专利名称：Ccd智能图像控径装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种控径系:统，特别涉及一种全自动的CCD智能图像控径装置。
背景技术：
传统的晶体控径系统采用红'外測径装置进行澜径，这样只能依靠人工手动去操作引颈，从而使得， 动强度加大并且引出的晶体形状也不稳定偏差比较大。采用红外测径装置在放肩、等径、收尾的过程中由于采集的数据精度不是很高从i而影响晶棒的质量。发明内容
为了克服上述现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种
CCD智能图像控径系统，其具有髮i作方便、高控制精度的特点。为了达到上述目的，本实用i折型采用的技术方案是CCD智能图
像控径装置，包括拉晶过程控制，薛8，拉晶过程控制器8的输出端分别与埚转控制单元7的输入端、CCD直径測量单元2的输入端、埚升控制单元5的输入端、晶转控制4i元6的输入端相连，埚转控制单元7的输出端与埚转电机10的输入.端相连，埚升控制单元5的输出端与埚升电机12的输入端相连，晶,转控制单元6的输出端与晶转电机13的输入端相连，CCD直径测量4阵元2的输出端与直径信号处理器9的输入端相连，直径信号处理器9的输出端与直径控制器1的输入端相连，直径控制器1的输出端和晶升控制单元4的输入端相连，晶升控制单元4的的输出端与晶升电机11的输入端相连，晶升电机11的输入端与温校控制器3的输出端利目连，温校控制器3的输出端与功率柜14的输入端相连。
由于本实用新型设置有CCD直径測量单元2，可以直接測量晶体的直径，使得检测的数据更加精确，从而使得自动化程度大幅度提高。
附图是本实用新型的结构原理l图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的结构原理和工作原理做详细叙述。参照附图，CCD智能图像控径装置，包括拉晶过程控制器8，拉晶过程控制器8的输出端分别与埚l转控制单元7的输入端、CCD直径测量单元2的输入端、埚升控制单元5的输入端、晶转控制单元6的输入端相连，埚转控制单元7的输出端与埚转电机10的输入端相连，埚升控制单元5的输出端与埚升电机12的输入端相连，晶转控制单元6的输出端与晶转电机13的输入端相连，CCD直径測量单元2的输出端与直径信号处理器9的输入.端相连，直径信号处理器9的输出端与直径控制器1的输入端相连，〕直径控制器1的输出端和晶升控制单元4的输入端相连，晶升控制单.元4的输出端与晶升电机11的输入端相连，晶升电机11的输入端与温校控制器3的输出端相连，温校控制器3的输出端与功率柜14的输入端相连。
本实用新型的工作原理为CC1D直径测量单元2测量到晶体直径后把测量的信号送给直径信号处理器9，对直径信号进行放大抗干扰处理，再送给直径控制器l中，当晶体直径变化时，直径控制器l会
发信号给晶升控制单元4从而自动调节晶升速度。在拉晶的过程中，通过拉晶过程控《制8对晶体的拉晶过程进行控制，其中包括引颈、放肩、转肩、等径、，收尾的控制。在这些控制的过程中，通过埚转控制系统7、晶升控脂J系统4、埚升控制系统5、晶转控制系统6控制埚转电机10、晶升电机ll、埚升电机12、晶转电机13来实现拉晶的过程控制。
权利要求1、CCD智能图像控径装置，其特征在于，包括拉晶过程控制器(8)，拉晶过程控制器(8)的输出端分别与埚转控制单元(7)的输入端、CCD直径测量单元(2)的输入端、埚升控制单元(5)的输入端、晶转控制单元(6)的输入端相连，埚转控制单元(7)的输出端与埚转电机(10)的输入端相连，埚升控制单元(5)的输出端与埚升电机(12)的输入端相连，晶转控制单元(6)的输出端与晶转电机(13)的输入端相连，CCD直径测量单元(2)的输出端与直径信号处理器(9)的输入端相连，直径信号处理器(9)的输出端与直径控制器(1)的输入端相连，直径控制器(1)的输出端和晶升控制单元(4)的输入端相连，晶升控制单元(4)的的输出端与晶升电机(11)的输入端相连，晶升电机(11)的输入端与温校控制器(3)的输出端相连，温校控制器(3)的输出端与功率柜(14)的输入端相连。
专利摘要CCD智能图像控径装置，包括拉晶过程控制器8，拉晶过程控制器8分别与埚转控制单元7、CCD直径测量单元2、埚升控制单元5、晶转控制单元6相连，埚转控制单元与埚转电机10相连，埚升控制单元5与埚升电机12相连，晶转控制单元6与晶转电机13相连，CCD直径测量单元2与直径信号处理器9相连，直径信号处理器9与直径控制器1相连，直径控制器1和晶升控制单元4相连，晶升控制单元4与晶升电机11相连，晶升电机11与温校控制器3相连，温校控制器3与功率柜14相连，在拉晶的过程中，通过拉晶过程控制8对晶体的拉晶过程进行控制，使得自动化程度大幅度提高。
文档编号C30B15/26GK201390802SQ20092003297
公开日2010年1月27日 申请日期2009年5月6日 优先权日2009年5月6日
发明者丁积军, 阳 李 申请人:西安恒新自动控制有限公司