专利名称：用于泡生法晶体生长设备的电源的制作方法
技术领域：
本发明涉及到电源，尤其涉及到用于泡生法晶体生长设备的电源。
背景技术：
目前，用于泡生法晶体生长设备的电源在受到电网外部因素、蓝宝石单晶生长过程中的内部因素的干扰以及控制计算系统电压整定值的影响，输出电压不稳定，从而影响到蓝宝石单晶生长的质量。因为蓝宝石单晶的生长质量直接取决于加热器电压的稳定性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种可以获得稳定的输出电压的用于泡生法晶体生长设备的电源。为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案为用于泡生法晶体生长设备的电源，包括输出控制单元、输入电路、输出电路、串设在输入电路与输出电路之间的输出调整电路、数据处理单元、比例积分控制单元和控制校正单元，输入电路和输出电路分别与输出调整单元相连，所述输出调整电路的输出端与输出控制单元的控制端相连，输出控制单元还与数据处理单元相连，数据处理单元还与控制校正单元相连，控制校正单元与比例积分控制单元，比例积分控制单元与输出控制单元相连。所述的比例积分控制单元包括至少两个比例积分电路。所述的输出电路与输出调整单元之间设置有输出变压器。所述的输入电路上设置有输入电流感应单元，所述的输出电路上设置有输出电流感应单元，输入电流感应电路和输出电流感应电路分别与数据处理单元相连。本发明的有益效果是本发明将设定的输出电压、电流和功率通过控制校正单元和比例积分控制单元送入输出控制单元，将所述的电源，将输入电路和输出电路的采样电流和电压送入输出控制单元，然后，由输出控制单元控制输出调整单元，及时地调整输出电路的输出电压，使得输出电压稳定输出，保证了蓝宝石单晶生长的质量。
图1是本发明的电原理结构示意图。图中1、电源自动化单元，2、输入电压指示单元，3、临视输入电压单元，4、临视输入电流单元，5、输出控制单元，6、工作站，7、存储单元，8、控制校正单元，9、比例积分微分单元，10、输出调整电路，11、输入电流感应单元，12、输出电流感应电路，13、设置单元，14、输出变压器，15、负载。
具体实施例方式下面结合附图，详细描述本发明的具体实施方案。如图1所示，本发明所述的用于泡生法晶体生长设备的电源，包括输出控制单元5、输入电路、输出电路、串设在输入电路与输出电路之间的输出调整电路10、作为数据处理单元的工作站6、比例积分控制单元9以及控制校正单元8，输入电路和输出电路分别与输出调整单元5相连，所述输出调整电路5的输出端与输出控制单元10的控制端相连，输出控制单元5还与工作站6相连，工作站6通过设定单元13和存储单元7与控制校正单元8 相连，控制校正单元8与比例积分控制单元9相连，比例积分控制单元9与输出控制单元5 相连；在本实施例中，所述的比例积分控制单元9包括两级比例积分电路，所述的输出电路与输出调整单元10之间设置有输出变压器14 ；输入电路上设置有输入电流感应单元11， 输出电路上设置有输出电流感应单元12，输入电流感应电路11和输出电流感应电路12通过监视输入电流单元4与工作站6相连；所述的输入电路通过临视输入电压3与输出控制单元5相连，同时，输出控制单元5将输入电路的电压送入输入电压指示单元2显示；所述的输入电路通过电源自动化单元1与三相交流输入电源相连，所述的输出电路与负载15相连；所述的负载15为加热器。 本发明的工作原理为工作站6根据工艺流程确定作为负载15的加热器的电压整定值，并以数字形式输出，此后，电压整定值将被转换成模拟信号并被反馈到作为外部控制回路的第一路比例积分微分电路，由于单晶生长过程中系统的电热参数都会发生变化，第一路比例积分微分电路可避免控制信号受内部因素的干扰，保证信号稳定性，然后，信号从第一路比例积分微分电路进入到作为内部控制回路的第二路比例积分微分，第二路比例积分微分可保证输出电压的稳定性，避免其受电网外部干扰。
权利要求
1.用于泡生法晶体生长设备的电源，包括输出控制单元、输入电路和输出电路以及串设在输入电路与输出电路之间的输出调整电路，其特征在于该电源还包括有数据处理单元、比例积分控制单元和控制校正单元，所述的输入电路和输出电路分别与输出调整单元相连，所述输出调整电路的输出端与输出控制单元的控制端相连，输出控制单元还与数据处理单元相连，数据处理单元还与控制校正单元相连，控制校正单元与比例积分控制单元，比例积分控制单元与输出控制单元相连。
2.如权利要求1所述的电源，其特征在于所述的比例积分控制单元包括至少两个比例积分电路。
3.如权利要求1所述的电源，其特征在于所述的输出电路与输出调整单元之间设置有输出变压器。
4.如权利要求1、2或3所述的电源，其特征在于所述的输入电路上设置有输入电流感应单元，所述的输出电路上设置有输出电流感应单元，输入电流感应电路和输出电流感应电路分别与数据处理单元相连。
全文摘要
本发明公开了一种可以获得稳定的输出电压的用于泡生法晶体生长设备的电源，包括输出控制单元、输入电路、输出电路、串设在输入电路与输出电路之间的输出调整电路、数据处理单元、比例积分控制单元和控制校正单元，输入电路和输出电路分别与输出调整单元相连，所述输出调整电路的输出端与输出控制单元的控制端相连，输出控制单元还与数据处理单元相连，数据处理单元还与控制校正单元相连，控制校正单元与比例积分控制单元，比例积分控制单元与输出控制单元相连。本发明的输出电压非常稳定，大大提高了蓝宝石单晶生长的质量。
文档编号C30B29/20GK102520749SQ20111041732
公开日2012年6月27日 申请日期2011年12月14日 优先权日2011年12月14日
发明者伊戈尔库兹涅佐夫, 伊戈尔柯尔克, 刘春艳, 毕成, 胡春霞 申请人:苏州优晶光电科技有限公司