一种压差稳定型半导体制造无尘室的制作方法

本技术属于半导体制造，具体涉及一种压差稳定型半导体制造无尘室。

背景技术：

1、专利公告号cn108756317a一种半导体无尘室，其具有立柱组成的框体结构，所述的框体结构的两侧均采用防静电围帘密封设置，所述的框体结构的正面一侧垂直设置若干垂帘；所述的框体结构正面垂帘一侧设置玻璃门；所述的框体结构的背部设置背板组件，所述的框体结构的上端设置顶板，所述的顶板上固定设置若干排风机。该半导体无尘室，结构简单，可以满足半导体的平稳加工，投入成本低，可以提高半导体加工的效率，提高经济效益，便于广泛推广使用。

2、现有技术公开了一种半导体无尘室，原无尘室通过设置排风机对无尘室内部进行换气，但不具备对进入无尘室内部的空气进行干燥处理，当空气中湿度较大进入无尘室中会影响半导体制造的安全性，同时原无尘室的安全性较低，无法对无尘室内部的湿度、温度和烟雾进行监测。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供了一种压差稳定型半导体制造无尘室，具有干燥功能，可对进入无尘室的空气进行干燥处理的特点。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，所述框体上端设置有顶板，所述顶板下端设置有粉尘传感器，所述顶板上端前侧设置有警报指示灯，所述顶板上端后侧设置有若干排风机，所述排风机远离警报指示灯的一侧设置有干燥组件。

3、优选的，所述干燥组件包括固定管、固定斗、连接管、支撑板、防尘网、除湿网和电热丝，其中，所述排风机远离警报指示灯的一侧设置有固定管，所述固定管与顶板之间通过支撑板连接，所述固定管靠近顶板的一侧设置有固定斗，所述固定斗与顶板之间通过连接管连接，所述固定管内部一侧设置有防尘网，所述防尘网靠近固定斗的一侧设置有除湿网，所述除湿网的另一侧设置有若干电热丝。

4、优选的，所述防尘网与固定管之间以及除湿网与固定管之间均通过卡合连接，所述固定斗与固定管为焊接一体式结构。

5、优选的，所述连接管与排风机之间以及连接管与固定斗之间均通过法兰连接，所述支撑板与顶板之间以及支撑板与固定管之间均通过点焊焊接。

6、优选的，所述顶板下端前侧设置有固定板，所述固定板的两端设置有安装板，所述安装板与顶板之间通过安装螺栓连接，所述固定板下端中间位置设置有烟雾报警器，所述烟雾报警器的一侧设置有湿度传感器，所述烟雾报警器的另一侧设置有温度传感器。

7、优选的，所述安装板与固定板之间通过压力焊焊接，所述顶板下端设置有与安装螺栓对应的螺纹孔。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

9、1、本实用新型通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。

10、2、本实用新型通过设置固定板，将固定板两端的安装板通过安装螺栓固定在顶板下端，达到对固定板进行固定的效果，固定板下端的湿度传感器和温度传感器可分别对无尘室中的湿度和温度进行监测，同时固定板下端的烟雾报警器可对无尘室内部进行烟雾监测，当无尘室内部发生火灾时烟雾报警器报警，提高无尘室使用安全性。

技术特征：

1.一种压差稳定型半导体制造无尘室，包括框体(1)，其特征在于：所述框体(1)前端设置有垂帘(3)，述框体(1)一端设置有防静电围帘(2)，所述框体(1)另一端设置有玻璃门(4)，所述框体(1)后端设置有背板(16)，所述框体(1)上端设置有顶板(6)，所述顶板(6)下端设置有粉尘传感器(9)，所述顶板(6)上端前侧设置有警报指示灯(5)，所述顶板(6)上端后侧设置有若干排风机(7)，所述排风机(7)远离警报指示灯(5)的一侧设置有干燥组件(8)；

2.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述防尘网(85)与固定管(81)之间以及除湿网(86)与固定管(81)之间均通过卡合连接，所述固定斗(82)与固定管(81)为焊接一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述连接管(83)与排风机(7)之间以及连接管(83)与固定斗(82)之间均通过法兰连接，所述支撑板(84)与顶板(6)之间以及支撑板(84)与固定管(81)之间均通过点焊焊接。

4.根据权利要求1所述的一种压差稳定型半导体制造无尘室，其特征在于：所述安装板(11)与固定板(10)之间通过压力焊焊接，所述顶板(6)下端设置有与安装螺栓(12)对应的螺纹孔。

技术总结
本技术公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室，属于半导体制造技术领域，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，本技术通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。

技术研发人员：周晓兆
受保护的技术使用者：广东汉岂工业技术研发有限公司
技术研发日：20220901
技术公布日：2024/1/11