专利名称：兆声波换能器的连接盖的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体工艺技术领域，特别涉及一种兆声波换能器的连接盖。
背景技术：
半导体清洗工艺面对集成电路线宽越变越小，影响硅片不良率的粒子越来越小，而颗粒越小越难清洗的挑战时，兆声波清洗越来越受到人们的重视，兆声波清洗的机理是由高能频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。在清洗时，由换能器发出波长为Iym频率为O. 8兆赫的高能声波，溶液分子在这种声波的推动下作加速运动，最大瞬时速度可达到30cm/s。因此，形成不了超声波清洗那样的气泡，而只能以高速的流体波连续冲击晶片表面，使硅片表面附着的污染物的细小微粒被强制除去并进入到清洗液中。但是在产生高能声波的同时由于往复和高频振动不可避免的会释放出一些热量，当热量长时间堆积并且得不到释放将严重影响换能器产生高能波的能力和相应元件的使用时间后
寿命，所以为了更好的保证兆声波清洗的效果和换能器的使用寿命，与其相配套的冷却是非常有必要的。
发明内容
(一)要解决的技术问题本发明要解决的技术问题是，针对现有技术的不足，提供一种兆声波换能器的连接盖，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累。(二)技术方案本发明提供一种兆声波换能器的连接盖，包括连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。其中，兆声波换能器的连接盖还包括位于连接盖本体与兆声波换能器接触端面上的连接螺纹孔以及连接盖本体顶端开设的电缆固定孔。其中，所述连接盖本体材料为非金属材料，其外形为任意一个几何形状。其中，所述连接盖本体外形为圆柱形、长方柱形或三角柱形。其中，所述连接盖本体材料为聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基树脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮树脂。其中，所述设置在所述连接盖本体上的冷却气进气通道一端的进气口和冷却气出气通道一端的出气口不在同一水平线上。其中，所述凹槽为任意一个几何形状。其中，所述凹槽为半圆形、长方形或正方形。
(三)有益效果本发明提供的兆声波换能器的连接盖，在实现连接功能的前提下，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累，并且保证了相对独立的环境，提高了压电晶体的连续工作时间和使用寿命。
图I为本发明兆声波换能器的连接盖内部结构示意图；图2为本发明兆声波换能器的连接盖外部结构示意图；图3a_图3b为本发明兆声波换能器的连接盖工作原理图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式
作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。如图I所示，本发明提供的兆声波换能器的连接盖，包括连接盖本体I、环形内腔4、凹槽5、冷却气进口 6和冷却气出口 7，所述环形内腔4外侧壁与连接盖本体I内侧壁连接，所述凹槽5至少为一个，其均匀设置在环形内腔4内侧壁上，所述凹槽5为任意一个几何形状，如半圆形、长方形或正方形；所述冷却气进气通道一端的进气口 6设置于连接盖本体I上，另一端气口设置于环形内腔4内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口 7设置于连接盖本体I上，另一端气口设置于环形内腔4外侧壁上。兆声波换能器的连接盖还包括位于连接盖本体I与兆声波换能器12接触端面上的连接螺纹孔3以及连接盖本体I顶端开设的电缆固定孔2 ;所述连接盖本体I通过所述连接螺纹孔3与兆声波换能器12连接固定，所述电缆固定孔2用来固定连接压电晶体9和功率放大器的同轴电缆接头8的，通过电缆接头8上的密封圈安装后形成密封环境。所述连接盖本体I材料为非金属材料，具体地，所述连接盖本体I材料为聚四氟乙烯(PTFE)或其他防腐蚀性好，且机械加工性能和强度高的非金属材料，其外形为任意一个几何形状，如圆柱形、长方柱形或三角柱形。如图2所示，所述设置在所述连接盖本体I上的冷却气进气通道一端的进气口 6和冷却气出气通道一端的出气口 7不在同一水平线上。另外所述冷却气进气通道比所述冷却气出气通道长度略长。如图3a-图3b所示，工作时，当压电晶体9工作时会产生高频的振动，产生热量，通过冷却气进气通道一端的进气口 6通入冷却气体，并且冷却气体直接连通到清洗压电晶体(PZT)腔内，冷却气体经过工艺腔室后由凹槽5均匀流到环形内腔4内，然后经由与环形内腔4连接的冷却气出气通道一端的出气口 7及接头10排除，经过冷却气体这样反复的循环流动，将PZT振动产生的热量带走，从而实现冷却的目的。在压电晶体载体下面设置有密封圈10，以实现密封的作用，将兆声波换能器12腔内的液体与上层气体区隔离开来。起到了密封和冷却的作用。以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
权利要求
1.一种兆声波换能器的连接盖，其特征在于，包括连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。
2.如权利要求I所述的连接盖，其特征在于，兆声波换能器的连接盖还包括位于连接盖本体与兆声波换能器接触端面上的连接螺纹孔以及连接盖本体顶端开设的电缆固定孔。
3.如权利要求I所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体材料为非金属材料，其外形为任意一个几何形状。
4.如权利要求3所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体外形为圆柱形、长方柱形或三角柱形。
5.如权利要求3所述的连接盖，其特征在于，所述连接盖本体材料为聚四氟乙烯、聚四氟乙烯烷氧基树脂、聚偏氟乙烯或聚醚醚酮树脂。
6.如权利要求I所述的连接盖，其特征在于，所述设置在所述连接盖本体上的冷却气进气通道一端的进气口和冷却气出气通道一端的出气口不在同一水平线上。
7.如权利要求I所述的连接盖，其特征在于，所述凹槽为任意一个几何形状。
8.如权利要求7所述的连接盖，其特征在于，所述凹槽为半圆形、长方形或正方形。
全文摘要
本发明公开了一种兆声波换能器的连接盖，包括连接盖本体、环形内腔、凹槽、冷却气进气通道和冷却气出气通道，所述环形内腔外侧壁与连接盖本体内侧壁连接，所述凹槽至少为一个，其均匀设置在环形内腔内侧壁上，所述冷却气进气通道一端的进气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔内侧壁上，所述冷却气出气通道一端的出气口设置于连接盖本体上，另一端气口设置于环形内腔外侧壁上。本发明提供的兆声波换能器的连接盖，在实现连接功能的前提下，具有能够冷却压电晶体以及将气液隔离的密封结构，使压电晶体频繁振动产生的热量迅速散掉不积累，并且保证了相对独立的环境，提高了压电晶体的连续工作时间和使用寿命。
文档编号B06B1/06GK102873020SQ20121038857
公开日2013年1月16日 申请日期2012年10月12日 优先权日2012年10月12日
发明者初国超, 吴仪, 王锐廷 申请人:北京七星华创电子股份有限公司