螺栓进行组装。

技术总结
本实用新型公开了一种基于工业运用的微波等离子体激励腔体，包括进气通路、压缩传输波导以及密封件，进气通路上通过压缩激励腔体密封连接有压缩传输波导，压缩传输波导靠近进气通路一侧安装有密封件，密封件远离压缩传输波导一侧设置有安装在压缩激励腔体内部的阻热板，本实用新型可以使整体处理部分在真空密闭环境下工作，防止处理有毒有害气体时对环境和工作人员的危害，能有效减少现有技术下等离子对的处理腔的刻蚀，大大提高设备的使用时间，缩短维修维护时间，适用于工业生产。适用于工业生产。适用于工业生产。


技术研发人员：黄嘉杰 邬明旭 韩文锋 于洪威 欧阳浩 张钦
受保护的技术使用者：合肥优飞材料科技有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/5/4