一种滤波器、滤波装置的制作方法

本技术涉及射频，更具体地说，涉及一种滤波器。

背景技术：

1、射频(rf，radio frequency)，又称无线电频率、无线射频、高周波等，指在300khz-300ghz范围内的频率，射频技术与当代无线通信技术息息相关，典型射频器件包括滤波器(filter)、双工/多工器(diplexer/duplexer/multiplexer)、功率放大器(pa)、低噪声放大器(lna)、射频开关(switch)、单片微波集成芯片(micc)和具有集成化功能的射频模组(model)等等。更进一步的，5g指第5代移动通信网络，传输速度快，传输信号稳定，应用在高频传输领域，目前定义有两大频率范围，fr1(450mhz-6ghz，即常说的sub-6ghz)和fr2(24.25ghz-52.6ghz，即常说的毫米波频段)，一些典型的细分频段例如n77(3300mhz-4200mhz)，n78(3300mhz-3800mhz)，n79(4400mhz-5000mhz)等，相关的技术应用对于成本(需要多块芯片或分立器件)、体积(要求极高的集成度和更小的空间占用)、工艺(量产性能和设计性能，良率等)、模块化(降低调试成本等)、带宽、性能等等都提出了更高要求，使其区别于之前的射频设计。

2、射频芯片是射频技术在半导体领域应用的一条重要分支，以半导体工艺加工制造射频集成电路的相关领域，区别于分立器件的技术方案。在射频芯片领域中，滤波器可以滤除异频信号的干扰，衰减部分频率成分，只让指定频率成分通过，是无线频谱作为不可再生的稀缺资源应用的技术基础。目前滤波器主要分为saw(surface acoustics wave，声表面波滤波器)和baw(bulk acoustics wave，体声波滤波器)，saw往往成本低，应用于低频段，插损低抑制性好，温度敏感，也有tc-saw等进行温度补偿的设计；baw在高频表现好于saw，q值高，尺寸随频率增加而降低，温度敏感性低，但是较贵，也有xbar(薄膜体声波谐振器)和smr(固态装配谐振器)等设计。

3、滤波器往往使用谐振器作为基本单元，构成相应的拓扑并放大指定频率成分信号。随着社会发展，现有的滤波器芯片的设计与制造对于尺寸的要求越来越高，并且，更高的集成度也提出了要将同样甚至更好性能的谐振器集成在更小的面积内以形成更小面积的滤波器，现有的滤波器的拓扑结构一般设计为“t”型拓扑结构，由于滤波器的尺寸要求越来越小，现有的面积偏大的滤波器已经不能满足要求。

技术实现思路

1、有鉴于此，为解决上述问题，本实用新型提供一种滤波器、滤波装置，技术方案如下：

2、一种滤波器，所述滤波器包括：

3、输入端、输出端、第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器以及至少一个无源器件；

4、所述输入端与所述第一谐振器的第一端连接；所述第一谐振器的第一端与所述第二谐振器的第一端连接；所述第一谐振器的第二端与所述第三谐振器的第一端连接；所述第三谐振器的第二端与所述第二谐振器的第二端连接；所述第二谐振器的第二端与所述输出端连接；

5、所述无源器件的第一端与所述第一谐振器的第二端连接；所述无源器件的第二端接地。

6、一种滤波装置，所述滤波装置包括：

7、至少一个滤波器，所述滤波器为上述任一所述的滤波器。

8、相较于现有技术，本实用新型实现的有益效果为：

9、本实用新型提供了一种滤波器，该滤波器中，无源器件具有滤波功能，并且由于该滤波器中的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器采用了三角形滤波器拓扑结构的连接方式，使得第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器可以采用面积更小的谐振器，从而实现缩小滤波器的面积的效果。

技术特征：

1.一种滤波器，其特征在于，所述滤波器包括：

2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器或所述第二谐振器或所述第三谐振器为声表面波谐振器。

3.根据权利要求2所述的滤波器，其特征在于，所述声表面波谐振器包括：

4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器或所述第二谐振器或所述第三谐振器为体声波谐振器。

5.根据权利要求4所述的滤波器，其特征在于，所述体声波谐振器包括：

6.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器或所述第二谐振器或所述第三谐振器为贴片式谐振器。

7.根据权利要求6所述的滤波器，其特征在于，所述贴片式谐振器包括：

8.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器或所述第二谐振器或所述第三谐振器为薄膜体声波谐振器。

9.根据权利要求8所述的滤波器，其特征在于，所述薄膜体声波谐振器包括：

10.一种滤波装置，其特征在于，所述滤波装置包括：

技术总结
本技术提供了一种滤波器、滤波装置，该滤波器包括：输入端、输出端、第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器以及至少一个无源器件；输入端与第一谐振器的第一端连接；第一谐振器的第一端与第二谐振器的第一端连接；第一谐振器的第二端与第三谐振器的第一端连接；第三谐振器的第二端与第二谐振器的第二端连接；第二谐振器的第二端与输出端连接；无源器件的第一端与第一谐振器的第二端连接；无源器件的第二端接地；该滤波器中，无源器件具有滤波功能，并且由于第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器采用了三角形滤波器拓扑结构的连接方式，使得第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器可以采用面积更小的谐振器，从而实现缩小滤波器的面积的效果。

技术研发人员：郑永帅,高安明,路晓明,姜伟
受保护的技术使用者：浙江星曜半导体有限公司
技术研发日：20230626
技术公布日：2024/1/15