一种升温速率高的氮化铝加热器的制作方法

1.本实用新型涉及加热器技术领域，尤其涉及一种升温速率高的氮化铝加热器。


背景技术：

2.用于半导体晶片制造的电加热器可以用于晶片的制造/处理中的各个步骤，包括材料沉积例如，物理或化学气相沉积、材料去除例如，蚀刻或平坦化、图案化(例如，光刻)和电特性的修改例如，掺杂和退火，这种电加热器必须能够承受高度腐蚀的环境，在快速温度变化下抵抗热冲击，以及能够承受极高的温度很长时间。
3.现有的加热器，升温速度极慢，使用效率低，会对加热器内部结构产生的腐蚀较大，无法长时间使用，而且内部会随着温度的升高导致加热不均匀，无法保温，停止加热后降温速度快，无法保证内部加热的物料的稳定，耗费大量的热源，不环保，而且在内部温度过高时，会使加热头损坏，使加热头温度过载，导致加热器无法进行工作。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种升温速率高的氮化铝加热器。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种升温速率高的氮化铝加热器，包括加热器本体，所述加热器本体顶部滑动连接有保温盖，所述保温盖顶部中心位置处贯穿并设置有蒸发孔，所述加热器本体内壁底部固定连接有加热头，所述加热头顶部固定连接有隔热层，所述隔热层顶部固定连接有氮化铝加热垫，所述加热器本体外层设置有隔热壁，所述隔热壁内侧设置有空腔，所述空腔内壁纵向均匀分布并固定连接有第二导热管，所述空腔内侧固定连接有氮化铝加热壁，所述氮化铝加热壁内壁均匀分布并固定连接有四条传导柱，相邻的所述传导柱之间均固定连接有均匀分布的第一导热管，所述加热器本体内壁中心位置设置有置物腔，所述氮化铝加热壁内部相邻的第一导热管之间均贯穿并设置有连通口，所述第一导热管与第二导热管内壁中心位置处均设置有电热合金丝，所述电热合金丝外层均固定连接有第二加热层，所述第二加热层外层均固定连接有第一加热层。
6.作为上述技术方案的进一步描述：
7.所述传导柱均与加热头之间固定连接。
8.作为上述技术方案的进一步描述：
9.所述第二导热管贯穿氮化铝加热壁并固定连接有传导柱。
10.作为上述技术方案的进一步描述：
11.所述加热器本体左右两侧顶部偏下位置处均固定连接有把手。
12.作为上述技术方案的进一步描述：
13.所述第一加热层材质为银镍合金。
14.作为上述技术方案的进一步描述：
15.所述第二加热层材质为银铜合金。
16.作为上述技术方案的进一步描述：
17.所述隔热层材质为复合阻尼隔热棉。
18.作为上述技术方案的进一步描述：
19.所述氮化铝加热壁与氮化铝加热垫之间均与加热头之间固定连接。
20.本实用新型具有如下有益效果：
21.1、本实用新型中，首先第一导热管与第二导热管双层的导热管保证了加热器的快速升温，氮化铝加热壁与氮化铝加热垫可使温度最高可稳定到2200℃，且强度随温度的升高下降较慢，使其使用寿命更长，导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料，抗熔融金属侵蚀的能力强，而且氮化铝加热壁上开有连通口使置物腔内的温度更加均匀。
22.2、本实用新型中，电热合金丝、第一加热层、第二加热层使得第二导热管与第一导热管升温速度更快，而且合金材质硬度更大、耐热性好、抗腐蚀，使得加热器都使用效率更高，升温更加迅速，使用寿命更久，而且在加热头顶部固定有隔热层有效的将置物腔的高温隔离开来，使得加热头使用效率更高。
附图说明
23.图1为本实用新型提出的一种升温速率高的氮化铝加热器的立体图；
24.图2为本实用新型提出的一种升温速率高的氮化铝加热器的剖面图；
25.图3为本实用新型提出的一种升温速率高的氮化铝加热器的加热管示意图。
26.图例说明：
27.1、加热器本体；2、保温盖；3、蒸发孔；4、置物腔；5、氮化铝加热壁；6、传导柱；7、隔热壁；8、把手；9、加热头；10、隔热层；11、连通口；12、第二导热管；13、氮化铝加热垫；14、第一导热管；15、电热合金丝；16、第一加热层；17、第二加层；18、空腔。
具体实施方式
28.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
29.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
30.参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种升温速率高的氮化铝加热器，包
括加热器本体1，加热器本体1顶部滑动连接有保温盖2，保温盖2顶部中心位置处贯穿并设置有蒸发孔3，加热器本体1内壁底部固定连接有加热头9，加热头9顶部固定连接有隔热层10，隔热层10顶部固定连接有氮化铝加热垫13，加热器本体1外层设置有隔热壁7，隔热壁7内侧设置有空腔18，空腔18内壁纵向均匀分布并固定连接有第二导热管12，空腔18内侧固定连接有氮化铝加热壁5，氮化铝加热壁5内壁均匀分布并固定连接有四条传导柱6，相邻的传导柱6之间均固定连接有均匀分布的第一导热管14，加热器本体1内壁中心位置设置有置物腔4，氮化铝加热壁5内部相邻的第一导热管14之间均贯穿并设置有连通口11，第一导热管14与第二导热管12内壁中心位置处均设置有电热合金丝15，电热合金丝15外层均固定连接有第二加热层17，第二加热层17外层均固定连接有第一加热层16，第一导热管14与第二导热管12双层的导热管保证了加热器的快速升温，氮化铝加热壁5与氮化铝加热垫13可使温度最高可稳定到2200℃，且强度随温度的升高下降较慢，使其使用寿命更长，导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料，抗熔融金属侵蚀的能力强，氮化铝加热壁5上开有连通口11使置物腔4内的温度更加均匀。
31.传导柱6均与加热头9之间固定连接，第二导热管12贯穿氮化铝加热壁5并固定连接有传导柱6，加热器本体1左右两侧顶部偏下位置处均固定连接有把手8，第一加热层16材质为银镍合金，第二加热层17材质为银铜合金，隔热层10材质为复合阻尼隔热棉，氮化铝加热壁5与氮化铝加热垫13之间均与加热头9之间固定连接，电热合金丝15、第一加热层16、第二加热层17使得第二导热管12与第一导热管14升温速度更快，而且合金材质硬度更大、耐热性好、抗腐蚀，使得加热器都使用效率更高，升温更加迅速，使用寿命更久，保温盖2上的蒸发孔3可将对置物腔4内的物品加热后产生的杂质，与气体排出，避免因为杂质，与气体对加热器内部的零件产生消耗，损耗其使用寿命。
32.工作原理：第一导热管14与第二导热管12双层的导热管保证了加热器的快速升温，氮化铝加热壁5与氮化铝加热垫13可使温度最高可稳定到2200℃，且强度随温度的升高下降较慢，使其使用寿命更长，导热性好，热膨胀系数小，是良好的耐热冲击材料，抗熔融金属侵蚀的能力强，氮化铝加热壁5上开有连通口11使置物腔4内的温度更加均匀，电热合金丝15、第一加热层16、第二加热层17使得第二导热管12与第一导热管14升温速度更快，而且合金材质硬度更大、耐热性好、抗腐蚀，使得加热器都使用效率更高，升温更加迅速，使用寿命更久，保温盖2上的蒸发孔3可将对置物腔4内的物品加热后产生的杂质，与气体排出，避免因为杂质，与气体对加热器内部的零件产生消耗，损耗其使用寿命。
33.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。