蓝宝石炉水冷观察窗的制作方法

文档序号:8077073阅读:217来源:国知局
蓝宝石炉水冷观察窗的制作方法
【专利摘要】本发明蓝宝石炉水冷观察窗,包括:水冷套,水冷套包括圆形的侧壁以及设置在侧壁内侧的环形的下沉式安装台;在安装台的上安装面及下安装面上设有凹槽,在侧壁上设有安装孔;玻璃,玻璃设置在上安装面及下安装面上;安装盘及压盖,安装盘及压盖通过安装孔固定在侧壁上。水冷套为夹层结构,其内部设有内腔,在水冷套上设有进水口及出水口。在玻璃与上安装面及下安装面之间、玻璃与安装盘及压盖之间设有O形密封圈。玻璃为石英玻璃。本发明蓝宝石炉水冷观察窗中的水流流动不会出现紊流,这样不会影响作为观察窗的视觉效果,作为水冷夹层的结构,又能将高温隔离,不会干扰观察。
【专利说明】蓝宝石炉水冷观察窗
【技术领域】
[0001]本发明涉及蓝宝石晶体炉领域,是一种导模法蓝宝石单晶生长炉上,用于工艺观察时隔热的装置。
【背景技术】
[0002]蓝宝石单晶生长炉行业,目前泡生法的晶体炉观察窗比较小,热量辐射在一定的可接受范围内,因此对隔热要求不是必须的;热交换法晶体炉由于实现自动化,对视觉观察更不需要;导模法晶体炉是根据炉型不同,使用情况不一,单片和多片导模法需要的视觉观察是不一样的,目前我们设计的导模法晶体炉是多片装置,窗口视觉范围要求比较大,整个视窗接收到的辐射热量也比较大。

【发明内容】

[0003]本发明的目的是在于提供一种能起到隔热效果的蓝宝石炉水冷观察窗。
[0004]为解决上述技术问题,本发明蓝宝石炉水冷观察窗,包括:水冷套,所述水冷套包括圆形的侧壁以及设置在所述侧壁内侧的环形的下沉式安装台;在所述安装台的上安装面及下安装面上设有凹槽,在所述侧壁上设有安装孔;玻璃,所述玻璃设置在所述上安装面及所述下安装面上;安装盘及压盖,所述安装盘及所述压盖通过所述安装孔固定在所述侧壁上。
[0005]所述水冷套为夹层结构,其内部设有内腔,在所述水冷套上设有进水口及出水口。
[0006]在所述玻璃与所述上安装面及所述下安装面之间、所述玻璃与所述安装盘及所述压盖之间设有O形密封圈。
[0007]所述玻璃为石英玻璃。
[0008]本发明蓝宝石炉水冷观察窗中的水流流动不会出现紊流,这样不会影响作为观察窗的视觉效果,作为水冷夹层的结构,又能将高温隔离,不会干扰观察。
【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1为本发明蓝宝石炉水冷观察窗剖视图;
[0010]图2为本发明蓝宝石炉水冷观察窗爆炸图。
[0011]本发明蓝宝石炉水冷观察窗附图中附图标记说明:
[0012]1-安装盘2-水冷套3-压盖
[0013]4-石英玻璃5-0形密封圈 6-安装孔
[0014]7-下沉式安装台 8-凹槽
【具体实施方式】
[0015]下面结合附图对本发明蓝宝石炉水冷观察窗作进一步详细说明。
[0016]如图1所示,本发明蓝宝石炉水冷观察窗,水冷套2是夹层结构,同时又与两侧石英玻璃4形成一个内腔室,两侧石英玻璃4分别由安装盘I和压盖3经由安装孔6固定住,石英玻璃4与水冷套2之间用O形密封圈5密封,O形密封圈5是嵌在下沉式安装台7上的凹槽8内,安装盘1与石英玻璃4之间有O形密封圈5缓冲,压盖3与石英玻璃4之间也有O形密封圈5缓冲。水冷套充水后,充满两个腔室,水冷套2夹层腔室是主流通道,水冷套2与石英玻璃4构成的腔室是辅通道,这个腔室孔的特殊设置,水流流动不会出现紊流,这样不会影响作为观察窗的视觉效果,作为水冷夹层的结构,又能将高温隔离,不会干扰观察。
[0017]以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明,但本发明创造并不限于实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
【权利要求】
1.蓝宝石炉水冷观察窗,其特征在于,包括: 水冷套,所述水冷套包括圆形的侧壁以及设置在所述侧壁内侧的环形的下沉式安装台; 在所述安装台 的上安装面及下安装面上设有凹槽,在所述侧壁上设有安装孔; 玻璃,所述玻璃设置在所述上安装面及所述下安装面上; 安装盘及压盖,所述安装盘及所述压盖通过所述安装孔固定在所述侧壁上。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石炉水冷观察窗,其特征在于,所述水冷套为夹层结构,其内部设有内腔,在所述水冷套上设有进水口及出水口。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石炉水冷观察窗,其特征在于,在所述玻璃与所述上安装面及所述下安装面之间、所述玻璃与所述安装盘及所述压盖之间设有O形密封圈。
4.根据权利要求1或3所述的蓝宝石炉水冷观察窗,其特征在于,所述玻璃为石英玻3? ο
【文档编号】C30B15/00GK103741225SQ201310751724
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年12月31日 优先权日:2013年12月31日
【发明者】陈有生 申请人:上海朗兆机电设备有限公司
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