技术特征：
1.一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：包括电镀箱、药水腔、三价铁离子削减装置、高压喷淋装置和低压喷淋装置，所述三价铁离子削减装置连接在高压喷淋装置上，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输出部均设置在电镀箱内，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输入部均与药水腔连通。2.根据权利要求1所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输出部呈交替设置。3.根据权利要求1所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述高压喷淋装置包括泵送系统一和多根呈线性排列的喷射管，多根所述喷射管均位于电镀箱内且均通过泵送系统一与药水腔连通。4.根据权利要求3所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述泵送系统一包括管道一以及均连接在所述管道一上的液泵一、流量控制阀一、数字流量计一和喷流总管一。5.根据权利要求3所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述喷射管上设有多个喷嘴一，多个所述喷嘴一沿喷射管的轴向线性排列。6.根据权利要求1所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述低压喷淋装置包括泵送系统二和多根呈线性排列的喷淋管，多根所述喷淋管均位于电镀箱内且均通过泵送系统二与药水腔连通。7.根据权利要求6所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述泵送系统二包括管道二以及均连接在所述管道二上的液泵二、流量控制阀二、数字流量计二和喷流总管二。8.根据权利要求6所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：所述喷淋管上设有多个喷嘴二，多个所述喷嘴二沿喷淋管的轴向线性排列。9.根据权利要求8所述的一种薄面铜的hdi脉冲填盲孔系统，其特征在于：相邻所述喷淋管上的喷嘴二呈错位设置。
技术总结
本实用新型提供了一种薄面铜的HDI脉冲填盲孔系统，包括电镀箱、药水腔、三价铁离子削减装置、高压喷淋装置和低压喷淋装置，所述三价铁离子削减装置连接在高压喷淋装置上，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输出部均设置在电镀箱内，所述高压喷淋装置和低压喷淋装置的输入部均与药水腔连通。通过高压喷淋装置与三价铁离子削减装置配合工作，使Cu0能充分沉积在盲孔内并在光剂作用下形成金属晶格，提升了盲孔填铜的品质以及效率，通过低压喷淋装置使Cu0在高密度互连板外表面上的沉积厚度减少，即该外表面的镀铜厚度减少，不仅能节省铜材的消耗成本，能大大提高后续工序的良率。能大大提高后续工序的良率。能大大提高后续工序的良率。
技术研发人员：赵德甫
受保护的技术使用者：东莞市速铜科技有限公司
技术研发日：2022.09.05
技术公布日：2023/1/13