散热装置的制作方法

本技术涉及电子器件散热，特别涉及一种散热装置。

背景技术：

1、随着微电子技术的发展，电子器件趋于高度集成化、微型化，电子器件性能提升的同时，功率密度也显著升高，这使得电子器件的散热设计面临极大挑战，需要采用更高效率的水冷散热才能满足需求。

2、相关技术中，水冷散热器一般设计为多个翅片并排的结构，通过翅片传递与其热接触的电子器件的热量，翅片形式增加液冷散热器中流体与散热器的接触面积以达到散热效果。然而，当待散热的电子器件所需散热密度大于100w/cm2时，由翅片结构和翅片材质所限制的水冷散热器的导热效率将不能够满足电子器件的散热需求。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的是提供一种散热装置，旨在改善上述现有技术不足，进一步提高散热装置对于高散热密度的电子器件的散热效果。

2、为实现上述目的，本实用新型提出的散热装置，包括层叠设置的均温板和液冷箱；所述均温板内形成有均温腔，所述均温腔内设置有多个柱体，所述柱体的延伸方向与所述均温板和所述液冷箱的层叠方向相同，且所述均温腔内填充有相变工质；所述液冷箱形成有冷却腔以及连通所述冷却腔的进液口和出液口，所述冷却腔内堆叠设置有多个液冷板，每一所述液冷板上开设有导流结构，任意相邻的两个所述液冷板的导流结构至少部分互相连通以形成液冷流道，所述液冷流道同时沿所述液冷箱的长度方向和高度方向延伸，并从所述进液口贯通至所述出液口。

3、在本实用新型一实施例中，所述柱体的横截面为圆形或多边形。

4、在本实用新型一实施例中，相邻所述柱体之间的间隙小于0.1mm。

5、在本实用新型一实施例中，所述柱体采用刻蚀工艺制作。

6、在本实用新型一实施例中，所述多个液冷板沿所述液冷箱的高度方向堆叠设置，所述高度方向与所述均温板和所述液冷箱的层叠方向相同；或者，所述多个液冷板沿所述液冷箱的长度方向堆叠设置。

7、在本实用新型一实施例中，所述液冷板设有多个通孔，所述通孔沿所述液冷板堆叠方向贯通所述液冷板，多个所述通孔沿所述液冷板的长度方向及宽度方向阵列排布。

8、在本实用新型一实施例中，所述导流结构包括多个定位槽及凸起部。多个所述定位槽错位排布于所述通孔阵列排布的间隙中，每一所述定位槽连通相邻两所述通孔；所述液冷板上除所述通孔以及所述定位槽以外的区域形成所述凸起部；堆叠设置的相邻两所述液冷板中，一所述液冷板的凸起部至少部分与另一所述液冷板的定位槽凹凸配合，所述通孔及所述导流结构共同形成所述液冷流道。

9、在本实用新型一实施例中，所述通孔采用蚀刻工艺形成；和/或，所述定位槽采用蚀刻工艺形成。

10、在本实用新型一实施例中，所述通孔为方形。

11、在本实用新型一实施例中，定义所述通孔的对角线长为d1，0.3mm≤d1≤0.5mm，定义所述液冷板的厚度为d2，0.3mm≤d2≤0.5mm。

12、在本实用新型一实施例中，所述均温板和所述液冷箱之间采用焊接工艺连接，和/或，相邻两所述液冷板之间采用焊接工艺连接。

13、本实用新型技术方案在散热装置中层叠设置均温板及液冷箱，以均温板背离液冷箱的一侧端面与发热体热接触，在均温板内形成包括多个沿层叠方向延伸设置的柱体的均温腔，均温腔内的柱体间的缝隙填充相变工质，通过相变工质及柱体将发热体所传导的热量均匀分布后传递至与均温板层叠的液冷箱。再经由液冷箱中堆叠的液冷板设置的导流结构与腔体壁面的进液口、初夜口形成的液冷流道引导散热工质在液冷箱的长度及高度方向均匀流动，以散热工质在液冷流道的流动将由均温板所传递的热量吸收并带出，实现对发热体的散热效果，进一步提高本散热装置的散热效率。

技术特征：

1.一种散热装置，其特征在于，所述散热装置包括层叠设置的均温板和液冷箱；

2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述柱体的横截面为圆形或多边形。

3.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，相邻所述柱体之间的间隙小于0.1mm。

4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述柱体采用刻蚀工艺制作。

5.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述多个液冷板沿所述液冷箱的高度方向堆叠设置，所述高度方向与所述均温板和所述液冷箱的层叠方向相同；

6.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述液冷板设有多个通孔，所述通孔沿所述液冷板堆叠方向贯通所述液冷板，多个所述通孔沿所述液冷板的长度方向及宽度方向阵列排布。

7.如权利要求6所述的散热装置，其特征在于，所述导流结构包括：

8.如权利要求7所述的散热装置，其特征在于，所述通孔采用蚀刻工艺形成；

9.如权利要求6所述的散热装置，其特征在于，所述通孔为方形。

10.如权利要求9所述的散热装置，其特征在于，定义所述通孔的对角线长为d1，0.3mm≤d1≤0.5mm，定义所述液冷板的厚度为d2，0.3mm≤d2≤0.5mm。

11.如权利要求1至10中任一所述的散热装置，其特征在于，所述均温板和所述液冷箱之间采用焊接工艺连接，和/或，相邻两所述液冷板之间采用焊接工艺连接。

技术总结
本技术公开一种散热装置，其中，散热装置包括层叠设置的均温板和液冷箱：均温板内形成有均温腔，均温腔内设置有多个柱体，柱体的延伸方向与均温板和液冷箱的层叠方向相同，且均温腔内填充有相变工质；液冷箱形成有冷却腔以及连通冷却腔的进液口和出液口，冷却腔内堆叠设置有多个液冷板，每一液冷板开设有导流结构，相邻两液冷板的导流结构至少部分互相连通以形成液冷流道，液冷流道同时沿液冷箱的长度方向及高度方向延伸，并从进液口贯通至出液口。本技术技术方案通过设置容置了相变工质的均温腔及堆叠设置于液冷箱内的液冷板形成的液冷流道，进一步提高了散热装置的散热效率。

技术研发人员：兰小东,邓小池,陈亚平,王能飞,严运锋,朱宝军
受保护的技术使用者：苏州汇川控制技术有限公司
技术研发日：20221230
技术公布日：2024/1/12