专利名称：一种升降式推车的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种运送工件的升降式推车。
技术背景目前公知的在工程内用于运送工件的手推车，提升高度的精确度都不高一般提升精确度达不到lmm,推车自身没有自锁装置，推车上的工件移动时， 推车有滑动、振动、倾斜现象。同时推车上的工件搬运、移动、调整、提升、 拆卸比较费时、费力、难度大，操作不方便。推车上的工件缺少定位和装夹 装置，对于不同形状尺寸的工件装夹也不方便，推车也不具有减振功能。在光刻机整机集成过程中，有些部件的安装和检测都需要升降式推车， 同时需要推车升降高度可调，升降推车必须牢固，载重量大。升降推车在工 作时间不能有松动、晃动、振动。升降推车装卸工件必须方便、迅速、可靠。 升降推车必须有自锁功能。升降推车上必须有导轨以便于工件的运送，同时 可以使工件按规定的方向做直线运动。升降推车必须有定位装置，目的是为 了移动推车时，工件在推车上不发生移动。同时还要求推车可与装载不同形 状尺寸的工件。发明内容本发明提供的一种升降式推车，升降高度可调、牢固、载重量大，在工 作时间不松动、不晃动、不振动，装卸工件方便，有自锁功能，推车上设置 导轨以便于工件的运送，同时可以使工件按规定的方向做直线运动，推车还 设置有定位装置，该推车可装载不同形状尺寸的工件。为了达到上述，本发明提供一种升降式推车，包含底座机构和上支架机 构，还包含连接所述底座机构和上支架机构的若干升降锁紧机构，以及设置
在所述上支架机构上的若干工件升降锁紧定位^/L构；所述的底座机构包含若干脚轮，以及若干脚轮调整块； 脚轮通过若干螺钉安装在底座上，脚轮调整块通过螺紋安装在底座上； 所述的上支架机构包含两条平行排列的导轨，还包含若干滑动导轨； 所述的导轨通过若干螺钉固定在上支架上；所述的滑动导轨通过配套设置的螺钉和螺母安装在所述导轨上，可以在 导轨上滑动；所述的滑动导轨上平行设置导轨槽和梯形槽；所述的导轨槽内设置有緩 沖垫，具有减震作用；所述的升降锁紧机构包括 套管；可旋入套管中的螺旋导杆，该旋转螺旋导杆使得安装在顶座上面的上支 架可以做升降运动；通过螺钉与螺旋导杆连接的顶座；顶座内设置有压盖，所述压盖的锥面与螺旋导杆的锥面组合成的锥面副 在螺旋导杆旋转时减小摩擦，压盖的圓柱面起固定碟簧和定位作用，压盖的 上面起导向作用；压盖上放入若干开槽碟簧，所述的开槽碟簧具有緩冲、定位和减振功能， 开槽碟簧在外力作用下碟簧片的高度减小和每个碟簧片沿着开槽方向滑动； 通过螺钉安装在顶座上的压板；若干螺勿^文置到顶座的螺孔中，将升降锁紧^i构固定在上支架上； 若干螺钉放置到套管的螺孔中，将升降锁紧机构固定在底座上； 所述的螺钉可以锁住升降锁紧机构，使推车不会松动； 左旋螺旋块放入套管的水平孔中，左右旋螺栓旋入右旋螺旋块后，把左 右旋螺栓旋入已经放好的左旋螺旋块中；所述的左右旋螺栓的左端是左旋螺紋，右端是右旋螺紋； 左旋螺旋块的螺故是左旋螺紋； 右旋螺旋块的螺紋是右旋螺紋；所述的工件升降锁紧定位机构包括升降机构和定位机构；
所述的升降机构包含 支架；可旋入所述支架中的提升螺栓，该提升螺栓可以使工件升降锁紧定位机 构做升降运动；螺母旋入到已经安装好的支架的提升螺栓中；通过若干螺钉安装在支架上的脚轮，该脚轮可以使工件升降锁紧定位机 构在水平面内旋转，并可以带动工件升降锁紧定位机构沿着导轨的导轨槽滑 动；还包含粘结在所述支架上的侧橡胶板和橡胶板； 以及通过螺栓设置在支架上的平垫圈； 所述的定位机构包含 定^f立座，该定4立座的两侧各有一个通孔； 该定位座一侧通孔中设置拉杆；该定位座另一侧通孔中设置定位杆，定位杆上套装弹簧，从而连接定位 座和支架；所述的弹簧可以使定位杆受向下的推力，定位杆可以在支架的孔 中作上下运动；所述的拉杆上设置梯形座和弹簧；所述的梯形座设置在滑动导轨上的梯形槽内，该梯形座可以在滑动导轨 上的梯形槽内滑动；凸轮通过销杆设置在拉杆的孔中； 手柄旋入凸轮中；所述的凸轮可以顺着销杆旋转，凸轮的旋转可以带动拉杆作上下运动， 弹簧可以使定位座受向上的推力；定位销旋入支架孔中，定位销固定梯形座。 本发明提供的 一种升降式推车的工作原理如下逆时针旋转左右旋螺栓，令左旋螺旋块和右旋螺旋块向外运动，使得左 旋螺旋块和右旋螺旋块与旋转螺旋导杆的间隙增大，把扳手插入升降锁紧机 构的螺旋导杆的一个孔中，旋转扳手使推车上下移动，将上支架的表面调整 到合适的高度和处于水平的状态，然后顺时针旋转左右旋螺栓可以令左旋螺 旋块和右旋螺旋块向里运动，使得左旋螺旋块和右旋螺旋块与旋转螺旋导杆的间隙减小，锁住旋转螺旋导杆，推车处于锁定状态； 调整好后，锁住脚轮；松开螺母，使滑动导轨滑动到合适的位置后锁紧螺母； 调节工件升降锁紧定位机构的提升螺栓到合适的高度后，顺时针旋转手 柄，手柄以销杆为圆心转动，凸轮是一个偏心凸轮，凸轮面与定位座的顶面 距离增大，此时凸轮^Hf,弹簧推动梯形座向下移动，梯形座推动拉杆向下 移动，此时定位座松开。向上提拉定位杆，当定位杆的底面高出定位座的顶 面时，此时以拉杆为轴心，逆时针旋转定位座。用同样的方式旋转支架上的 另一个手柄、另一个定位座和提拉另一个定位杆，此时支架和定位座处于+> 动状态，分别移动支架和定位座，脚轮就会沿着导轨的导轨槽内滑动，定位 座沿着导轨的梯形槽滑动，此刻工件会和支架一起移动；当移动到合适的位 置时，向上提拉定位杆，当定位杆的底面高出定位座的顶面时，此时以4i^f 为轴心，顺时针旋转定位座，当定位座的凹槽与定位销的柱面相接触时，松 开定位杆，使定位杆的底面进入定位座的孔中，停止旋转定位座，逆时针旋 转手柄，手柄以销杆为圆心转动，凸轮是一个偏心凸轮，凸轮面与定位座的 顶面距离减小，拉杆推动梯形座向上移动，弹簧处于收缩状态，此时定位座 固定，工件处于固定状态。用同样的方式旋转支架上的另一个手柄、另一个 定位座和提拉另一个定位杆，此时支架和定位座处于固定状态，此时凸轮压 紧定位座。把工件放到橡胶板的面上并与侧橡胶板的面接触后拧紧全螺紋六 角头螺栓，此工件安装完毕；松开锁住脚轮，到目标处后，按上面方法松开凸轮，旋转定位座，推移 工件，脚轮就会沿着导轨的导轨槽内滑动。整个工件的起吊可以在支架上安 装起吊螺栓起吊。本发明提供的一种升降式推车，结构紧凑，体积小，重量轻，推车的升 降高度可以精确控制精确度达到lmm,推车升降方便。推车具有自锁功能， 在推车上搬运、移动、提升、调整及拆卸工件时推车很平稳，无振动。推车 可装载不同形状尺寸的工件，且工件的搬运、移动、提升、调整及拆卸安全、 方便极迅速。推车定位和装夹工件方便、迅速、可靠。推车具有减振功能，
可以很好的保护工件。
图l是本发明提供的一种升降式推车的主视图；图2是本发明提供的一种升降式推车的俯视图；图3是本发明提供的一种升降式推车的左视图；图4是本发明提供的 一种升降式推车的升P争锁紧机构的主视图；图5是本发明提供的一种升降式推车的升P争锁紧机构的轴测示意图；图6是本发明提供的一种升降式推车的工件升降锁紧定位机构的主视图；图7是本发明提供的一种升降式推车的工件升降锁紧定位机构的俯视图；图8是图6中本发明提供的一种升降式推车的工件升降锁紧机构的C-C 截面示意图；图9是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构左旋螺旋块轴测图；图10是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构左旋螺旋块主视图；图11是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构左旋螺旋块俯视图；图12是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构右旋螺旋块轴测图；图13是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构右旋螺旋块主视图；图14是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构右旋螺旋块俯视图；图15是本发明提供的一种升降式推车的升降锁紧机构开槽碟簧主视图； 图16是本发明提供的 一种升降式推车的升降锁紧机构开槽碟簧右视图； 图17是本发明提供的一种升降式推车的工件升降锁紧定位机构的定位
机构的主^L图。
具体实施方式
以下根据图1 图17，具体说明本发明的较佳实施方式如图l-图3所示，本发明提供一种升降式推车，包含底座机构和上支 架机构，还包含连接所述底座机构和上支架机构的若干升降锁紧机构，以及 设置在所述上支架机构上的若干工件升降锁紧定位机构；所述的底座机构包含若干脚轮2，以及若干脚轮调整块3;脚轮2通过若干内六角圆柱头螺钉41安装在底座1上，脚轮调整块3 通过螺紋安装在底座1上；所述的上支架机构包含两条平行排列的导轨6,还包含若干滑动导轨5;所述的导轨6通过若干六角圓柱头螺钉7固定在上支架4上；所述的滑动导轨5通过配套设置的梯形头螺钉9和I型六角头螺母10安 装在所述导轨6上，可以在导轨6上滑动；所述的滑动导轨5上平行设置导轨槽111， 081和梯形槽112， 082;所 述的导轨槽内设置有緩沖垫12，具有减震作用；如图4、图5所示，所述的升降锁紧机构包括套管13;可旋入套管13中的螺旋导杆14，该旋转螺旋导杆14，使得安装在顶座 15上面的上支架4可以做升降运动；所述的旋转螺旋导杆14的螺旋槽可以 是矩形和圆形，旋转螺旋导杆14可以是焊接件，旋转螺旋导杆14头部是个 球面；通过内六角圆柱头螺钉20与螺旋导杆14连接的顶座15;顶座15内设置有压盖19，所述压盖的锥面192与螺旋导杆14的锥面组 合成的锥面副在螺旋导杆14旋转时减小摩擦，压盖的圆柱面191起固定碟簧 44和定位作用，压盖的上面193起导向作用；压盖19上放入若干开槽碟簧44,所述的开槽碟簧44具有緩沖、和减振 功能，开槽碟簧在外力作用下碟簧片的高度减小和每个碟簧片沿着开槽方向 滑动，开槽碟簧44的面441和442具有定位功能； 通过内六角圆柱头螺钉17安装在顶座15上的压板16; 若干内六角圓柱头螺钉18放置到顶座15的螺孔中，将升降锁紧机构固 定在上支架4上；若干内六角圆柱头螺钉18放置到套管13的螺孔中，将升降锁紧机构固 定在底座1上；所述的内六角圆柱头螺钉18可以锁住升降锁紧机构，使推车不会松动；左旋螺旋块43放入套管13的水平孔中，左右旋螺松45旋入右旋螺旋块 42后，把左右旋螺栓45旋入已经放好的左旋螺旋块43中；所述的左右旋螺栓45的左端是左旋螺紋，右端是右旋螺紋；如图9~图11所示，左旋螺旋块43的431面是个柱面，它的螺距与螺 旋导杆14的螺距相等，左旋螺旋块43的螺紋432是左旋螺紋，左旋螺旋块 43的433的面是个螺旋面，左旋螺旋块43的433的截面可以是矩形或圓形；如图12~图14所示，右旋螺旋块42的421面是个柱面，它的螺距与螺 旋导杆14的螺距相等，右旋螺旋块42的螺紋422是右旋螺紋，右旋螺旋块 42的423的面是个螺旋面，右旋螺旋块42的423的截面可以是矩形或圆形；逆时针旋转左右旋螺栓45可以令左旋螺旋块43和右旋螺旋块42向外运 动，使得左旋螺旋块43和右旋螺旋块42与旋转螺旋导杆14的间隙增大，此 时把扳手插入升降锁紧机构的螺旋导杆14的一个孔中，旋转扳手使推车上下 移动；顺时针旋转左右旋螺栓45可以令左旋螺旋块43和右旋螺旋块42向里 运动，使得左旋螺旋块43和右旋螺旋块42与旋转螺旋导杆14的间隙减小， 此时可以锁住旋转螺旋导杆14,推车处于锁定状态；如图15、图16所示，开槽碟簧44的441面和442面是个平面，开槽碟 簧44的443槽是矩形，末端是圆形，矩形槽的中心延长线不经过圆心，开槽 碟簧44槽的数量大于两个；如图6~图8所示，所述的工件升降锁紧定位机构包括升P争机构和定位 机构；所述的升降机构包含 一 支架21;可旋入所述支架21中的提升螺栓22，该提升螺栓22可以使工件升降锁
紧定位机构做升降运动；六角薄螺母23旋入到已经安装好的支架的提升螺栓22中；通过若干内六角圆柱头螺钉25安装在支架21上的脚轮24，该脚轮24 可以使工件升降锁紧定位机构在水平面内旋转，并可以带动工件升降锁紧定 位机构沿着导轨5的导轨槽111, 081滑动；；还包含粘结在所述支架21上的侧橡胶板26和橡胶板31;以及通过全螺紋六角头螺栓28设置在支架21上的平垫圈27;所述的定位才几构包含定位座37， 39,该定位座的两侧各有一个通孔； 该定位座一侧通孔中"^殳置4i杆36;该定位座另一侧通孔中设置定位杆29,定位杆29上套装弹簧30，从而 连接定位座37， 39和支架21;所述的弹簧30可以使定位杆29受向下的推 力，定位杆29可以在支架21的孔中作上下运动；所述的拉杆36上设置梯形座35和弹簧34;所述的梯形座35设置在滑动导轨5上的梯形槽112, 082内，该梯形座 35可以在滑动导轨5上的梯形槽112， 082内滑动； 凸轮33通过销杆32 i殳置在拉杆36的孔中； 手柄38旋入凸轮33中；所述的凸轮33可以顺着销杆32旋转，凸轮33的旋转可以带动拉杆36 作上下运动，弹簧34可以使定位座37受向上的推力；定位销40旋入支架21孔中，定位销40固定梯形座35。 本发明提供的一种升降式推车的工作原理如下逆时针旋转左右旋螺栓45，令左旋螺旋块43和右旋螺旋块42向外运动， 使得左旋螺旋块43和右旋螺旋块42与旋转螺旋导杆14的间隙增大,把扳手 插入升降锁紧机构的螺旋导杆14的一个孔中，旋转扳手使推车上下移动，将 上支架4的表面调整到合适的高度和处于水平的状态，然后顺时针旋转左右 旋螺栓45可以令左旋螺旋块43和右旋螺旋块42向里运动，使得左旋螺旋块 43和右旋螺旋块42与旋转螺旋导杆14的间隙减小，锁住旋转螺旋导杆14， 推车处于锁定状态；
调整好后，锁住脚轮2，拧紧内六角圆柱头螺钉20; 松开I型六角头螺母10，使滑动导轨5滑动到合适的位置后锁紧I型六 角头螺母10;如图17所示，调节工件升降锁紧定位机构的提升螺栓22到合适的高度 后，顺时针旋转手柄38，手柄以销杆32为圓心转动，凸轮33是一个偏心凸 轮，凸轮面与定位座37的顶面距离增大，此时凸轮;f^开，弹簧34推动梯形 座35向下移动，梯形座35推动拉杆36向下移动，此时定位座37^Hf。向 上提拉定位杆29，当定位杆的底面高出定位座37的顶面时，此时以拉杆36 为轴心，逆时针旋转定位座37。用同样的方式旋转支架21上的另一个手柄 38、另一个定位座37和提拉另一个定位杆29，此时支架和定位座处于松动 状态，分别移动支架和定位座，脚轮就会沿着导轨的导轨槽内滑动，定位座 沿着导轨的梯形槽滑动，此刻工件会和支架一起移动；当移动到合适的位置 时，向上提拉定位杆29，当定位杆的底面高出定位座37的顶面时，此时以 拉杆36为轴心，顺时针旋转定位座37，当定位座37的凹槽与定位销41的 柱面相接触时，+>开定位杆29，使定位杆的底面进入定位座37的孔中，停 止旋转定位座37,逆时针旋转手柄38,手柄以销杆32为圓心转动，凸轮33 是一个偏心凸轮，凸轮面与定位座37的顶面距离减小，拉杆36推动梯形座 35向上移动，弹簧34处于收缩状态，此时定位座37固定，工件处于固定状 态。用同样的方式旋转支架21上的另一个手柄38、另一个定位座37和提拉 另一个定位杆29，此时支架和定位座处于固定状态，此时凸4仑压紧定位座。 把工件放到橡胶板31的面311上并与侧橡胶板26的面261接触后拧紧全螺 紋六角头螺栓28，此工件安装完毕；松开锁住脚轮2，到目标处后，按上面方法松开凸轮，旋转定位座，推 移工件，脚轮24就会沿着导轨5的导轨槽111, 081内滑动。整个工件的起 吊可以在支架4上安装起吊螺栓起吊。本发明提供的一种升降式推车，结构紧凑，体积小，重量轻，推车的升 降高度可以精确控制精确度达到lmm,推车升降方便。推车具有自锁功能， 在推车上搬运、移动、提升、调整及拆卸工件时推车很平稳，无振动。推车 可装载不同形状尺寸的工件，且工件的搬运、移动、提升、调整及拆卸安全、 方便极迅速。推车定位和装夹工件方便、迅速、可靠。推车具有减振功能, 可以很好的保护工件。
权利要求
1.一种升降式推车，其特征在于，包含底座机构和上支架机构，还包含连接所述底座机构和上支架机构的若干升降锁紧机构，以及设置在所述上支架机构上的若干工件升降锁紧定位机构；所述的工件升降锁紧定位机构包括升降机构和定位机构；所述的升降机构和定位机构之间是通过孔销连接。
2. 如权利要求1所述的升降式推车，其特征在于，所述的升降锁紧机构包括套管(13 );可旋入套管(13)中的螺旋导杆(14); 与螺旋导杆(14)连接的顶座(15 ); 顶座(15)内设置有压盖(19); 压盖(19)上设置若干开槽碟簧(44); 安装在顶座(15 )上的压板(16);设置在套管(13 )的水平孔中的左旋螺旋块(43 )和右旋螺旋块(42 ); 旋入左旋螺旋块(43)和右旋螺旋块(42)中的左右旋螺栓(45)。
3. 如权利要求2所述的升降式推车，其特征在于，所述的升降锁紧机构还包 括设置在顶座(15)的螺孔中的若干螺钉(18)，固定升降锁紧机构和 上支架(4);设置在套管(13 )的螺孔中的若干螺钉(18 )，固定升降锁紧机构和 底座(1 )。
4. 如权利要求2所述的升降式推车，其特征在于，所述的旋转螺旋导杆(14 ) 的螺旋槽是矩形或者圆形，旋转螺旋导杆(14)是焊接件，旋转螺旋导杆(14)头部是个球面。
5. 如权利要求2所述的升降式推车，其特征在于，所述的螺旋导杆(14)通 过螺钉(20 )连接顶座(15 );所述的压板(16)通过螺钉(17)安装在 顶座(15)上。
6. 如权利要求3或5所述的升降式推车，其特征在于，所述的螺钉(17、 18、 20)是内六角圓柱头螺钉。
7. 如权利要求2所述的升降式推车，其特征在于，所述的左右旋螺栓(45)的左端是左旋螺紋，右端是右旋螺紋； 所述的左旋螺旋块(43 )的螺纟i (432)是左旋螺紋，左旋螺旋块(43 ) 的螺距与螺旋导杆(14)的螺距相等，左旋螺旋块(43)具有柱面(431 ) 和螺旋面(433),所述螺旋面(433 )的截面是矩形或圆形；所述的右旋螺旋块(42 )的螺紋(422 )是右旋螺紋，右旋螺旋块(42 ) 的螺距与螺旋导杆(14)的螺距相等，右旋螺旋块(42)具有柱面(421 ) 和螺旋面(423)，所述螺旋面(423)的截面是矩形或圓形。
8. 如权利要求2所述的升降式推车，其特征在于，所述的开槽碟簧(44)的 槽(443)是矩形，末端是圆形，矩形槽的中心延长线不经过圓心，开槽 碟簧(44)槽的数量设置若干个。
9. 如权利要求1所述的升降式推车，其特征在于，所述的工件升降锁紧定位 才几构的升降4几构包含支架(21);可旋入所述支架(21)中的提升螺栓(22); 安装在支架(21)上的脚轮(24)。
10. 如权利要求9所述的升降式推车，其特征在于，所述的升降机构还包含旋入在已经安装好的支架的提升螺栓(22)中的螺母(23); 粘结在所述支架(21)上的侧橡胶板(26)和橡胶板(31); 通过螺栓(28)设置在支架(21)上的平垫圈(27)。
11. 如权利要求9所述的升降式推车，其特征在于，所述的脚轮(24)通过若 干螺钉(25)安装在支架(21)上。
12. 如权利要求9或IO或11所述的升降式推车，其特征在于，所述的螺母(23 ) 是六角薄螺母，所述的螺钉(25)是内六角圆柱头螺钉，所述的螺栓(28) 是全螺紋六角头螺栓。
13. 如权利要求1所述的升降式推车，其特征在于，所述的工件升降锁紧定位 机构的定位机构包含定位座(37, 39)，该定位座的两侧各有一个通孔； 该定位座一侧通孔中设置拉杆(36); 该定位座另一侧通孔中设置定位杆(29)，定位杆(29)上套装弹簧 (30),从而连接定位座(37， 39)和支架(21);所述的拉杆(36)上设置梯形座(35)和弹簧(34);所述的梯形座(35)设置在滑动导轨(5)上的梯形槽(112, 082) 内，该梯形座(35)可以在滑动导轨(5)上的梯形槽(112, 082)内滑 动；凸轮(33 )通过销杆(32 )设置在拉杆(36 )的孔中； 手柄(38)旋入凸轮(33)中； 定位销(40)旋入支架(21)孔中。
14. 如权利要求1所述的升降式推车，其特征在于，所述的底座机构包含若干 脚轮(2)，以及若干脚轮调整块(3);脚轮(2)通过若干螺钉(41)安 装在底座(1)上，脚轮调整块(3 )通过螺紋安装在底座(1)上。
15. 如权利要求14所述的升降式推车，其特征在于，所述的螺钉(41)是内 六角圆柱头螺钉。
16. 如权利要求1所述的升降式推车，其特征在于，所述的上支架机构包含两 条平行排列的导轨(6)，还包含若干滑动导轨(5);所述的导轨(6)固定在上支架(4)上；所述的滑动导轨(5)安装在所述导轨(6)上，可以在导轨(6)上滑动；所述的滑动导轨(5)上平行设置导轨槽(111, 081)和梯形槽(112， 082 )。
17. 如权利要求16所述的升降式推车，其特征在于，所述的导轨(6)通过若 干螺钉(7)固定在上支架(4)上；所述的滑动导轨(5)通过配套设置 的螺钉(9)和螺母(10)安装在所述导轨(6)上。
18. 如权利要求16所述的升降式推车，其特征在于，所述的导轨槽内设置有 緩沖垫(12)。
19. 如权利要求16所述的升降式推车，其特征在于，所述的螺钉(7)是六角 圆柱头螺钉，所述的螺钉(9)是梯形头螺钉，所述的螺母(10)是I型 六角头螺母。
全文摘要
一种升降式推车，其特征在于，包含底座机构和上支架机构，还包含连接所述底座机构和上支架机构的若干升降锁紧机构，以及设置在所述上支架机构上的若干工件升降锁紧定位机构。本发明提供的一种升降式推车，升降高度可调、牢固、载重量大，在工作时间不松动、不晃动、不振动，装卸工件方便，有自锁功能，推车上设置导轨以便于工件的运送，同时可以使工件按规定的方向做直线运动，推车还设置有定位装置，该推车可装载不同形状尺寸的工件。
文档编号B66F3/00GK101209806SQ200710172810
公开日2008年7月2日 申请日期2007年12月21日 优先权日2007年12月21日
发明者吴荣基, 朱岳彬, 慧 陈 申请人:上海微电子装备有限公司