压电元件、液体喷射头和图像记录装置的制作方法

本公开涉及压电元件、液体喷射头和图像记录装置。

背景技术：

1、压电部件具有因电场的施加而改变的形状，并且用作极小且精确地移动或振动物体的装置，压电部件用于各种工业产品。压电部件用于例如小型扬声器、硬盘驱动器和打印机(图像记录装置)。

2、其中，一些打印机采用压电膜用于液体喷射头，用于喷射液滴。关于这样的液体喷射头，由于通过保持压电膜的竖向形成的电极(上电极和下电极)施加电场来驱动压电膜，从而喷射液滴。

3、近年来，打印机已被要求具有高清晰度的图像品质和高速性能，并且液体喷射头的喷射结构已经被小型化和设计，使得由于高电压的施加而压电膜发生大移位。另一方面，施加高电压在压电膜中产生高负载。也就是说，尽管压电膜是一种绝缘体，但与氧化硅等相比，比电阻(电阻率)较低，并且由于高电压的施加，微小电流可能穿过该膜。因该电流而引起的电介质击穿对压电膜的耐久性有影响。

4、因此，已进行了关于改善压电膜的耐久性的研究。例如，日本专利第4736021号描述了一种通过在压电膜和电极之间形成绝缘膜来抑制电流穿过压电膜从而改善耐久性的技术。

5、日本专利第4736021号中公开的技术可以改善压电膜的耐久性。然而，出现如下技术缺点：不能获得足够量的压电膜位移。据推测，其原因是：电极施加的电压被分布到绝缘膜和压电膜，因此施加到压电膜的电场的大小降低。在这方面，存在一种方法，其中考虑到施加至压电膜的电场的降低而增加施加至电极的电压。在这种情况下，可能发生其他部分(诸如线路)的劣化。作为另一种方法，尝试了通过减小绝缘膜的膜厚度来增加向压电膜的电压分布率的方法。然而，高电场仍然被施加到绝缘膜上。

技术实现思路

1、考虑到上述缺点而实现了本公开，并且本公开提供了一种能够充分获得压电膜的位移量并增强压电膜耐久性的压电元件。

2、根据本公开的压电元件包括以如下顺序在衬底上的下电极、压电膜和上电极，并且在下电极和压电膜之间设置铝氧化物膜，所述铝氧化物膜包含选自周期表的iii族元素、iv族元素和v族元素中的至少一种元素。

3、从参考附图对示例实施方案的以下描述，本公开的其它特征将变得清楚。

1.一种压电元件，其在衬底上按如下顺序包含：

2.根据权利要求1所述的压电元件，

3.根据权利要求1所述的压电元件，

4.根据权利要求1所述的压电元件，

5.根据权利要求1所述的压电元件，

6.根据权利要求1所述的压电元件，

7.根据权利要求6所述的压电元件，

8.一种液体喷射头，其包括：

9.根据权利要求8所述的液体喷射头，

10.一种图像记录装置，其包括：