技术总结
本实用新型涉及一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构；在所述振膜上设置有通孔，在所述背极上设置有泄压阀，在所述振膜与背极之间形成了保压通道，所述振膜上的通孔构成了该保压通道的入口，所述背极上的泄压阀构成了该保压通道的出口。本实用新型的麦克风，通过进入至保压通道内的气压与振膜外界受到的瞬间冲击力进行对抗，来获得二者之间的动态平衡，可以很好地缓冲振膜所受到的冲击力；采用这种结构的泄压方式，使得不用在振膜上进行过多的泄压设计，保证了振膜的可靠性。
技术研发人员：詹竣凱;蔡孟錦
受保护的技术使用者：歌尔科技有限公司
文档号码：201720752374
技术研发日：2017.06.26
技术公布日：2018.03.20