专利名称：液相外延生长薄膜的衬底夹具的制作方法
技术领域：
本发明涉及液相外延，特别是一种液相外延薄膜生长的衬底夹具，一种适用于应用液相外延生长具有旋光、非线性、电光以及闪烁特性的单晶薄膜，如化学计量比LiNbO3单晶薄膜、β-BaB2O4单晶薄膜、Ce∶LuAP/Ce∶YAP复合膜等的衬底夹具。
所述连接杆上端设有两个相互错位交叉的通孔；
所述衬底夹盘上定位通孔是多个通孔，分别离该衬底夹盘中心的距离不同；所述包边的长度可以小于衬底夹盘周边的半圆弧。
所述衬底夹盘上定位通孔也可以采用与衬底夹盘焊接的可回转的铂金片对衬底进行定位。本发明的技术效果1、本发明衬底夹盘的大小与衬底的大小基本一致，将衬底放入衬底定位空腔后，再用Pt/Rh丝穿过定位通孔缠绕固定，衬底夹具通过连接杆上的通孔与外延炉上的提拉杆连接固定。这样衬底固定牢靠，提拉杆高速旋转，带动衬底夹具同样旋转，使衬底在溶液中可作高速旋转，既能起到搅拌作用，使衬底周围各处溶液浓度更趋于平衡和均匀，又可解决温场不均匀带来的生长差异。
2、本发明衬底夹具结构简单，安装方便，使用可靠。
图2是本发明实施例1仰视图。
图3是本发明实施例2结构示意图。
图4是本发明实施例3仰视图。
图5是本发明实施例4仰视图。
图6是本发明实施例5仰视图。
图中1——连接杆，11、12——连接通孔，2——衬底夹盘3——半圆形包边，4——衬底定位腔，5——定位通孔51、52——定位通孔，6——回转铂金片实施例2见图3，基本结构同实施例1，只是对实施例1中夹具作微小改动，即省去孔12，采用螺栓将衬底夹具与提拉杆固定。适用于小的夹具，旋转时扭力较小。
实施例3是对实施例1的又一改变，由于衬底大小有时候有细小差别，于是我们在定位孔5附近钻多个类似的孔51、52，以适应不同大小衬底的固定，其他构造如同实施例1。
实施例4如图5，即将半圆弧形包边3变动，小于衬底夹盘周边的半圆弧，但可以达到固定衬底的同样效果，其他构造如同实施例1。
实施例5如图6，用可以采用焊接在衬底夹盘的可回转的铂金片6代替定位孔对衬底进行固定，这样减少衬底加工时打孔或割槽带来的麻烦，同样可以达到固定衬底的作用。
权利要求
1.一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于它是由一衬底夹盘(2)的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆(1)构成，该衬底夹盘(2)的底面设有半圆弧形包边(3)形成一衬底定位腔(4)，与该半圆弧形包边(3)相对在该衬底夹盘(2)上设有定位通孔(5)，该连接杆(1)上端还设有一通孔(11)。
2.根据权利要求1所述的液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于所述连接杆(1)上端设有两个相互错位交叉的通孔(11、12)。
3.据权利要求1所述的液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于所述衬底夹盘(2)上定位通孔(5)是多个通孔(51、52)，分别离该衬底夹盘(2)中心的距离不同。
4.根据权利要求1所述的液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于所述包边(3)的长度可为小于衬底夹盘(2)周边的半圆弧。
5.根据权利要求1所述的液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于所述衬底夹盘(2)上定位也可以采用与衬底夹盘(2)相连接的可回转的铂金片(6)代替。
全文摘要
一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹具，其特征在于它是由一衬底夹盘的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆构成，该衬底夹盘的底面设有半圆弧形包边形成一衬底定位腔，与该半圆弧形包边相对在该衬底夹盘上设有定位通孔，该连接杆上端还设有一通孔。本发明的液相外延薄膜生长衬底夹具使衬底在溶液中可作高速旋转，既能起到搅拌作用，使衬底周围各处溶液浓度更趋于平衡和均匀，又可解决温场不均匀带来的生长差异。本发明液相外延薄膜生长的衬底夹具结构简单，安装方便，使用可靠。
文档编号C30B19/00GK1424438SQ0311481
公开日2003年6月18日 申请日期2003年1月10日 优先权日2003年1月10日
发明者赵广军, 何晓明, 徐军, 王海丽, 刘军芳 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所