振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及振子、振荡器、电子设备、物理量传感器W及移动体。
【背景技术】
[0002] W外，公知有使用了石英的振动元件。该样的振动元件的频率温度特性优异，因此 被广泛用作各种电子设备的基准频率源和振荡源等。
[0003]专利文献1中记载的振动元件为音叉型，具有振动片，该振动片包含；基部；从基 部的一端侧延伸的一对振动臂；位于基部的另一端侧的连接部；W及位于基部与连接部之 间并连结它们的连结部（被缺口夹着的宽度小的部分），通过形成连结部，能够减少振动泄 漏。此外，在专利文献1中，还记载有连结部的宽度W2可W为基部的宽度化的50% W下。
[0004] 但是，在专利文献1记载的振动元件中，在各振动臂的末端部没有设置施重部（键 头）。在振动臂设置有施重部的情况下，驱动时的振动臂容易产生扭曲，相应地处于振动泄 漏增大的趋势。此外，在相同长度的振动臂中，在为了实现振动元件的高性能化而形成施重 部的情况下，由弯曲振动给基部带来的振动影响必然增大，振动泄漏也随之处于增大的趋 势。因此，在振动臂设置有施重部的情况下，如果仅将宽度W2设为宽度化的50% W下，贝U 无法确定是否能够充分地减少振动泄漏。
[0005] 此外，将振动元件固定于封装的固定部件（通常为金属凸点或导电性的粘合部 件）的硬度对振动元件的振动泄漏的影响较大。目P，即使将宽度W2设为宽度化的50%W 下，根据固定部件的硬度，可能无法充分减少振动泄漏。在专利文献1中，关于固定部件的 硬度没有任何记载，固定部件的硬度与宽度W2 (W2/W1)的关系不明。
[0006]专利文献1;日本特开2009-130456号公报
【发明内容】
[0007] 本发明的目的在于，提供能够减少振动泄漏的振子、具有该振子的高可靠性的振 荡器、电子设备、物理量传感器W及移动体。
[000引本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为W下应用例来实 现。
[0009][应用例^
[0010] 本应用例的振子的特征在于该振子包含；振动元件；安装有所述振动元件的封 装；W及将所述振动元件安装于所述封装的部件，所述振动元件包含；基部；一对振动臂， 它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸；连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧； W及连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含：施重部；W及臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间，在设 所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述交叉的方 向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E佑Pa)时，在满足-1. 3《1〇班< -0. 7的关系时， 满盾
【主权项】
1. 一种振子，其特征在于，该振子包含： 振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-1. 3 < IogE < -0. 7的关系时， 满足
的关系。
2. -种振子，其特征在于，该振子包含： 振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-0. 7 < IogE < 0. 7的关系时， 满足
关系。
3. -种振子，其特征在于，该振子包含： 振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-1. 3 < IogE < -1.0 的关系时， 满足
4. 一种振子，其特征在于，该振子包含：
振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-I. 0 < IogE < 0. 7的关系时， 满足
系。
5. -种振子，其特征在于，该振子包含： 振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-I. 3 < IogE <-0· 82的关系时， 满足
的关系。
6. -种振子，其特征在于，该振子包含： 振动元件； 安装有所述振动元件的封装；以及 将所述振动元件安装于所述封装的部件， 所述振动元件包含： 基部； 一对振动臂，它们在俯视时从所述基部的一端侧延伸； 连接部，其在俯视时配置在所述基部的另一端侧；以及 连结部，其在俯视时配置在所述基部与所述连接部之间，连结所述基部与所述连接部， 所述振动臂包含： 施重部；以及 臂部，其在俯视时配置在所述基部与所述施重部之间， 在设所述基部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度为W1、所述连结部的沿着所述 交叉的方向的宽度为W2、所述部件的杨氏模量为E(GPa)时， 在满足-0. 82 < IogE < 0. 7的关系时， 满足
的关系。
7. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 在设所述振动臂的沿着所述延伸方向的长度为L、所述施重部的沿着所述延伸方向的 长度为H时， 满足
的关系。
8. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 在设所述振动臂的沿着所述延伸方向的长度为L、所述施重部的沿着所述延伸方向的 长度为H时， 满屈
的关系。
9. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 所述振动臂具有互为正反关系的一对主面和分别设置于所述一对主面的一对槽， 在设沿着与所述延伸方向交叉的方向而夹着所述槽排列的所述主面的各部位的宽度 为W3时， 满足7(ym)彡W3彡15(ym)的关系。
10. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 所述振动臂具有互为正反关系的一对主面和分别设置于所述一对主面的一对槽， 在设所述振动臂的厚度为Τ、所述槽的深度为t时， 满足
的关系。
11. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 所述施重部的沿着与所述延伸方向交叉的方向的宽度大于所述臂部的沿着与所述延 伸方向交叉的方向的宽度。
12. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 所述基部包含第1宽度缩小部，该第1宽度缩小部位于所述另一端侧，在俯视时，与所 述延伸方向交叉的方向的长度沿所述一对振动臂之间的中心线随着远离所述一端而连续 地或者阶段性地减小。
13. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的振子，其特征在于， 所述基部包含第2宽度缩小部，该第2宽度缩小部位于所述一端侧且所述一对振动臂 之间，在俯视时，与所述延伸方向交叉的方向的长度沿所述一对振动臂之间的中心线随着 远离所述另一端而连续地或阶段性地减小。
14. 一种振荡器，其特征在于，其具有： 权利要求1~13中的任意一项所述的振子；以及 电路。
15. -种电子设备，其特征在于，其具有权利要求1~13中的任意一项所述的振子。
16. -种物理量传感器，其特征在于，其具有权利要求1~13中的任意一项所述的振 子。
17. -种移动体，其特征在于，其具有权利要求1~13中的任意一项所述的振子。
【专利摘要】提供振子、振荡器、电子设备、物理量传感器和移动体，能够减少振动泄漏。振子(1)具有：振动元件(2)；安装有振动元件(2)的封装(9)；以及将振动元件(2)固定于封装(9)的导电性粘合部件(11、12)。在设振动元件(2)的基部(31)的宽度为W1、连结部(35)的宽度为W2、导电性粘合部件(11、12)的杨氏模量为E时，在满足-1.3GPa≤logE≤-0.7GPa的关系时，满足0.1≤W2/W1≤0.7的关系。
【IPC分类】H03H9-02, H03H9-19, G06F17-50
【公开号】CN104753491
【申请号】CN201410828016
【发明人】山田明法
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月26日
【公告号】US20150188516