1.用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,包括:四根朗缪尔探针和外接参考电极;
2.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,所述电子电路包括第一运算放大电路和第二运算放大电路;
3.如权利要求2所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,所述扫描电压加载电路,包括:第一运算放大器opa4196和第二运算放大器opa4196;
4.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,所述底座为金属底座,一体成型,所述底座的下表面设有一层绝缘垫片。
5.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,四根朗缪尔探针吸收电子或离子产生微电流,将探针上电流信号转化为电压信号,并实现信号的放大后,经过滤波电路滤波处理;滤波电路处理后的信号分别送入四个通道;
6.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,另外三根朗缪尔探针采用固定负偏压,用于采集离子饱和区的电流;通过所述另外三根朗缪尔探针的两两探针之间的电流的平方差与电压差的线性拟合,获取等离子体密度参数,具体包括:
7.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,外接参考电极的作用是作为测量电路中的参考地,并且在测量时收集等离子体中的电子离子,形成电流回路。
8.如权利要求1所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统,其特征是,所述外接参考电极,采用不锈钢材质,所述外接参考电极的表面积大于四根朗缪尔探针表面积总和的1000倍。
9.用于探测高密度等离子体的高分辨率探针方法,其特征是,包括:
10.如权利要求9所述的用于探测高密度等离子体的高分辨率探针方法,其特征是,另外三根朗缪尔探针采用固定负偏压,用于采集离子饱和区的电流;通过所述另外三根朗缪尔探针的两两探针之间的电流的平方差与电压差的线性拟合,获取等离子体密度参数,具体包括: