一种工艺腔体本地电箱的制作方法

本技术涉及半导体制造，更具体的说，涉及一种工艺腔体的本地电箱。

背景技术：

1、在半导体行业，工艺腔体的本地电箱的内部空间十分有限，本地电箱内包含有各种电气元件，每个电气元件的布局非常紧凑，维持电箱内温度对延长电气元件的使用寿命和使用效率十分的关键。

2、在工艺腔体中，由于电气元件在半导体工艺进行时会产生热量，使得电箱内温度升高，因此，通常会在本地电箱内布置散热装置进行散热。

3、但是，现有普通风扇在用于工艺腔体本地电箱时，普遍存在以下问题：

4、1)风扇转速固定，导致箱体温度环境散热不稳定问题；

5、2)需要根据不同箱体和元件的散热量对风扇进行选型，如果风扇选用不当，一方面如果风扇转速过小，则达不到制冷效果，另一方面如果风扇转速过大，则功耗大、不节能，造成资源浪费；

6、3)风扇到达使用寿命或发生异常不能运行时，设备人员无法及时收到信息进行维修或更换。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种工艺腔体本地电箱，解决现有技术的工艺腔体本地电箱箱体内部散热不稳定的问题。

2、本实用新型的又一个目的是提供一种工艺腔体本地电箱，解决现有技术的工艺腔体本地电箱风扇故障难以进行监测的问题。

3、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种工艺腔体本地电箱，包括箱体、风扇和电气元件：

4、所述电气元件，安装在所述箱体内部；

5、所述风扇，至少为两个，分别安装在所述箱体的相对侧壁，并且距离箱体底部的安装高度互不相同。

6、在一实施例中，所述风扇进一步包括进气风扇和出气风扇：

7、所述进气风扇的安装高度低于出气风扇的安装高度。

8、在一实施例中，所述风扇为可调速风扇。

9、在一实施例中，所述风扇为脉冲宽度调制风扇。

10、在一实施例中，所述工艺腔体本地电箱，还包括温度传感器和控制器：

11、所述温度传感器，安装在所述箱体内部，用于检测箱体内的当前温度并将温度信息发送至控制器；

12、所述控制器，用于接收温度传感器的温度信息并控制所述风扇转速。

13、在一实施例中，所述控制器，用于接收风扇的风扇故障信号。

14、在一实施例中，所述工艺腔体本地电箱，还包括显示系统：

15、所述显示系统，用于接收控制器发送的风扇故障信号和/或温度信号并进行显示。

16、在一实施例中，所述显示系统为图形用户界面系统。

17、本实用新型提供的工艺腔体本地电箱，采用多个风扇，气体流通形成对流，冷气下进，热气上出，进行充分降温，采用pwm控制功能的风扇，在箱体内增加温度传感器，gui系统对箱体温度进行实时监控，能够在电箱内保持温度恒定，有利于半导体工艺的稳定进行。

18、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。

技术特征：

1.一种工艺腔体本地电箱，其特征在于，包括箱体、风扇和电气元件：

2.根据权利要求1所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，所述风扇进一步包括进气风扇和出气风扇：

3.根据权利要求1所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，所述风扇为可调速风扇。

4.根据权利要求3所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，所述风扇为脉冲宽度调制风扇。

5.根据权利要求1所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，还包括温度传感器和控制器：

6.根据权利要求5所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，所述控制器，用于接收风扇的风扇故障信号。

7.根据权利要求5所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，还包括显示系统：

8.根据权利要求7所述的工艺腔体本地电箱，其特征在于，所述显示系统为图形用户界面系统。

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，更具体的说，涉及一种工艺腔体的本地电箱。本技术提供了一种工艺腔体本地电箱，包括箱体、风扇和电气元件：所述电气元件，安装在所述箱体内部；所述风扇，至少为两个，分别安装在所述箱体的相对侧壁，并且距离箱体底部的安装高度互不相同。本技术提供的工艺腔体本地电箱，采用多个风扇气体流通形成对流，冷气下进、热气上出，进行充分降温；采用PWM控制功能的风扇，能够在电箱内保持温度恒定，有利于半导体工艺的稳定进行。

技术研发人员：陶海龙
受保护的技术使用者：拓荆科技(上海)有限公司
技术研发日：20230515
技术公布日：2024/1/15