声波装置及其制造方法与流程

本发明关于射频通信，特别是用于射频通信中的一种声波装置及其制造方法。

背景技术：

1、表面声波(surface acoustic wave，saw)装置可用于电信号与声信号的转换及传递。表面声波装置具有诸多用途。举例而言，saw滤波器用以滤除噪声及留下特定频段的无线信号，具有传输损耗小、抗电磁干扰性能佳、体积小的特性，因此被广泛应用于各种通信产品。然而现有的saw滤波器会产生能量泄漏，造成质量因子下降。此外，表面声波装置亦可用作谐振器(resonator)。

技术实现思路

1、本发明实施例提供一种声波装置，包含压电基板、换能器及下凹部。换能器设置在压电基板的表面上，且包含第一母线、第一电极、第二母线及第二电极。第一母线沿第二方向延伸。第一电极具有第一末端，及从第一母线沿第一方向延伸至第一末端。第二母线沿第二方向延伸。第二电极具有第二末端，及从第二母线沿第一方向延伸至第二末端，第二电极与第一电极在第二方向上间隔设置，及第一电极的第一末端与第二母线的边缘之间形成间隙。下凹部形成于压电基板中且从压电基板的表面凹陷。在深度方向上，第一电极的第一末端与下凹部的侧壁连续接合。

2、本发明实施例提供另一种声波装置的制造方法，包含提供压电基板，在压电基板的表面上形成导电层，及使导电层图案化，以形成图案化导电层，图案化导电层包含第一母线，沿第二方向延伸，第一电极具有第一末端，及从第一母线沿第一方向延伸至第一末端。第二母线沿第二方向延伸。第二电极具有第二末端，及从第二母线沿第一方向延伸至第二末端，第二电极与第一电极在第二方向上间隔设置，及第一电极的第一末端与第二母线的边缘之间形成间隙。制造方法另包含在压电基板中形成下凹部，且从压电基板的表面凹陷。在深度方向上，第一电极的第一末端与下凹部的侧壁连续接合。

技术特征：

1.一种声波装置，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中：

3.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，另包含：

4.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中：

5.如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，其中：

6.如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，其中：

7.如权利要求6所述的声波装置，其特征在于，其中：

8.如权利要求4所述的声波装置，其特征在于，另包含：

9.如权利要求8所述的声波装置，其特征在于，其中该第一距离等于该第二距离。

10.如权利要求8所述的声波装置，其特征在于，其中：

11.如权利要求8所述的声波装置，其特征在于，其中：

12.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第二方向垂直于该第一方向。

13.如权利要求8所述的声波装置，其特征在于，该第一电极、该第二电极、该第一母线、及该第二母线的材料包含一金属，其中该金属选自以下至少一者：钼、铜、铝、金、铂、钨、及其组合。

14.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第一下凹部沿该第二方向的尺寸等于、小于、或大于该第一电极沿该第二方向的尺寸。

15.如权利要求1所述的声波装置，其特征在于，其中该第一电极平行于该第二电极，且该第一母线平行于该第二母线。

16.一种声波装置的制造方法，其特征在于，包含：

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，另包含：

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，其中：

19.如权利要求18所述的方法，其特征在于，其中：

20.如权利要求18所述的方法，其特征在于，其中：

技术总结
一种声波装置包含压电基板、换能器及下凹部。换能器设置在压电基板的表面上，且包含第一母线、第一电极、第二母线及第二电极。第一母线沿第二方向延伸。第一电极具有第一末端，及从第一母线沿第一方向延伸至第一末端。第二母线沿第二方向延伸。第二电极具有第二末端，及从第二母线沿第一方向延伸至第二末端。第一电极与第二电极在第二方向上间隔设置，及第一电极的第一末端与第二母线的边缘之间形成间隙。下凹部形成于压电基板中且从压电基板的表面凹陷。在深度方向上，第一电极的第一末端与下凹部的侧壁连续接合。

技术研发人员：林诗猛,陈诗喆
受保护的技术使用者：立积电子股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15