触摸面板装置的制作方法

1.本发明涉及一种触摸面板装置。


背景技术：

2.某触摸面板具备多个第一电极、多个第二电极、电容器、信号产生电路以及检测电路。多个第一电极与多个第二电极正交。电容器形成在第一电极与第二电极分别交叉的部位。信号生成电路对第一电极和第二电极中的一个电极依次提供信号。检测电路检测电容器的电容变化，将与电容变化相应的检测信号放大并输出。


技术实现要素：

3.在触摸操作引起静电电容的变化较小的情况下，存在检测信号中包含的对噪声的检测信号强度相对变小，因噪声而触摸操作的检测精度降低的问题。然而，专利文献1所记载的触摸面板的检测电路将检测信号中包含的信号和噪声两者放大。即，专利文献1所记载的触摸面板的检测电路无法提高因噪声而降低的检测精度。
4.本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供能够提高检测精度的触摸面板装置。
5.根据本发明的一方面，触摸面板装置包括多条第一电极线、多条第二电极线、驱动信号生成电路、感应信号接收电路以及驱动信号放大电路。多条所述第一电极线沿第一方向延伸。多条第二电极线沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸。所述驱动信号生成电路对多条所述第一电极线分别输入的驱动信号。所述感应信号接收电路接收从多条所述所述第二电极线的每一条输出且与多条所述第一电极线和多条所述第二电极线的各交点的静电电容的大小对应的感应信号。驱动信号放大电路介于所述驱动信号生成电路与所述第一电极线之间，将输入至多条所述第一电极线的各自的所述驱动信号分别放大。所述驱动信号放大电路放大的所述驱动信号被输入所述第一电极线。
6.根据本发明的触摸面板装置，能够提高检测精度。
附图说明
7.图1是表示本发明的实施方式所涉及的触摸面板装置的构成的框图。图2是表示设置于本实施方式的触摸面板装置的触摸面板的构成的示意图。图3是表示本实施方式的触摸面板的概略构成的说明图。图4是表示本实施方式所涉及的驱动信号放大电路的图。图5是表示变更脉冲波形之前的驱动信号的脉冲波形的表。图6是表示脉冲波形变形电路变更后的驱动信号的脉冲波形的表。
具体实施方式
8.以下，参照附图说明本发明的实施方式。此外，附图中对相同或相当的部分标注相
同附图标记并省略说明。
9.参照图1图4对本发明的实施方式的触摸面板装置100进行说明。图1是表示本发明的实施方式所涉及的触摸面板装置100的构成的框图。图2是表示设置于触摸面板装置100的触摸面板20的构成的示意图。图3是表示触摸面板20的概略构成的说明图。图4是示出驱动信号放大电路36的图。
10.如图1至图3所示，触摸面板装置100具备显示器10、触摸面板20以及触摸位置判定电路30。
11.显示器10具有显示图像的显示面板(例如液晶面板)。此外，触摸面板装置100也可以不具备显示器10，只要至少具备触摸面板20和触摸位置判定电路30即可。即，触摸面板装置100只要至少具有触摸面板功能即可，在触摸面板20上也可以不具有显示图像的图像显示功能。
12.如图2所示，触摸面板20具有触摸面21、多条第一电极线hl、多条第二电极线vl以及多个静电电容。
13.触摸面21接受触摸操作。触摸面21例如可以是电子黑板的触摸面，或者也可以是智能手机和平板pc(personal computer)那样的终端的触摸面。
14.多条第一电极线hl配置于触摸面21的背侧。多条第一电极线hl沿第一方向延伸。多条第一电极线hl沿第一方向延伸，沿第一方向彼此平行地配置。多条第一电极线hl包括第一电极线hl1至第一电极线hlm。
15.多条第二电极线vl配置于触摸面21的背侧。多条第二电极线vl沿第二方向延伸。具体而言，多条第二电极线vl沿第二方向延伸，沿第二方向相互平行地配置。第二方向表示与第一方向交叉的方向。具体而言，第二方向表示与第一方向垂直交叉的方向。
16.多条第二电极线vl包含第二电极线vl1至第二电极线vlm。第二电极线vl1至第二电极线vlm与第一电极线hl1至第一电极线hlm和多个交点d11至交点dmm交叉地配置。
17.多个静电电容包括静电电容c11至静电电容cmm。静电电容c11至静电电容cmm分别形成于第一电极线hl1至第一电极线hlm与第二电极线vl1至第二电极线vlm的交点d11至交点dmm。
18.包括第一电极线组h和第二电极线组v的触摸面板20与显示器10或者未图示的保护玻璃贴合固定。第二电极线组v配置于比第一电极线组h更接近显示器10的一侧。此外，第一电极线组h也可以配置在比第二电极线组v更接近显示器10的一侧。此外，实际上，在第一电极线组h、第二电极线组v和显示器10之间设置有pet膜，但在图3的说明中省略。
19.触摸位置判定电路30例如由半导体元件(cpu、存储器等)、电阻、电容器、线圈等构成。触摸位置判定电路30检测在触摸面板20上的第一电极线hl1至第一电极线hlm与第二电极线vl1至第二电极线vlm的交点d11至交点dmm分别形成的静电电容c11～cmm的值的分布来判定触摸位置，该触摸位置表示触摸面21上的被触摸位置的。
20.当在触摸面21上进行触摸操作时，交点d11交点dmm中、位于进行了触摸操作的位置周边的交点的静电电容发生变化。其结果，触摸位置判定电路30基于静电电容的变化判定触摸面21上的触摸位置
21.触摸位置判定电路30具有驱动信号生成电路31、感应信号接收电路32、ad转换器33、定时发生器34、检测部35、驱动信号放大电路36、记录部38以及触摸位置判定部39。
22.驱动信号生成电路31对多条第一电极线hl分别输入驱动信号。驱动信号生成电路31经由驱动信号放大电路36连接于第一电极线hl1至第一电极线hlm。驱动信号生成电路31经由驱动线dl1～dlm连接驱动信号放大电路36。驱动信号生成电路31经由驱动线dl1～dlm向第一电极线hl1至第一电极线hlm施加电压，从而分别对第一电极线hl1至第一电极线hlm输入驱动信号。
23.感应信号接收电路32接收从多条第二电极线vl分别输出的输出信号。具体而言，感应信号接收电路32接收与多条第一电极线hl和多条第二电极线vl的各交点的静电电容的大小相应的感应信号。感应信号接收电路32在电路中包含mosfet。
24.更具体而言，感应信号接收电路32通过经由感应线sl1～slm，检测来自第二电极线vl1～第二电极线vlm的感应信号，读出与各静电电容(静电电容c11～静电电容cmm的每一个)对应的静电电容信息。静电电容信息是表示电荷的线性和的信息。然后，感应信号接收电路32将读出的静电电容信息发送给ad转换器33。其结果是，ad转换器33取得静电电容信息。
25.ad转换器33将从感应信号接收电路32获取到的静电电容信息进行ad转换并发送至检测部35。其结果，检测部35获取被ad转换后的静电电容信息。
26.定时发生器34控制驱动信号生成电路31、触摸位置判断部39以及驱动信号放大电路36。定时发生器34生成：规定驱动信号生成电路31的动作的信号、规定感应信号接收电路32的动作的信号、规定ad转换器33的动作的信号，并发送到驱动信号生成电路31、感应信号接收电路32以及ad转换器33。
27.检测部35基于从ad转换器33获取的静电电容信息和编码序列，计算触摸面21上的静电电容分布。即，检测部35检测基于由多条第一电极线hl(第一电极线hl1至第一电极线hlm)和多条第二电极线vl(第二电极线vl1至第二电极线vlm)形成的各交点(交点d11至交点dmm的各个)的静电电容(静电电容c11至静电电容cmm)的变化的检测值(静电电容的变化)。
28.检测部35将检测值(表示静电电容分布的信息)发送到触摸位置判定部39。其结果，触摸位置判定部39获取检测部35的检测值。
29.触摸位置判定部39经由ad转换器33和检测部35与感应信号接收电路32电连接。触摸位置判定部39基于由因交点d11至交点dmm的静电电容的变化而引起的感应信号接收电路32检出的输出信号的变化，检测对触摸面21的触摸。例如，触摸位置判定部39基于对由检测部35检测到的多个交点(交点d11～交点dmm)的坐标的检测值的分布、以及记录部38所记录的判断条件，判断触摸面21上的触摸位置。
30.记录部38记录判定条件。判定条件表示用于触摸位置判定部39判定触摸面21上的触摸位置的信息。
31.如图3所示，触摸面21包括第一区域a1、第二区域a2和第三区域a3。由驱动信号生成电路31生成的驱动信号经由驱动信号放大电路36和脉冲波形变形电路37，进而电缆与设置于第一区域a1的连接端子连接，并被输入第一电极线组h。输入到第一电极线组h的驱动信号通过未图示的第一电极线组h的周边布线(引绕线)向第一区域a1、第二区域a2和第三区域a3的各第一电极线hl输入。周边布线的布线长度根据引绕的长度对于每条第一电极线hl成为不同的长度，离端子最近的第一区域a1的布线长度最短，第二区域a2的布线长度第
二短，离端子最远的第三区域a3的布线长度最长。另外，由于端子的长度越长，布线所具有的固有时间常数的大小越大，因此，布线在每个区域具有不同的时间常数，以第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3的顺序变大。
32.一般而言，噪声(背景噪声)的大小是固定值，基于触摸操作的静电电容的变化(信号强度)越小，则基于触摸操作的静电电容的变化相对于包含在感应信号中的噪声的变化比率越小，感应信号的信号噪声比(sn比(signal-noise ratio))越小。因此，尤其是在以与触摸面21隔开距离的悬停状态进行触摸的情况、以非电介质进行触摸操作的情况等由触摸操作引起的静电电容的变化变小的情况下，存在感应信号的信噪比降低的倾向。当感应信号的信噪比降低时，基于触摸操作的静电电容的变化被淹没在噪声中，难以检测触摸操作，检测精度降低。基于触摸操作的静电电容的变化的大小使得驱动信号的大小变大。因此，通过对驱动信号进行放大，能够改善感应信号的信噪比。
33.驱动信号放大电路36放大驱动信号。具体而言，驱动信号放大电路36放大分别输入多条第一电极线hl的驱动信号。驱动信号放大电路36介于驱动信号生成电路31与第一电极线hl之间。即，驱动信号放大电路36放大的驱动信号被输入第一电极线hl。因此，由于对输入到第一电极线hl之前的驱动信号进行放大，因而能够增大信号噪声比(sn比)。其结果是，即使在信噪比(sn比)相对小的情况下，也能够提高检测精度。
34.在将从第二电极线输出的感应信号放大的情况下，感应信号中包含的噪声也被放大，因此不能改善信号噪声比。另一方面，在本实施方式中，放大驱动信号，不放大感应信号所包含的噪声。因此，能够增大静电电容信息相对于噪声的信噪比(sn比)。其结果，即使在通常情况下触摸操作带来的静电电容的变化变小的情况下，也能够增大触摸操作带来的静电电容的变化，因此能够降低检测精度因噪声而恶化。
35.如图4所示，驱动信号放大电路36由模拟放大电路构成。模拟放大电路放大所输入的电压vcc的信号。具体而言，模拟放大电路将输入的最大电压vcc的信号放大至最大电压vdd。驱动信号放大电路36是非反相放大电路。驱动信号放大电路36包括运算放大器op、电阻器r1和电阻器r2。运算放大器op具有非反相输入端子(+)和反相输入端子(-)。在运算放大器op的非反相输入端子(+)连接有后述的第二脉冲波形变形电路37b的输出。运算放大器op的输出与后述的第一脉冲波形变形电路37a连接。而且，运算放大器op的输出经由电阻器r2与反相输入端子(-)连接。在运算放大器op的反相输入端子(-)与接地之间连接有电阻器r1。
36.接着，参照图1图4对触摸面板装置100进行详细说明。触摸面板装置100还具备脉冲波形变形电路37。脉冲波形变形电路37使脉冲波形变形。另外，驱动信号是脉冲信号。脉冲波形变形电路37与向多条第一电极线hl输入的各个驱动信号对应地配置，在驱动信号放大电路36放大驱动信号之前或者之后的任一方或者双方，相对于各个驱动信号，以脉冲上升时间增加的方式使脉冲波形变形。因此，能够抑制由于脉冲上升时间短而脉冲信号变得陡峭。
37.发明人发现，验证的结果是，仅利用驱动信号放大电路36放大驱动信号与放大前的驱动信号相比，放大后的驱动信号的脉冲上升时间变短，脉冲信号变得过于急陡峭，因而与放大前相比，来自形成于感应信号接收电路32内的寄生二极管的漏电流变大，会产生检测信号的信号值(检测值)比设想值降低这样的新的问题。进而，存在从驱动信号生成电路
31至第一电极线hl的布线长度越短则脉冲上升时间越长、布线长度越长则脉冲上升时间越小的倾向，由于从驱动信号生成电路31至第一电极线hl的布线长度的长度越长则检测信号的信号值的下降量越大，因此发现有在触摸面板装置100内发生检测值产生差异的问题的情况。上述的脉冲波形变形电路37用于解决这些问题。此外，关于这些问题，后面详细说明。
38.由于脉冲波形变形电路37增加脉冲上升时间，即使驱动信号放大电路36将驱动信号的电压值放大至感应信号接收电路32的耐受极限，也能够降低感应信号接收电路32中产生的漏电流。另外，通过降低感应信号接收电路32中产生的漏电流，能够抑制感应信号的检测值降低。
39.从驱动信号生成电路31至第一电极线hl的布线长度越长，脉冲波形变形电路37使脉冲上升时间增加的程度越小。具体而言，相对于输入到多条第一电极线hl的各个驱动信号，从驱动信号生成电路31至第一电极线hl的布线长度越长，脉冲波形变形电路37使脉冲上升时间增加的程度越小。
40.因此，能够抑制因与第一电极线hl连接的布线的布线长度引起的脉冲波形的上升时间产生差异。即，脉冲波形变形电路37引起的脉冲上升时间和布线引起的脉冲上升时间的总和对于多条第一电极线hl的每一条成为固定的。其结果是，能够抑制感应信号的检测值导致差异。
41.如图4所示，脉冲波形变形电路37包括第一脉冲波形变形电路37a和第二脉冲波形变形电路37b。
42.第一脉冲波形变形电路37a使驱动信号放大电路36放大之后的驱动信号的脉冲波形变形。第一脉冲波形变形电路37a介于驱动信号放大电路36与多条第一电极线hl的每一条之间。因此，能够抑制驱动信号波形变得陡峭，来自形成于感应信号接收电路32内的寄生二极管的漏电流变大。其结果是，能够抑制每一个感应信号产生噪音。
43.如图4所示，第一脉冲波形变形电路37a包括多个第一电阻器ra和多条第一输入信号布线il1。多个第一电阻器ra的每一个与第一输入信号布线il1串联连接。第一电阻器ra配置在驱动信号放大电路36与第一电极线hl之间。多条第一输入信号布线il1的每一条分别连接第一电阻器ra和第一电极线hl。因此，通过布线内的寄生电容和第一电阻器ra，第一脉冲波形变形电路37a作为低通滤波器发挥功能。其结果是，能够抑制触摸面板装置100的检测精度的降低的同时，第一脉冲波形变形电路37a能够使脉冲波形变形。
44.在静电电容式的触摸面板装置的附近配置电容器的情况下，检测精度有可能降低。因此，一般不将包含电容器的低通滤波器配置在触摸面板装置的附近。
45.在本实施方式中，第一脉冲波形变形电路37a连接于触摸面板装置100的第一电极线hl。具体而言，驱动信号放大电路36、第一脉冲波形变形电路37a和第一电极线hl串联连接。更具体而言，驱动信号放大电路36和第一脉冲波形变形电路37a的第一电阻器ra和第一电极线hl串联连接。即，本实施方式的第一脉冲波形变形电路37a作为低通滤波器发挥功能，并且不包括电容器，因此能够配置在触摸面板装置100附近。因此，第一脉冲波形变形电路37a能够抑制检测精度的降低。其结果是，第一脉冲波形变形电路37a能够使脉冲波形变形。
46.多个第一电阻器ra各自具有与使脉冲上升时间增加的程度对应的大小的电阻值。换句话说，根据布线长来设定第一电阻器ra的电阻值。因此，能够设定多个第一电阻器ra各
自的电阻值使得脉冲波形的上升时间不产生差异。其结果是，能够进一步抑制感应信号的检测值根据触摸位置的所在地而降低。
47.在第一脉冲波形变形电路37a中，由电路内的寄生电容与第一电阻器ra的电阻值之积来确定时间常数。此外，在第一脉冲波形变形电路37a中，能够通过变更第一电阻器ra的电阻值来变更时间常数。通过变更时间常数，能够变更脉冲波形的上升时间。因此，通过分别变更多个第一脉冲波形变形电路37a的第一电阻器ra的电阻值，从而能够设定多个第一脉冲波形变形电路37a各自的时间常数，能够使脉冲波形的上升时间不产生差异。
48.第二脉冲波形变形电路37b使驱动信号放大电路36放大前的驱动信号的波形变形。第二脉冲波形变形电路37b介于驱动信号生成电路31与驱动信号放大电路36之间。因此，能够以除去不需要放大的信号成分的方式使驱动信号的波形变形。其结果，能够选择由驱动信号放大电路36放大的信号。
49.第二脉冲波形变形电路37b包括除去高频成分的低通滤波器电路。因此，能够以使驱动信号中不需要放大的高频成分除外的方式使驱动信号的波形变形。其结果是，能够更高精度地检测感应信号。
50.第二脉冲波形变形电路37b包括第二电阻器rb、电容器c、第二输入信号布线il2。第二输入信号布线il2配置在驱动信号生成电路31与驱动信号放大电路36之间。
51.第二电阻器rb配置在驱动信号生成电路31与驱动信号放大电路36之间。第二电阻器rb与第二输入信号布线il2串联。换言之，驱动信号生成电路31、第二电阻器rb以及驱动信号放大电路36串联连接。
52.电容器c配置在驱动信号生成电路31与驱动信号放大电路36之间。电容器c与驱动信号生成电路31并联连接。能够以使驱动信号中的不需要放大的高频成分除外的方式使驱动信号的波形变形。其结果是，能够更高精度地检测感应信号。
53.第二脉冲波形变形电路37b具有与使脉冲上升时间增加的程度对应大小的时间常数。根据时间常数变更脉冲上升时间。因此，能够以在脉冲波形的上升时间不产生差的方式，设定多个第二脉冲波形变形电路37b各自的时间常数。其结果是，能够进一步抑制感应信号的检测值根据触摸位置的所在地而降低。
54.通过改变电容器c的电容值和第二电阻器rb的电阻值中的至少一方，能够变更时间常数。即，能够变更电容器c的电容值和第二电阻器rb的电阻值中的至少一方来设定时间常数，以达到设计者所期望的脉冲上升时间。此外，由电容器c的电容值和第二电阻器rb的电阻值之积来确定时间常数。
55.根据本实施方式，驱动信号生成电路31输出多个驱动信号。而且，第二脉冲波形变形电路37b使多个驱动信号的波形变形。具体而言，第二脉冲波形变形电路37b除去多个驱动信号的高频成分。而且，根据第二脉冲波形变形电路37b所具有的时间常数，第二脉冲波形变形电路37b变更驱动信号的脉冲上升时间。
56.接着，驱动信号放大电路36放大波形被变更的多个驱动信号。由此，能够增大信噪比(sn比)。然后，第一脉冲波形变形电路37a使驱动信号放大电路36放大之后的多个驱动信号的脉冲波形变形。具体而言，第一脉冲波形变形电路37a使多个驱动信号的脉冲波形变形，使得在脉冲波形的上升时间上不产生差异。因此，能够减少感应信号的检测值降低。其结果，能够减少触摸操作的检测精度下降。
57.接下来，参照图4图6对脉冲波形变形电路37进行更详细的说明。
58.图5表示不存在脉冲波形变形电路37的情况下的驱动信号的脉冲波形的表g1。表g1包括第一栏t1第九栏t9。
59.图5所示的第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中驱动信号的输入波形。另外，第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3的波形是波形因布线所具有的固有时间常数的效果而变形前的波形。即，第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中驱动信号生成电路31刚生成驱动信号之后的驱动信号的波形。第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3的波形为大致相同的波形(方形波)。另外，第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3各自的波形的上升时间τ1、τ2、τ3为大致相同的值，大致为零的值。
60.图5示出的第四栏t4、第五栏t5以及第六栏t6分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中的第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3示出的驱动信号的输入波形因布线所具有的固有时间常数的效果而波形发生变形后的波形。即，在第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中，驱动信号到达多条第一电极线hl时的波形。第四栏t4、第五栏t5、第六栏t6的波形与第一栏t1、第二栏t2、第三栏t3的波形相比，上升时间分别从τ1、τ2、τ3增大到τ4、τ5、τ6。另外，布线所具有的固有时间常数的大小按照第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3的顺序增大，因此，τ4、τ5、τ6的大小关系为τ4《τ5《τ6的关系。即，驱动信号到达多条第一电极线hl时的波形上升的陡峭度为第一区域a1最大，接着第二区域a2为中等程度，第三区域a3为最小。
61.图5所示的第七栏t7、第八栏t8、第九栏t9分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中的感应信号的波形。第七栏t7的波形对应于第四栏t4的波形的上升，在感应信号第一次形成峰值后，电压因漏电流而降低。对应于第四栏t4的波形上升的陡峭度最大，漏电流的大小成为最大。与感应信号的接收强度对应的感应信号的平均电压为v9。第八栏t8的波形对应于第五栏t5的波形的上升，在感应信号第一次形成峰值后，电压因漏电流而降低。与第5栏t5的波形上升的陡峭度为中等程度对应地，漏电流的大小为中等程度，与感应信号的接收强度对应的感应信号的平均电压为v8。由于第六栏t6的波形上升的陡峭度为最低，因而第九栏t9的波形在感应信号的最初几乎不形成峰值，由漏电流导致的电压下降也为最低。与感应信号的接收强度对应的感应信号的平均电压为v9。另外，如上所述，漏电流的大小按照第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3的顺序变大，因此，v7、v8、v9的大小关系成为v7《v8《v9的关系。即，感应信号的接收强度按第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3的顺序变大，每个区域在感应信号的接收强度上产生差异。
62.图6示出具有脉冲波形变形电路37的情况下的驱动信号的脉冲波形的表g2。表g2包含第11栏t11～第19栏t19。
63.图6示出的第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中的驱动信号的输入波形。另外，第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13的波形是波形根据布线所具有的固有时间常数的效果而变形前的波形。即，在第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13中，在驱动信号生成电路31生成了驱动信号之后进而通过脉冲波形变形电路37使驱动信号的波形刚变形之后的波形。从驱动信号生成电路到第一电极线hl的布线长度越长，脉冲波形变形电路37使所述脉冲上升时间增加的程度越小。因此，第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13各自的波形上升时间τ11、τ12、τ13的大小关系为τ11》τ12》τ13的关系。即，在驱动信号生成电路31生成驱动信号之后，进而由脉冲波形变形电路37刚使驱动信号的波形
变形之后的波形上升的陡峭度中，第三区域a3最大，接着第二区域a2为中等程度，第一区域a1最小。
64.图6所示的第14栏t14、第15栏t15、第16栏t16分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中的第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13所示的驱动信号的输入波形因布线所具有的固有时间常数的效果而波形发生变形后的波形。即，在第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中，驱动信号到达多条第一电极线hl时的波形。第14栏t14、第15栏t15、第16栏t16的波形与第11栏t11、第12栏t12、第13栏t13的波形相比，上升时间分别从τ11、τ12、τ13增大到τ14、τ15、τ16。其结果是，第14栏t14、第15栏t15、第16栏t16各自的波形的上升时间τ14、τ15、τ16成为大致相同的值。
65.图6示出的第17栏t17、第18栏t18、第19栏t19分别是第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3中的感应信号的波形。第17栏t17、第18栏t18、第19栏t19的波形分别成为与第14栏t14、第15栏t15、第16栏t16的波形上升时间τ14、τ15、τ16大致相同的值，从而成为类似的波形。另外，由于漏电流的大小大致相同，因此与第17栏t17、第18栏t18、第19栏t19的波形的每一个感应信号的接收强度对应的感应信号的平均电压大致相同。即，感应信号的接收强度在第一区域a1、第二区域a2、第三区域a3之间大致相同，在每个区域中感应信号的接收强度不会产生差异。
66.第15栏t15与图6所示的第12栏t12对应。第15栏t15表示向与图3所示的第二区域a2对应的多条第一电极线hl输入的驱动信号的输出波形。通过脉冲波形变形电路37，驱动信号的波形以时间常数变大的方式变形。也就是说，第二区域a2的漏电流变小。在漏电流较大的情况下，如图6的第15栏t15所示，驱动信号的输出波形的脉冲上升时间变长。即，驱动信号的输出波形的脉冲波形变得不陡峭。
67.第16栏t16与图6所示的第13栏t13对应。第16栏t16表示输入到与图3所示的第三区域a3对应的多条第一电极线hl的驱动信号的输出波形。通过脉冲波形变形电路37，驱动信号的波形以时间常数变大的方式变形。即，第三区域a3的漏电流变小。在漏电流较大的情况下，如图6的第16栏t16所示，驱动信号的输出波形的脉冲上升时间变长。即，驱动信号的输出波形的脉冲波形变得不陡峭。
68.以上，参照附图说明了本发明的实施方式。然而，本发明不限于上述实施方式，在不脱离其主旨的范围内能够以各种方式实施。附图中，为了容易理解，作为主体示意性地示出了每个构成要素，且为了方便绘图，图中所示的每个构成要素的个数、间隔等可能与实际不同。另外，上述实施方式所示的各构成要素仅为一例，而没有特别限定，可以在实质上不脱离本发明的效果的范围内进行各种变更。