一种钙钛矿电池的制备方法及制备系统与流程

本技术涉及太阳能电池，更具体的说，涉及一种钙钛矿电池的制备方法及制备系统。

背景技术：

1、钙钛矿电池属于薄膜型太阳能电池，普遍沉积于玻璃基底上。钙钛矿电池组件内部的串联方式一般采用常规薄膜太阳能电池(如非晶硅薄膜、铜铟镓硒、碲化镉电池)的激光划线方式实现，即通过三次激光划线的方式实现电池内子电池间的串联。目前一般采用显微镜观察的方法来判断激光划线是否有过刻、欠刻的情况，但只凭人眼定性的观察，观察结果的准确性有限，且受限于显微镜的移动观察范围，很难对电池全区域进行观察。

技术实现思路

1、有鉴于此，本技术提供了一种钙钛矿电池的制备方法及制备系统，所述制备方法包括：

2、提供一基板，在第一方向上，所述基板包括依次排布的第一区域、第二区域和第三区域，所述第一方向平行于所述基板；

3、在所述第一区域和所述第二区域上形成第一电极层，所述第一电极层包括在第二方向上依次排布的多个第一电极，相邻所述第一电极之间具有第一刻缝；所述第二方向垂直于所述第一方向，且平行于所述基板；

4、形成钙钛矿层，所述钙钛矿层覆盖所述第二区域内的第一电极，且覆盖所述第三区域；所述钙钛矿层包括在所述第二方向上依次排布的多个钙钛矿区块，相邻所述钙钛矿区块之间具有第二刻缝；

5、形成第二电极层，所述第二电极层覆盖所述钙钛矿层；所述第二电极层包括在所述第二方向上依次排布的多个第二电极，相邻所述第二电极之间具有第三刻缝，所述第三刻缝贯穿所述钙钛矿层；

6、基于所述第一电极与所述第二电极，对所述钙钛矿电池进行电阻检测，基于所述电阻检测的结果，确定所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝是否满足刻缝要求；

7、其中，在所述第二方向上，所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝依次排列。

8、优选的，在上述制备方法中，在所述第二方向上，所述第一电极层包括n个依次排布的所述第一电极，所述钙钛矿层包括n个依次排布的所述钙钛矿区块，所述第二电极层包括n个依次排布的所述第二电极，n为大于1的正整数；

9、基于所述第一电极与所述第二电极，对所述钙钛矿电池进行电阻检测的方法包括：

10、以所述第一区域表面上的第i个所述第一电极与第i-1个所述第一电极作为两个电阻检测端，获取第一电阻；其中，所述第一电阻用于表征第i个所述第一电极与第i-1个所述第一电极之间的所述第一刻缝是否满足所述刻缝要求，i为小于或等于n的正整数；

11、以所述第一区域表面上的第i个所述第一电极与所述第三区域表面上的第i-1个所述第二电极作为两个电阻检测端，获取第二电阻；其中，所述第二电阻用于表征第i个所述第一电极与第i-1个所述第二电极之间的所述第二刻缝是否满足所述刻缝要求；

12、以所述第三区域表面上的第i个所述第二电极与第i-1个所述第二电极作为两个电阻检测端，获取第三电阻；其中，所述第三电阻用于表征第i个所述第二电极与第i-1个所述第二电极之间的所述第三刻缝是否满足所述刻缝要求。

13、优选的，在上述制备方法中，确定所述第一刻缝是否满足所述刻缝要求的方法包括：

14、判断所述第一电阻是否小于第一标准电阻；

15、若所述第一电阻不小于所述第一标准电阻，则所述第一刻缝满足所述刻缝要求；

16、若所述第一电阻小于所述第一标准电阻，则所述第一刻缝不满足所述刻缝要求。

17、优选的，在上述制备方法中，确定所述第二刻缝是否满足所述刻缝要求的方法包括：

18、判断所述第二电阻是否大于第二标准电阻；

19、若所述第二电阻不大于所述第二标准电阻，则所述第二刻缝满足所述刻缝要求；

20、若所述第二电阻大于所述第二标准电阻，则所述第二刻缝不满足所述刻缝要求。

21、优选的，在上述制备方法中，确定所述第三刻缝是否满足所述刻缝要求的方法包括：

22、判断所述第三电阻是否小于第三标准电阻；

23、若所述第三电阻不小于所述第三标准电阻，则所述第三刻缝满足所述刻缝要求；

24、若所述第三电阻小于所述第三标准电阻，则所述第三刻缝不满足所述刻缝要求。

25、优选的，上述制备方法还包括：

26、在形成所述钙钛矿层之前，在所述第二区域的所述第一电极层背离所述基板的一侧形成第一电荷传输层，所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝贯穿所述第一电荷传输层；

27、在形成所述第二电极层之前，在所述第二区域和所述第三区域的钙钛矿层背离所述基板的一侧形成第二电荷传输层，所述第二刻缝和所述第三刻缝贯穿所述第二电荷传输层。

28、优选的，上述制备方法还包括：当所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝满足所述刻缝要求后，去除位于所述第一区域的所述基板和所述第一电极层以及位于所述第三区域的所述基板、所述钙钛矿层、所述第二电荷传输层和所述第二电极层。

29、优选的，上述制备方法还包括：

30、基于表征目标刻缝不满足所述刻缝要求的检测电阻，确定刻蚀偏差量；

31、基于所述刻蚀偏差量，调整所述目标刻缝的刻蚀参数，以使得基于调整后的所述刻蚀参数所形成的刻缝满足所述刻缝要求；

32、其中，所述目标刻缝包括：不满足所述刻缝要求的所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝。

33、本技术还提出了一种基于如上述任一制备方法制备钙钛矿电池的制备系统，所述制备系统包括：

34、第一装置，用于制备得到所述钙钛矿电池的各个膜层；

35、第二装置，用于在所述钙钛矿电池上形成划线；

36、第三装置，用于对所述钙钛矿电池进行电阻检测；

37、控制器，用于基于所述电阻检测的结果，确定所述钙钛矿电池的第一刻缝、第二刻缝和第三刻缝是否满足刻缝要求。

38、优选的，在上述制备系统中，所述控制器还用于基于表征目标刻缝不满足所述刻缝要求的检测电阻，确定刻蚀偏差量；

39、基于所述刻蚀偏差量，调整所述目标刻缝的刻蚀参数，以使得基于调整后的所述刻蚀参数所形成的刻缝满足所述刻缝要求；

40、其中，所述目标刻缝包括：不满足所述刻缝要求的所述第一刻缝、所述第二刻缝和所述第三刻缝。

41、基于上述可知，本技术提出了一种钙钛矿电池的制备方法及制备系统，该制备方法包括：提供一基板，在第一方向上，基板包括依次排布的第一区域、第二区域和第三区域，第一方向平行于基板；在第一区域和第二区域上形成第一电极层，第一电极层包括在第二方向上依次排布的多个第一电极，相邻第一电极之间具有第一刻缝；第二方向垂直于第一方向，且平行于基板；形成钙钛矿层，钙钛矿层覆盖第二区域内的第一电极，且覆盖第三区域；钙钛矿层包括在第二方向上依次排布的多个钙钛矿区块，相邻钙钛矿区块之间具有第二刻缝；形成第二电极层，第二电极层覆盖钙钛矿层；第二电极层包括在第二方向上依次排布的多个第二电极，相邻第二电极之间具有第三刻缝，第三刻缝贯穿钙钛矿层；基于第一电极与第二电极，对钙钛矿电池进行电阻检测，基于电阻检测的结果，确定第一刻缝、第二刻缝和第三刻缝是否满足刻缝要求。其中，在第二方向上，第一刻缝、第二刻缝和第三刻缝依次排列。在该制作方法中，基于第一区域的第一电极和第三区域的第二电极，对钙钛矿电池进行电阻检测，基于电阻检测结果定量的分析第一刻缝、第二刻缝和第三刻缝的刻线程度，从而更精准的检测得到第一刻缝、第二刻缝和第三刻缝有无过刻或欠刻，且可基于该电阻检测结果判断每条刻缝欠刻或过刻程度的大小，同时该制备方法中的检测过程步骤简洁，操作简单，且不会对钙钛矿电池造成损伤。