新型MEMS芯片结构和电子设备的制作方法

文档序号:25394773发布日期:2021-06-08 19:44阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种新型mems芯片结构,其特征在于,所述新型mems芯片结构包括:基体,所述基体设有安装面;麦克风组件,所述麦克风组件设于所述安装面;及惯性传感器,所述惯性传感器设于所述安装面,并与所述麦克风组件间隔设置。2.如权利要求1所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述基体设有贯通所述安装面的贯通孔;所述麦克风组件包括:振膜,所述振膜设于所述安装面,并与所述贯通孔对应;第一支撑部,所述第一支撑部设于所述振膜背向所述安装面的一侧;及背极,所述背极设于所述第一支撑部背向所述振膜的一侧,并与所述振膜相对设置,所述背极、所述第一支撑部及所述振膜围合形成连通所述贯通孔的背腔。3.如权利要求2所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述振膜开设有导通孔,所述导通孔连通所述背腔和所述贯通孔;且/或,所述背极开设有连通所述背腔的多个气孔,多个所述气孔呈间隔设置。4.如权利要求3所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述振膜设有两个导通孔;两个所述导通孔呈间隔设置;或,两个所述导通孔呈对称设置。5.如权利要求2所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述惯性传感器包括:第一电极,所述第一电极设于所述安装面,并与所述振膜间隔设置;第二支撑部,所述第二支撑部设于所述第一电极背向所述安装面的一侧;及第二电极,所述第二电极位于所述第二支撑部背向所述第一电极的一侧,并与所述第一电极相对设置,所述第二电极、所述第二支撑部及所述第一电极围合形成空腔,所述第二电极设有连通所述空腔的通孔。6.如权利要求5所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述第二电极包括多个惯性电极和多个固定电极,多个所述惯性电极和多个所述固定电极呈交替且间隔排布,相邻的所述惯性电极和所述固定电极之间形成所述通孔。7.如权利要求6所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述第二支撑部与所述第一支撑部连接;且/或,所述惯性电极呈梳齿结构;且/或,所述固定电极呈梳齿结构。8.如权利要求6所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述基体包括呈层叠设置的衬底和绝缘层,所述绝缘层背向所述衬底的一侧形成所述安装面,所述衬底的材质为单晶硅材料,所述绝缘层的材质为二氧化硅材料;且/或,所述背极、所述振膜、所述惯性电极和所述固定电极的材质为多晶硅材料;且/或,所述第一支撑部和所述第二支撑部的材质为二氧化硅材料。9.如权利要求1至8中任一项所述的新型mems芯片结构,其特征在于,所述麦克风组件与所述惯性传感器之间形成有间隙;所述新型mems芯片结构还包括隔离柱,所述隔离柱设于所述间隙内;或,所述新型mems芯片结构还包括隔离罩,所述隔离罩罩设于所述惯性传感器,并部分位于所述间隙内。10.一种电子设备,其特征在于,包括:设备壳体,所述设备壳体设有容腔;和
如权利要求1至9中任一项所述的新型mems芯片结构,所述新型mems芯片结构设于所述容腔内。
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