体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件的制作方法

本公开涉及一种体声波谐振器滤波器和体声波谐振器封装件。

背景技术：

1、最近，随着移动通信装置以及化学和生物测试相关装置的快速发展，对在这些装置中使用的小而轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声波谐振质量传感器的需求正在增大。

2、诸如体声波(baw)滤波器的声波谐振器可被配置为实现这种小而轻的滤波器、振荡器、谐振元件和声波谐振质量传感器的装置，并且与介质滤波器、金属腔滤波器和波导相比，可具有相对小的尺寸和相对良好的性能。因此，声波谐振器可广泛用于需要相对良好性能(例如，相对宽的通带宽)的现代移动装置的通信模块中。

技术实现思路

1、提供本
技术实现要素：
以按照简化的形式介绍所选择的构思，在以下具体实施方式中进一步描述这些构思。本发明内容既不意在明确所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用作帮助确定所要求保护的主题的范围。

2、在一个总体方面，一种体声波谐振器滤波器，包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此串联电连接，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括谐振部，所述谐振部包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器的纵横比包括不同的纵横比。

3、所述多个分流声波谐振器的所述不同纵横比之间的差异可使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。

4、所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异可小于所述多个分流声波谐振器之间的谐振频率差异。

5、所述多个分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述多个分流声波谐振器之间的纵横比差异可随着所述多个分流声波谐振器之间的连接长度增大而增大。

6、所述多个分流声波谐振器中的最靠近所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比可低于所述多个分流声波谐振器中的更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比。

7、所述更远离所述第一接地端口电连接的分流声波谐振器的纵横比可以在2.2至2.6的范围。

8、所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比可大于1.3且小于等于6.6。

9、所述多个分流声波谐振器中的每个的纵横比可大于1.3且小于3.8。

10、所述至少一个串联声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述至少一个串联声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个分流声波谐振器中的至少一个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性可高于所述至少一个串联声波谐振器中的至少一个串联声波谐振器的叠置区域的形状的对称性。

11、所述多个分流声波谐振器中的所述至少一个分流声波谐振器的纵横比可大于等于4.8且小于等于6.6。

12、所述多个分流声波谐振器的叠置区域的形状的对称性可包括不同的对称性，并且所述多个分流声波谐振器中的具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比可高于所述多个分流声波谐振器中的具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比。

13、所述具有较高对称性的分流声波谐振器的纵横比可大于等于4.8且小于等于6.6，并且所述具有较低对称性的分流声波谐振器的纵横比可大于1.3且小于3.8。

14、所述多个分流声波谐振器可包括彼此串联电连接的第一分流声波谐振器、第二分流声波谐振器和第三分流声波谐振器，所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，所述第二分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器可通过相应的第一电极或相应的第二电极彼此连接，并且所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异可不同于所述第二分流声波谐振器与所述第三分流声波谐振器之间的纵横比差异。

15、所述多个分流声波谐振器可包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器，所述多个分流声波谐振器还可包括在所述串联部的所述第一节点与所述第一接地端口之间彼此串联电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且彼此串联电连接的所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器可与彼此串联电连接的所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器并联电连接。

16、所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的一个分流声波谐振器可通过所述一个分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一接地端口，并且所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的另一分流声波谐振器可通过所述另一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口。

17、所述第三分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器的纵横比可彼此不同，并且所述第一分流声波谐振器与所述第二分流声波谐振器之间的纵横比差异可不同于所述第三分流声波谐振器与所述第四分流声波谐振器之间的纵横比差异。

18、所述体声波谐振器滤波器还可包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第五分流声波谐振器和第六分流声波谐振器，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第五分流声波谐振器和所述第六分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述至少一个串联声波谐振器可包括电连接在所述第一节点与所述第二节点之间的串联声波谐振器，与所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器相比，所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器可更靠近所述第一接地端口电连接，与所述第六分流声波谐振器相比，所述第五分流声波谐振器可更靠近所述第二接地端口电连接，所述第一分流声波谐振器和所述第三分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸可不同于所述第五分流声波谐振器的叠置区域的尺寸，并且所述第二分流声波谐振器和所述第四分流声波谐振器中的每个的叠置区域的尺寸可不同于所述第六分流声波谐振器的叠置区域的尺寸。

19、在另一总体方面，一种体声波谐振器滤波器包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及分流部，包括电连接在所述串联部与地之间的多个分流声波谐振器，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括谐振部，所述谐振部包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述多个分流声波谐振器的第一部分通过第一电极电连接到地，并且所述多个分流声波谐振器的第二部分通过第二电极电连接到地，并且所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比不同于所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分的纵横比。

20、所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分的纵横比与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分的纵横比之间的差异可使所述多个分流声波谐振器之间的反谐振频率差异减小。

21、所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的反谐振频率差异可小于所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异。

22、所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率可高于所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振频率，并且所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分与所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分之间的谐振频率差异可小于所述多个分流声波谐振器的谐振频率中的最高谐振频率与所述至少一个串联声波谐振器的谐振频率之间的谐振频率差异。

23、所述多个分流声波谐振器的通过第一电极电连接到地的所述第一部分以及所述多个分流声波谐振器的通过第二电极电连接到地的所述第二部分可电连接在所述串联部的第一节点和接地端口之间。

24、在另一总体方面，一种体声波谐振器封装件包括：基板；盖，面对所述基板；多个声波谐振器，所述多个声波谐振器中的每个包括形成谐振部的第一电极、压电层和第二电极，所述第一电极、所述压电层和第二电极在从所述基板朝向所述盖延伸的第一方向上堆叠，所述第一电极、所述压电层和第二电极叠置在叠置区域中并且设置在所述基板和所述盖之间；金属层，将所述多个声波谐振器彼此连接；以及接合构件，在垂直于所述第一方向的周向方向上围绕所述多个声波谐振器并且将所述盖接合到所述基板，其中，所述多个声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，并且所述多个声波谐振器中更靠近所述接合构件设置的声波谐振器的纵横比低于所述多个声波谐振器中更远离所述接合构件设置的其他声波谐振器的纵横比。

25、所述多个声波谐振器中的两个声波谐振器之间的纵横比差异可随着将所述两个声波谐振器彼此连接的所述金属层的连接长度增大而增大。

26、所述多个声波谐振器中的两个声波谐振器之间的纵横比差异可随着将所述两个声波谐振器彼此连接的所述金属层与所述接合构件之间的间隔距离减小而增大。

27、所述多个声波谐振器可包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器，所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器可通过所述金属层的第一部分彼此连接，所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器可通过所述金属层的第二部分彼此连接，所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分的连接长度可长于所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分的连接长度，并且所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异可大于所述第三声波谐振器与所述第四声波谐振器之间的纵横比差异。

28、所述多个声波谐振器可包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器，所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器可通过所述金属层的第一部分彼此连接，所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器可通过所述金属层的第二部分彼此连接，所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分与所述接合构件之间的间隔距离可短于所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分与所述接合构件之间的间隔距离，并且所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异可大于所述第三声波谐振器与所述第四声波谐振器之间的纵横比差异。

29、所述多个声波谐振器可包括第一声波谐振器、第二声波谐振器、第三声波谐振器和第四声波谐振器，所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器可通过所述金属层的第一部分彼此连接，所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器可通过所述金属层的第二部分彼此连接，所述金属层的将所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器彼此连接的所述第一部分与所述金属层的将所述第三声波谐振器和所述第四声波谐振器彼此连接的所述第二部分可相对于所述基板设置在不同的高度处，并且所述第一声波谐振器和所述第二声波谐振器的纵横比可彼此不同。

30、所述多个声波谐振器可包括彼此串联电连接的第一声波谐振器、第二声波谐振器和第三声波谐振器，在所述第一声波谐振器、所述第二声波谐振器和所述第三声波谐振器中，所述第一声波谐振器可最靠近所述接合构件，并且所述第一声波谐振器与所述第二声波谐振器之间的纵横比差异可大于所述第二声波谐振器与所述第三声波谐振器之间的纵横比差异。

31、所述体声波谐振器封装件还可包括第一射频端口和第二射频端口，所述多个声波谐振器可通过所述金属层电连接到所述第一射频端口和所述第二射频端口，其中，所述第一射频端口可设置在所述基板的第一侧附近，所述第二射频端口可设置在所述基板的第二侧附近，并且所述多个声波谐振器中的更靠近所述基板的第三侧设置的声波谐振器的纵横比可低于所述多个声波谐振器中的更远离所述基板的所述第三侧设置的其他声波谐振器的纵横比。

32、所述体声波谐振器封装件还可包括接地端口，所述多个声波谐振器通过所述金属层电连接到所述接地端口，其中，所述多个声波谐振器中的更靠近所述接地端口电连接声波谐振器的纵横比可低于所述多个声波谐振器中的更远离所述接地端口电连接的其他声波谐振器的纵横比。

33、所述接合构件可包括导电环。

34、所述体声波谐振器封装件还可包括屏蔽层，所述屏蔽层设置在所述盖的面向所述多个声波谐振器的表面上并且电连接到所述接合构件。

35、在另一总体方面，一种体声波谐振器滤波器包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在所述串联部的节点与接地端口之间彼此电连接，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个可包括谐振部，所述谐振部包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述体声波谐振器滤波器还包括：第一金属层，电连接到所述多个分流声波谐振器的第一电极；以及第二金属层，电连接到所述多个分流声波谐振器的第二电极，所述多个分流声波谐振器包括以反串联连接方式彼此电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器，其中，所述第二金属层将所述第一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述接地端口，并且所述第一金属层将所述第二分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第一分流声波谐振器的第一电极，并且所述第二分流声波谐振器的纵横比不同于所述第一分流声波谐振器的纵横比。

36、所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的纵横比之间的差异可抵消所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的寄生阻抗之间的差异。

37、所述第二分流声波谐振器的纵横比可高于所述第一分流声波谐振器的纵横比。

38、所述第二分流声波谐振器的纵横比可低于所述第一分流声波谐振器的纵横比。

39、所述多个分流声波谐振器还可包括以反串联连接方式彼此电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器，其中，所述第一金属层的一部分将所述第三分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第二金属层，并且所述第二金属层将所述第一金属层的所述一部分电连接到所述接地端口，并且所述第二金属层将所述第四分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第三分流声波谐振器的第二电极，并且所述第四分流声波谐振器的纵横比可等于或基本等于所述第三分流声波谐振器的纵横比。

40、在另一总体方面，一种体声波谐振器滤波器包括：串联部，包括串联电连接在第一射频端口和第二射频端口之间的至少一个串联声波谐振器；以及多个分流声波谐振器，在所述串联部的第一节点与第一接地端口之间彼此并联电连接，其中，所述多个分流声波谐振器中的每个包括谐振部，所述谐振部包括在第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的所述第一电极、所述压电层和所述第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述多个分流声波谐振器中的每个的所述叠置区域的纵横比等于所述叠置区域在所述叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与所述叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述体声波谐振器滤波器还可包括：第一金属层，电连接到所述多个分流声波谐振器的第一电极；以及第二金属层，电连接到所述多个分流声波谐振器的第二电极，所述多个分流声波谐振器包括以反并联连接方式彼此电连接的第一分流声波谐振器和第二分流声波谐振器，其中，所述第二金属层将所述第一分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第一接地端口，并且所述第一金属层的一部分将所述第二分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第二金属层，并且所述第二金属层将所述第一金属层的所述一部分电连接到所述第一接地端口，并且所述第二分流声波谐振器的纵横比不同于所述第一分流声波谐振器的纵横比。

41、所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的纵横比之间的差异可抵消所述第一分流声波谐振器和所述第二分流声波谐振器的寄生阻抗之间的差异。

42、所述第二分流声波谐振器的纵横比可高于所述第一分流声波谐振器的纵横比。

43、所述体声波谐振器滤波器还可包括在所述串联部的第二节点与第二接地端口之间彼此串联电连接的第二多个分流声波谐振器，其中，所述第二多个分流声波谐振器中的每个可包括：谐振部，包括在所述第一方向上堆叠的第一电极、压电层和第二电极，所述第二多个分流声波谐振器中的每个的谐振部的第一电极、压电层和第二电极彼此叠置在叠置区域中，所述第二多个分流声波谐振器中的每个的叠置区域的纵横比可等于叠置区域在叠置区域的最长边的延伸方向上的最长长度与叠置区域在垂直于所述延伸方向的方向上的最长长度之间的比率，所述至少一个串联声波谐振器可包括电连接在所述第一节点与所述第二节点之间的串联声波谐振器，所述第一金属层还可电连接到所述第二多个分流声波谐振器的第一电极，所述第二金属层还可电连接到所述第二多个分流声波谐振器的第二电极，所述第二多个分流声波谐振器还可包括以反串联连接方式彼此电连接的第三分流声波谐振器和第四分流声波谐振器，其中，所述第二金属层将所述第三分流声波谐振器的第二电极电连接到所述第二接地端口，并且所述第一金属层将所述第四分流声波谐振器的第一电极电连接到所述第三分流声波谐振器的第一电极，并且所述第四分流声波谐振器的纵横比可等于或基本等于所述第三分流声波谐振器的纵横比。

44、根据以下具体实施方式以及附图，其他特征和方面将是易于理解的。