一种射频功率匹配装置的制作方法

本技术涉及射频功率匹配，尤其涉及一种射频功率匹配装置。

背景技术：

1、在等离子清洗设备中，普遍采用13.56mhz的射频功率发生器向等离子腔体提供射频能量，激发腔体内工艺气体产生等离子体，由于等离子腔体负载的非线性，使得射频功率发生器阻抗很难和等离子腔体负载匹配，造成射频功率发生器反射功率过大，因此需要采用射频功率匹配装置进行阻抗匹配，达到射频功率发生器将最大功率传输给等离子腔体负载的目的。

2、经检索申请号为“cn201721715139.x”公开了一种射频功率匹配装置，包括：支架；空气电容器组件，其包括第一空气电容器和第二空气电容器，第一空气电容器和第二空气电容器设置在支架上；高压陶瓷电容器组件，其包括第一高压陶瓷电容器、第二高压陶瓷电容器和第三高压陶瓷电容器；第一高压陶瓷电容器设置在第一空气电容器靠近支架的一端，第二高压陶瓷电容器设置在第一空气电容器远离支架的一端，第三高压陶瓷电容器设置在第二空气电容器远离支架的一端；匹配电感器，其设置在第一空气电容器远离支架的一端；电机，其通过联轴器分别连接在第一空气电容器和第二空气电容器上；及射频接口，其设置在支架上。通过上述方式，本实用新型结构简单，运行稳定，降低调节时间。

3、该技术方案上的射频接口通过螺栓与支架进行连接，此连接方式需要消耗工作人员大量时间来对其进行安装和拆卸，在射频接口需要进行检修时，无法便捷地对其拆卸，十分不便。

4、为此，我们提出一种射频功率匹配装置。

技术实现思路

1、本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种射频功率匹配装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案，一种射频功率匹配装置，包括支架、空气电容器、电机和射频接口，两个所述空气电容器设置于支架顶部内壁，且两个电机设置于支架一侧外壁，电机的输出端设置有联轴器，空气电容器设置于联轴器一端，所述支架一侧外壁设置有限位滑槽，限位滑槽内壁滑动连接有限位滑块，限位滑块一侧外壁固定连接有连接块，所述射频接口一侧外壁设置有连接底板，连接底板一端设置有连接机构，且连接块通过连接机构活动连接于连接底板一端。

3、进一步，所述连接机构内设置有主插杆和副插杆，且连接块一侧外壁开设有插槽，插槽内壁开设有多个呈圆周排列的插腔，主插杆与插槽相适配，副插杆与插腔相适配。

4、进一步，所述主插杆一侧外壁开设有第一转动孔，第一转动孔延伸至连接底板一侧外壁，第一转动孔内壁转动连接有连接转杆，连接转杆一端固定连接有旋钮二，且连接转杆另一端转动连接于主插杆内壁。

5、进一步，所述主插杆一侧外壁两端均固定连接有限位槽，且插槽一侧内壁两端开设有限位块，限位槽与限位块相适配，限位槽与限位块均为横截面为等腰梯形的圆台状。

6、进一步，所述主插杆内壁固定连接有多个呈圆周排列的固定套杆，副插杆滑动连接于固定套杆内壁，且固定套杆靠近连接转杆一端转动连接有锥齿轮二，连接转杆外壁固定连接有锥齿轮一，锥齿轮二啮合于锥齿轮一外壁。

7、进一步，所述锥齿轮二轴向设置有丝杆二，丝杆二穿过固定套杆并螺纹连接于副插杆内壁。

8、进一步，所述限位滑槽顶部内壁开设有第二转动孔，第二转动孔延伸至支架顶部，且第二转动孔内壁转动连接有丝杆一，丝杆一顶部固定连接有旋钮一，丝杆一底部转动连接于限位滑槽内壁，限位滑块内壁开设有螺纹孔，丝杆一螺纹连接于螺纹孔内壁。

9、进一步，所述插腔一侧内壁开设有固定槽，固定槽内壁固定连接有弹性块。

10、进一步，所述固定槽内壁开设有多个呈圆周排列的缓冲腔，缓冲腔内壁滑动连接有活塞板，且缓冲腔远离固定槽一端设置有惰性气体。

11、有益效果

12、本实用新型提供了一种射频功率匹配装置。具备以下有益效果：

13、（1）、该一种射频功率匹配装置，通过设置的连接机构，当需要对连接块和连接底板进行连接时，将连接底板上的主插杆插入连接块上的插槽内壁，此时主插杆上的限位槽即可插入限位块内，限位块即可通过限位槽对主插杆进行限位，紧接着，转动旋钮二，旋钮二转动通过连接转杆带动其上的锥齿轮一进行转动，锥齿轮一转动带动啮合其上的锥齿轮二转动，锥齿轮二转动即可带动其轴向的丝杆二进行转动，丝杆二转动带动螺纹连接其上的副插杆在固定套杆内壁滑动，副插杆即可滑出固定套杆内并插接入插腔内，即可对主插杆进行固定，继而能够将连接块和连接底板进行连接，当需要进行拆卸时，只需反向转动旋钮二，即可带动副插杆滑回固定套杆内，即可解除二者之间的连接，从而能够便捷的对射频接口进行安装和拆卸，方便对射频接口进行检修。

14、（2）、该一种射频功率匹配装置，通过设置的旋钮一和丝杆一，当需要对射频接口进行移动时，此时转动旋钮一，旋钮一转动通过丝杆一带动螺纹连接丝杆一上的限位滑块在限位滑槽内进行滑动，即可通过连接块带动连接底板和射频接口沿着限位滑槽进行移动，继而能够便捷的对射频接口进行移动，方便其调节至合适高度，方便射频接口对射频信号接收。

15、（3）、该一种射频功率匹配装置，通过设置的弹性块和活塞板，当副插杆连接入插腔内，多个副插杆的设计能够在多个方向对外部应力进行承压，避免连接处受外力下产生晃动，影响连接的稳定性，并且当射频接口上的连接处产生晃动时，即可通过副插杆对弹性块挤压，弹性块受挤压产生形变并通过形变进入缓冲腔内对活塞板挤压，活塞板受到挤压时此时缓冲腔内的惰性气体即可通过气压对应力进行缓冲，进一步保持连接处的稳定性。

技术特征：

1.一种射频功率匹配装置，包括支架（1）、空气电容器（2）、电机（3）和射频接口（4），其特征在于：两个所述空气电容器（2）设置于支架（1）顶部内壁，且两个电机（3）设置于支架（1）一侧外壁，电机（3）的输出端设置有联轴器，空气电容器（2）设置于联轴器一端，所述支架（1）一侧外壁设置有限位滑槽（5），限位滑槽（5）内壁滑动连接有限位滑块（8），限位滑块（8）一侧外壁固定连接有连接块（9），所述射频接口（4）一侧外壁设置有连接底板（10），连接底板（10）一端设置有连接机构，且连接块（9）通过连接机构活动连接于连接底板（10）一端。

2.根据权利要求1所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述连接机构内设置有主插杆（12）和副插杆（18），且连接块（9）一侧外壁开设有插槽，插槽内壁开设有多个呈圆周排列的插腔，主插杆（12）与插槽相适配，副插杆（18）与插腔相适配。

3.根据权利要求2所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述主插杆（12）一侧外壁开设有第一转动孔，第一转动孔延伸至连接底板（10）一侧外壁，第一转动孔内壁转动连接有连接转杆（13），连接转杆（13）一端固定连接有旋钮二（11），且连接转杆（13）另一端转动连接于主插杆（12）内壁。

4.根据权利要求3所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述主插杆（12）一侧外壁两端均固定连接有限位槽（19），且插槽一侧内壁两端开设有限位块（20），限位槽（19）与限位块（20）相适配，限位槽（19）与限位块（20）均为横截面为等腰梯形的圆台状。

5.根据权利要求4所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述主插杆（12）内壁固定连接有多个呈圆周排列的固定套杆（17），副插杆（18）滑动连接于固定套杆（17）内壁，且固定套杆（17）靠近连接转杆（13）一端转动连接有锥齿轮二（15），连接转杆（13）外壁固定连接有锥齿轮一（14），锥齿轮二（15）啮合于锥齿轮一（14）外壁。

6.根据权利要求5所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述锥齿轮二（15）轴向设置有丝杆二（16），丝杆二（16）穿过固定套杆（17）并螺纹连接于副插杆（18）内壁。

7.根据权利要求1所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述限位滑槽（5）顶部内壁开设有第二转动孔，第二转动孔延伸至支架（1）顶部，且第二转动孔内壁转动连接有丝杆一（7），丝杆一（7）顶部固定连接有旋钮一（6），丝杆一（7）底部转动连接于限位滑槽（5）内壁，限位滑块（8）内壁开设有螺纹孔，丝杆一（7）螺纹连接于螺纹孔内壁。

8.根据权利要求2所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述插腔一侧内壁开设有固定槽，固定槽内壁固定连接有弹性块（23）。

9.根据权利要求8所述的射频功率匹配装置，其特征在于：所述固定槽内壁开设有多个呈圆周排列的缓冲腔（21），缓冲腔（21）内壁滑动连接有活塞板（22），且缓冲腔（21）远离固定槽一端设置有惰性气体。

技术总结
本技术涉及射频功率匹配技术领域，且公开了一种射频功率匹配装置，包括支架、空气电容器、电机和射频接口，两个所述空气电容器设置于支架顶部内壁，且两个电机设置于支架一侧外壁，电机的输出端设置有联轴器，空气电容器设置于联轴器一端，所述支架一侧外壁设置有限位滑槽，限位滑槽内壁滑动连接有限位滑块，限位滑块一侧外壁固定连接有连接块，所述射频接口一侧外壁设置有连接底板，连接底板一端设置有连接机构，且连接块通过连接机构活动连接于连接底板一端。本技术，通过设置的连接机构，从而能够便捷的对射频接口进行安装和拆卸，方便对射频接口进行检修。

技术研发人员：陈晓东
受保护的技术使用者：常州鑫立离子技术有限公司
技术研发日：20221128
技术公布日：2024/1/12