一种MEMS麦克风的制作方法

技术特征：

1.一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有由振膜(3)和背极(5)、支撑部(4)构成的平板电容器结构；在所述振膜(3)上设置有通孔(30)，在所述背极(5)上设置有泄压阀(51)，在所述振膜(3)与背极(5)之间形成了保压通道(31)，所述振膜(3)上的通孔(30)构成了该保压通道(31)的入口，所述背极(5)上的泄压阀(51)构成了该保压通道(31)的出口。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述背极(5)上还设置有多个辅助泄压孔(50)。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压阀(51)设置有多个，多个泄压阀(51)环绕设置在背极(5)上。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述通孔(30)与泄压阀(51)的正投影重叠，且所述通孔(30)的尺寸小于泄压阀(51)的尺寸。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压阀(51)的开口方向朝向背极(5)的中心区域。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压阀(51)的开口方向远离背极(5)的中心区域。

7.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压阀(51)呈矩形、扇形、椭圆形、梯形或者S型。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述泄压阀(51)分布在背极(5)的中心区域或者边缘区域。

9.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述衬底(1)上形成的是背极(5)在上、振膜(3)在下的平板电容器结构。

10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：在所述衬底(1)上形成的是振膜(3)在上、背极(5)在下的平板电容器结构。