单晶硅晶棒的取棒装置的制作方法

文档序号:8053608阅读:1045来源:国知局
专利名称:单晶硅晶棒的取棒装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种单晶硅晶棒的取棒装置,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。
背景技术
单晶硅是具有完整的点阵结构的晶体,是一种良好的半导体材料,目前被广泛用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅被拉拔成晶棒后,需要将其从单晶炉中取出。目前将单晶硅晶棒取出的方法是由操作人员带上手套,用钳子将晶棒夹出。然而这样的操作方式存在一定危险性,操作人员一旦不慎便会被高温的晶棒烫伤,并且单晶硅晶棒在被取出的过程中容易碰到单晶炉,导致单晶硅晶棒的质量受到影响。

发明内容
本发明的目的在于克服上述不足,提供一种完全可靠,能保证单晶硅质量不受影响的单晶硅晶棒的取棒装置。本发明的目的是这样实现的:
本发明单晶硅晶棒的取棒装置,包括机架和升降杆,所述机架上固定有上下两块夹持板,所述升降杆穿过两块夹持板上的通孔,所述升降杆底部连有油缸,升降杆的中部固定有钳子。这种单晶硅晶棒的取棒装置具有以下优点:
这种单晶硅晶棒的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后,用钳子夹住单晶硅晶棒的上部,松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的完全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量。


图1为本发明单晶硅晶棒的取棒装置的结构示意图。图中:机架1、夹持板2、升降杆3、油缸4、钳子5。
具体实施例方式参见图1,本发明涉及的一种单晶硅晶棒的取棒装置,包括机架I和升降杆3,所述机架I上固定有上下两块夹持板2,所述升降杆3穿过两块夹持板2上的通孔,所述升降杆3底部连有油缸4,升降杆3的上部固定有钳子5。当需要夹起单晶硅晶棒时,将机架I放置于单晶炉旁的地面上,用钳子5夹住单晶硅晶棒的上部,松开两块夹持板2,并用油缸4推动升降杆3上升,从而取出单晶硅晶棒。这样便能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的完全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量。
权利要求
1.一种单晶硅晶棒的取棒装置,其特征在于:它包括机架(I)和升降杆(3),所述机架(I)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的中部固定有钳子(5)。
全文摘要
本发明涉及一种单晶硅晶棒的取棒装置,属于单晶硅的生产制造设备技术领域,其特征在于它包括机架(1)和升降杆(3),所述机架(1)上固定有上下两块夹持板(2),所述升降杆(3)穿过两块夹持板(2)上的通孔,所述升降杆(3)底部连有油缸(4),升降杆(3)的中部固定有钳子(5)。这种单晶硅晶棒的取棒装置将机架放置于单晶炉旁的地面上后,用钳子夹住单晶硅晶棒的上部,松开两块夹持板,并用油缸推动升降杆上升,从而取出单晶硅晶棒。能方便地将单晶硅晶棒取出,并且可以保证操作人员的完全,同时取出晶棒时不会抖动,使得单晶硅晶棒在被取出的过程中不会碰到单晶炉,从而保证了单晶硅晶棒的质量。
文档编号C30B29/06GK103184506SQ20111045527
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者汤仁兴 申请人:汤仁兴
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