技术特征：
1.一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层，其特征在于，还包括分别置于绝缘支撑层两侧的压电振膜单元；所述衬底为长方体(11)或者由两个结构相同的衬底(41)、衬底(42)组成的衬底；所述衬底(41)、衬底(42)均为两底面上有两边相等的三棱柱体，两个三棱柱中与其它两侧面面积不相等的侧面相距至少几百微米且呈对称布置；所述绝缘支撑层采用底面为八边形的立体结构(2)和底面为六边形的立体结构(5)两种；所述压电振膜单元中设置两个结构相同且为等腰三角形的立体薄层的第一压电振膜(31)、第二压电振膜(32)；两个压电振膜结构距等腰三角形底边高度小于等于二分之一高的部分，分别置于绝缘支撑层的两侧，其余部分的压电振膜悬浮设置。2.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述衬底(41)、衬底(42)均为圆柱体或圆台体。3.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述底面为八边形的立体结构(2)的四组两两对边相互平行，且四组对边长度比值为41：20：9：9。4.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述底面为六边形的立体结构(5)的三组两两对边相互平行，且三组对边长度比值为20：9：9。5.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述第一压电振膜(31)由依次堆叠的第一层电极(311)、第一压电层(312)、第二层电极(313)、第二压电层(314)、第三层电极(315)组成。6.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述第二压电振膜(32)由依次堆叠的第一层电极(321)、第一压电层(322)、第二层电极(323)、第二压电层(324)、第三层电极(325)组成。7.根据权利要求1所述的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，其特征在于，所述第一压电振膜(31)和第二压电振膜(32)为半圆或多边形的立体薄层，多边形中边的数目大于或等于3。
技术总结
本发明公开一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风，包括置于衬底上表面的绝缘支撑层、分别置于绝缘支撑层两侧的第一、第二压电振膜。衬底采用长方体或者相距一定距离且两底面上有两边相等的三棱柱体形状相同的立体结构。所述两个结构相同的衬底均为每个压电振膜以极少部分设置在绝缘支撑层上，其余部分悬浮设置。本发明解决了现有技术中存在空腔大小不足、麦克风灵敏度不高、实现声源识别能力需采用大面积压电振膜但声源识别能力不高的问题，使得本发明具有更小的面积与更好的声源识别能力的优点。本发明在实际应用于系统芯片中时，不仅占用面积小同时具有更高的灵敏度。灵敏度。灵敏度。
技术研发人员：韩根全 姚丹阳 刘艳 蒋智
受保护的技术使用者：西安电子科技大学杭州研究院
技术研发日：2022.01.10
技术公布日：2022/4/15