一种真空压模机的真空腔体机构的制作方法

文档序号:30587590发布日期:2022-07-01 18:21阅读:58来源:国知局
一种真空压模机的真空腔体机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种真空压模机的真空腔体机构。可应用于pcb,fpc,fpcb,hdi,ic载板,rpcb,mini led,msap,半导体晶圆等真空贴合,压合,增层,附着等行业。


背景技术:

2.现pcb,fpc,fpcb,hdi,ic载板,rpcb,mini led,msap,半导体晶圆等采用覆膜,贴合干膜,防焊油墨等均会采用普通贴合或是真空贴合工艺,现有工艺采用常规气压的方式进行压合,会有附着力和拉力不够的情况发生,致使高规格的产品无法达到生产要求;同时对尺寸比较大,压着要求高,压合后的平整度要求高的产品,以及各类多层板的产品叠层,增层等也无法达到生产要求,会出现压合气泡,压合不实,拉力不达标,爆板,皱褶等情况。因此,需要提供一种全新结构的真空压模机,将精细产品的预贴,增层,附着等贴合覆膜工艺做到最佳,能够全覆盖以上所有类型的产品需求,满足精密产品的干膜,油墨,白油,增层,叠层等一些列高精密贴合。而真空压模机的真空腔体机构是真空压模机的重要部件,真空腔体能否达到一定的密封性、完美的真空度、以及所需的压合力和压合温度是保证产品加工品质的重要因素。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于,针对现有技术存在的问题,提供一种结构合理、使用效果好,能够保证产品质量的真空压模机的真空腔体机构。
4.为实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:
5.一种真空压模机的真空腔体机构,包括上真空腔体组件和下真空腔体组件,
6.所述上真空腔体组件包括由上腔室及其上方的盖板密封连接构成的上真空腔体,所述上真空腔体的顶部开有上过气孔,在上过气孔上通过弯头与法兰管相连接,上真空腔体的内部依次设置有上调整板、上加热板、气路板、气囊、气囊压着板,在所述上调整板和上加热板之间设有隔热板,且各板件的连接处由耐高温密封圈密封,所述上加热板由多块发热片通过发热片固定板固定连接形成,所述上加热板通过若干个加热板密封连接件与上真空腔体的盖板相连接,所述上加热板的四周设有密封圈,且上加热板的中央开有上加热板过气孔,所述气路板设置在上加热板的下方,所述气囊与气路板上的多个气路相连通,气路板的四周与上真空腔体的侧壁之间设有气路板密封圈,且气路板密封圈直接与气囊相接触,所述气囊的四周通过固定块压设在所述气囊压着板的外侧或者内侧面;
7.所述下真空腔体组件包括由下腔室及其上方的烧付铁板密封连接构成的下真空腔体,在下真空腔体内部依次设置有下加热板、加热垫板、下隔热板以及水平调整板,在所述下腔室的内底壁上间隔设有呈扇形的多道气路槽,在所述下腔室的下端面开有与下腔室的内部相导通的真空过孔,在所述真空过孔上通过弯头与法兰管相连接,在下腔室的内底壁上设有与真空过孔相连通的气路转换盖板,在所述气路转换盖板的另一端设有吸气口,所述吸气口位于下真空腔体的正中心。
8.进一步的技术方案:
9.所述上真空腔体组件和下真空腔体组件的外表壁上均设有线路密封连接件,所述线路密封连接件包括线口密封腔体,在所述线口密封腔体的顶部设有线口密封盖,所述线口密封盖和线口密封腔体之间设有线口密封圈。
10.进一步的技术方案,
11.在所述上真空腔体的盖板上方通过连接件与散热罩相连接。
12.所述气路板上设有多个井字型气路凹槽。
13.所述气囊压着板与气囊的接触表面设有滚花纹路。
14.优选地,
15.所述上热板和下加热板均由四块块发热片通过发热片固定板固定连接形成。
16.本实用新型提供的真空压模机的真空腔体机构,同现有技术相比,具有以下技术效果:
17.1、本实用新型的真空压模机的真空腔体机构,上腔体采用气囊独立密封的结构,可以减小抽真空以及加压气体的空间,气路板采用四周密封的工艺,可以保证气囊小空间内的密闭性,气路板与加热板采用独立密封的结构,加热板直接与腔体连接,四周为密封状态,各板件连接处均采用耐高温氟橡胶密封圈密封,以保证小空间内的高压密封性;在腔体外部有一个线路密封连接件,采用密封航空插座连接,可以保证真空腔体内加热片与温控线与外部的密封性连接。
18.2、本实用新型的真空压模机的真空腔体机构,下腔体采用扇形真空气路结构,设计扇形的多道气路槽,以保证两侧抽真空的路径为均匀分布,保证抽真空的流量一致,同时由于下腔体底部中心为油压缸法兰位置,真空管路无法从正中间穿过,采用气路转换的方式设计,进气管路从法兰侧板进入,到腔体底部后通过密封性气路转换盖板将真空管道转移到腔体正中心可以保证抽真空时产品两侧的真空流量一致。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型整体结构示意图;
21.图2为本实用新型上真空腔体组件的分解结构示意图;
22.图3为本实用新型上真空腔体组件另一个方向的分解结构示意图;
23.图4为本实用新型下真空腔体组件的分解结构示意图;
24.图5为本实用新型下真空腔体组件另一个方向的分解结构示意图。
25.其中,1、上真空腔体组件,1-1、上调整板,1-2、上加热板,1-2-1、发热片,1-2-2、发热片固定板,1-2-3、加热板密封连接件,1-3、气路板,1-4、气囊,1-5、气囊压着板,1-6、隔热板,1-7、散热罩,2、下真空腔体组件,2-1、下腔室,2-2、烧付铁板,2-3、下加热板,2-4、加热垫板,2-5、下隔热板,2-6、水平调整板,2-7、气路槽,2-8、真空过孔,2-9、弯头,2-10、气路转换盖板,3、线路密封连接件,3-1、线口密封腔体,3-2、线口密封盖,3-3、线口密封圈。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式,都属于本实用新型所保护的范围。
27.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“长度”、“宽度”、“高度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图1所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
28.作为本实用新型的第一个实施例,本实用新型提供的一种真空压模机的真空腔体机构,包括上真空腔体组件1和下真空腔体组件2,上真空腔体组件1包括由上腔室及其上方的盖板密封连接构成的上真空腔体,所述上真空腔体的顶部开有上过气孔,在上过气孔上通过弯头与法兰管相连接,上真空腔体的内部依次设置有上调整板1-1、上加热板1-2、气路板1-3、气囊1-4、气囊压着板1-5,在所述上调整板1-1和上加热板1-2之间设有隔热板1-6,且各板件的连接处由耐高温密封圈密封,所述上加热板1-2由多块发热片1-2-1通过发热片固定板1-2-2固定连接形成,所述上加热板1-2通过若干个加热板密封连接件1-2-3与上真空腔体的盖板相连接,在本实施例中密封连接件1-2-3主要由连接件以及套设在连接件上的y型密封圈、y型密封圈垫以及圆形密封圈组合构成。所述上加热板1-2的四周设有密封圈,且上加热板1-2的中央开有上加热板过气孔,所述气路板1-3设置在上加热板1-2的下方,气路板与储气罐之间的进气通道上设有高压电动比例阀,在本实施例中,采用高压电动比例阀控制进气量,可以满足不同产品以及工艺的需求,可以设定不同的加压压力值,最高可达到35kg/cm2,同时也可满足0.1kg/cm2。所述气囊1-4与气路板1-3上的多个气路相连通,气路板1-3的四周与上真空腔体的侧壁之间设有气路板密封圈,且气路板密封圈直接与气囊1-4相接触,气囊1-4的四周通过凸型或者t型块压设在所述气囊压着板1-5的外侧或者内侧面,气囊压着板1-5采用40个压块加螺丝固定,加大了气囊固定的接触面积。
29.在本实施例中,上真空腔体组件1采用气囊独立密封的结构,可以减小抽真空以及加压气体的空间,气路板1-3采用四周密封的工艺,可以保证气囊1-4小空间内的密闭性,气路板与加热板采用独立密封的结构,加热板直接与腔体连接,四周为密封状态,各板件连接处均采用耐高温氟橡胶密封圈密封,可以保证小空间内的高压密封性。
30.所述下真空腔体组件2包括由下腔室2-1及其上方的烧付铁板2-2密封连接构成的下真空腔体,在下真空腔体内部依次设置有下加热板2-3、加热垫板2-4、下隔热板2-5以及水平调整板2-6,在本实施例中,由于下部腔体的平整度对产品压着有着至关重要的影响,故下部腔体内的最底部为水平调整板2-6,其可调整下部整体平整度。在下腔室2-1的内底壁上间隔设有呈扇形的多道气路槽2-7,其可以保证抽真空时气流的方向为固定方向,继而保证下部腔体的抽真空效果。在下腔室2-1的下端面开有与下腔室的内部相导通的真空过孔2-8,在真空过孔2-8上通过弯头2-9与法兰管相连接,在下腔室2-1的内底壁上设有与真空过孔2-8相连通的气路转换盖板2-10,在气路转换盖板2-10的另一端设有吸气口,且吸气
口位于下真空腔体的正中心。在本实施例中,采用气路转换的方式设计,让进气管路从法兰侧板进入,到腔体底部后通过密封性气路转换盖板2-10将真空管道转移到腔体正中心可以保证抽真空时产品两侧的真空流量一致。
31.优选地,作为本实用新型的第二个实施例,本实施例是对实施例一的进一步限定,本实用新型的上真空腔体组件1和下真空腔体组件2的外表壁上均设有线路密封连接件3,所述线路密封连接件3包括线口密封腔体3-1,在所述线口密封腔体3-1的顶部设有线口密封盖3-2,所述线口密封盖3-2和线口密封腔体3-1之间设有线口密封圈3-3。在上、下真空腔体外设有的线路密封连接件3,采用密封航空插座连接,可以保证真空腔体内加热片与温控线与外部的密封性连接。
32.优选地,作为本实用新型的第三个实施例,本实施例是对实施例一的进一步改进,在所述上真空腔体的盖板上方通过连接件与散热罩1-7相连接。
33.优选地,作为本实用新型的第四个实施例,本实施例是对实施例二的进一步限定,所述气路板1-3上设有多个井字型气路凹槽。气路板1-3以及其上的过孔采用多井字型的模式,保证气体进入后沿着多井字型气路凹槽抽真空以及进高压气体,同时多井字型的气路板可全覆盖的吸附住气囊1-4,保证气囊1-4在抽真空的状态下可完整的吸附至气路板1-3上,气囊1-4不会有垂下或凸起等情况,保证压着效果。气路板1-3四周设置密封圈,密封圈直接与气囊1-4相结合,保证整个真空空间密封在气路板与气囊之间,实现了1l以内的加压空间,保证了在最小范围内真空以及加压气体的效率以及损耗。
34.优选地,作为本实用新型的第五个实施例,本实施例是对实施例一的进一步限定,所述气囊压着板1-5与气囊1-4的接触表面设有滚花纹路,滚花纹路的设计增加了气囊压着后的摩擦力,保证了气囊的固定效果。
35.优选地,作为本实用新型的第六个实施例,本实施例是对实施例一的进一步限定,所述上热板1-2和下加热板2-3均由四块发热片通过发热片固定板固定连接形成。在本实施例中,以上、下加热板采用四块700w加热片密封连接构成,其中四块加热片采用两组热电偶感应器,一路设置,一路做超温报警,以达到设备超温多道报警的功能。
36.本实用新型的真空压模机的真空腔体机构,在使用时,采用真空泵对上、下腔体进行抽真空,真空泵抽真空可达到1.9万升/分钟,真空度可达到0.05torr。同时抽真空时长可根据产品特性自行设置。以保证产品在高度真空的环境下完成热压。针对不同产品采用不同温度压合,温度可随意设置,最高可达150
°
,同时采用气体高压压合,最高压力可达到35kg/cm2,上、下真空腔体的密封设计,可以达到最小空间下的压力及真空效果。
37.以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
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