专利名称：防腐蚀单晶炉翻板箱的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及单晶硅炼制领域，特别是一种防腐蚀单晶炉翻板箱。
背景技术：
单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，用 于制造半导体器件、太阳能电池等。单晶硅是用高纯度的多晶硅在单晶炉内 拉制而成。硅片直径越大，技术要求越高，越有市场前景，价值也就越高。 因此，对单晶硅拉制装置及拉制工艺的改进将对半导体工业产生深远的影 响。现有的单晶硅拉制装置为单晶炉，它是由炉底、下炉室、上炉室、炉盖、 翻板箱、副室六大部分组成。现有的翻板箱是用不锈钢材料制成的，其内壁 和外壁之间有水夹层，在拉制单晶硅的过程中，在水夹层充入水以降低内壁 的温度。但是，水中含有许多的矿物质，水在加热后容易在水夹层内形成水 垢，对翻板箱造成腐蚀，縮短其使用寿命。 发明目的
本实用新型主要是针对上面提到的翻板箱的水夹层在拉制单晶硅过程 中容易受到腐蚀的问题，提供一种抗腐蚀性能好的翻板箱。 实现本实用新型的技术方案如下
防腐蚀单晶炉翻板箱，其包括箱体内层、箱体外层、用来与副工作室连接 的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，在箱体外层设置 有真空口，其特征在于在箱体内层和箱体外层之间设置有水夹层，在箱体外 层设置有进水孔座和出水孔座，在所述的箱体外层靠近进水孔座的位置设置有 用来插入镁棒的镁棒接口，在镁棒接口中插有镁棒。因为现有的单晶炉翻板箱是用不锈钢材料制成的，在拉制单晶硅的过程中，
在单晶拉制过程中，水通过进水孔座13进入水夹层7，水从出水孔座4流出，
对翻板箱进行冷却，降低其温度，因为现有的单晶炉翻板箱是用不锈钢材料制 成的，在水中含有很多的矿物质，这些矿物质会对水夹层造成一定的腐蚀，
而镁是比铁更活跃的金属，在水夹层5内插入镁棒12后，镁将代替翻板箱 的铁与水中的矿物质发生化学反应，对翻板箱水夹层起到保护作用，延长翻 板箱的寿命。
图1为本实用新型的剖面图中1为上接口， 2为翻板阀门，3为摇臂装置，4为出水孔座，5为 箱体内层，6为箱体外层，7为水夹层，8为翻板，9为翻板轴，10为真空 口， 11为镁棒接口， 12为镁棒，13为进水孔座，14为下接口。
具体实施方式
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一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其包括箱体内层5、箱体外层6、用来与副工作 室连接的上接口 1、用来与主工作室的炉盖连接的下接口 14和翻板阀门2，在 箱体外6的侧面设置有真空口 10，在箱体内层5和箱体外层6之间设置有水夹 层7，在箱体外层6的侧面设置有进水孔座13，在箱体外层的上端面设置有出 水孔座4，在所述的箱体外层6的侧面靠近进水孔座13的位置设置有用来插入 镁棒的镁棒接口ll，在镁棒接口中插有镁棒12。
所述的翻板阀门2包括设置于箱体内部的翻板8、设罩在箱体外的摇臂装 置3、连接翻板8和摇臂装置3的可以转动的翻板轴9。翻板阀门2用来控制 主工作室与副工作室之间的打开与关闭。进水孔座13设置于箱体外层6靠近下接口14的位置，出水孔座4设置于箱体外层6靠近上接口 1的位置，镁棒接口 11与箱体外层6之间为液密封配合。单晶拉制主要是在主工作室进行，当拉制 过程出现问题时，将晶体提升至副工作室，关闭翻板阀门2，打开副工作室取出 晶体，重新安装籽晶。将副工作室复位后，开始对副工作室抽真空，待副工作 室与主工作室真空平衡后，打开翻板阀门2，籽晶放入主工作室，继续拉晶，直 至完成。
在单晶拉制过程中，水通过进水孔座13进入水夹层7，水从出水孔座4流 出，对翻板箱进行冷却，降低其温度，因为现有的单晶炉翻板箱是用不锈钢材 料制成的，在水中含有很多的矿物质，这些矿物质会对水夹层造成一定的腐 蚀，而镁是比铁更活跃的金属，在水夹层5内插入镁棒12后，镁将代替翻 板箱的铁与水中的矿物质发生化学反应，对翻板箱水夹层起到保护作用，延 长翻板箱的寿命。
权利要求1、一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其包括箱体内层、箱体外层、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，在箱体外层设置有真空口，其特征在于在箱体内层和箱体外层之间设置有水夹层，在箱体外层设置有进水孔座和出水孔座，在所述的箱体外层靠近进水孔座的位置设置有用来插入镁棒的镁棒接口，在镁棒接口中插有镁棒。
2、 根据权利要求1所述的一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其特征在于所述 的翻板阀门包括设置于箱体内部的翻板、设置在箱体外的摇臂装置、连接翻 板和摇臂装置的可以转动的翻板轴。
3、 根据权利要求1所述的一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其特征在于所述 的进水孔座设置于炉体外层靠近下接口的位置。
4、 根据权利要求1所述的一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其特征在于所述 的出水孔座设置于箱体外层靠近上接口的位置。
5、 根据权利要求1所述的一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其特征在于所述 的镁棒接口设置于箱体外层靠近下接口的位置。
6.、 根据权利要求1所述的一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其特征在于所述 的镁棒接口与箱体外层之间为液密封配合。
专利摘要本实用新型公开了一种防腐蚀单晶炉翻板箱，其包括箱体内层、箱体外层、用来与副工作室连接的上接口、用来与主工作室的炉盖连接的下接口和翻板阀门，在箱体外层设置有真空口，在箱体内层和箱体外层之间设置有水夹层，在箱体外层设置有进水孔座和出水孔座，在所述的箱体外层靠近进水孔座的位置设置有用来插入镁棒的镁棒接口，在镁棒接口中插有镁棒。本实用新型的单晶炉翻板箱具有使用寿命长的优点。
文档编号C30B35/00GK201395645SQ20092003969
公开日2010年2月3日 申请日期2009年4月20日 优先权日2009年4月20日
发明者潘国强, 潘燕萍 申请人:潘燕萍;潘国强