专利名称:复合靶体的制作方法
本实用新型涉及靶体，尤其涉及复合靶体。
在使用磁控溅射和其它一些溅射方法制备高质量氧化物高能陶瓷薄膜的时候，首先需要制备出具有一定强度的氧化物功能陶瓷靶体。对大多数氧化物功能陶瓷靶体来说，制备工艺较复杂，它需要经过配料-初次球磨-预烧-粉碎(二次球磨)-造粒-成形-烧结。同时为了具有一定强度，靶体必须具有相当厚度(3～10mm)，故需很大投料，这对使用一些价格昂贵的材料来制备靶体带来费用上的问题。其次，一个靶体做成后，通常用它制备薄膜几百次后，其消耗量也只有20％左右。如果此时想对靶体材料作改进，而废弃靶体剩余部分，就会造成很大浪费。此外，大多数陶瓷靶体需要在高于1000℃的温度下烧结，在这样高的温度下，容易产生化学物质挥发的问题，使靶材不易保持预定的化学计量比。因此在实际工作中需摸索多次，才能制备出较为理想的靶体。
本实用新型的目的是提供一种制作简单，用料节省的复合靶体。
为了达到上述目的本实用新型采取下列措施复合靶体具有靶芯，在靶芯表面涂附有靶材。
本实用新型的优点是成份高度均匀(用化学溶液配料)制作方法简单、用料节省(投料量仅为制备普通靶体10％左右)、靶材易于更换(比如需要改变厚膜成份或其它参数，可去除载体上的厚膜，重新在载体上成膜)。此外，制备复合靶体不需模具，也不用在高温下烧结，避免了由于高温烧结带来的问题(如组分挥发问题等)。
下面结合
附图和实施例加以说明。
附图为复合靶体示意图。
复合靶体具有靶芯1，在靶芯表面涂附有靶材2。靶材为氧化物功能陶瓷材料，如铁电材料或氧化物高温超导材料或氧化物磁光材料。靶芯材料为耐高温刚性材料，如石英玻璃或陶瓷或金属或合金材料。靶材厚度为0．1～1mm。
实施例制作化学组分为Bi2DyFe5O12的复合靶体1)取一直径90毫米，厚度1毫米的铁片作为靶芯；2)按以下步骤配制溶胶称取11．65克Bi2O3和4．66克Dy2O3溶于40毫升6摩尔／升的HNO3溶液中，生成Bi2(NO3)3和Dy(NO3)3的混合溶液。然后加入125毫升1摩尔／升的Fe(NO3)3溶液，充分搅拌，形成Bi3+，Dy3+，Fe3+的硝酸盐混合溶液。再将90毫升浓度为20％的聚乙二醇(PEG)水溶液倒入上述硝酸盐混合溶液中，充分搅拌，最后形成溶胶。把配制好的溶胶倒入扁形容器；3)用一小铁夹将铁片与提拉支架上的拉绳联接，然后放长绳子让铁片没入扁形容器的溶胶中。开动调速电机，以2cm／min的速度提升铁片，直到提出液面。此时，铁片表面就附着了一层溶胶膜。将附着了溶胶膜的铁片放在红外灯下烘烤5分钟使其干燥，再没入扁形容器的溶胶中，重复上述过程50次。最后在铁片上形成一层厚度为10μm的厚膜；4)将铁片置于马弗炉中，缓慢升温至上600℃，保温2小时，然后随炉冷却至室温取出。
权利要求
1．一种复合靶体，其特征在于它具有靶芯[1]，在靶芯表面涂附有靶材[2]。
2．根据权利要求
1所述的一种复合靶体，其特征在于所说的靶材为氧化物功能陶瓷材料，
3．根据权利要求
1或2所述的一种复合靶体，其特征在于所说的氧化物功能陶瓷材料为铁电材料或氧化物高温超导材料或氧化物磁光材料。
4．根据权利要求
1所述的一种复合靶体，其特征在于所说的靶材为耐高温刚性材料，
5．根据权利要求
1或4所述的一种复合靶体，其特征在于所说的耐高温刚性材料为石英玻璃或陶瓷或金属或合金材料。
6．根据权利要求
1所述的一种复合靶体，其特征在于所说的靶材厚度为0．1～1mm。
专利摘要
复合靶体,它具有靶芯,在靶芯表面涂覆有靶材。靶芯采用耐高温刚性材料,如石英玻璃、陶瓷、金属及合金材料。靶材采用氧化物功能陶瓷材料,如铁电材料、氧化物高温超导材料、氧化物巨磁阻材料及氧化物磁光材料。本实用新型的优点是制作方法简单,用料节省,靶材易于更换,制靶不需模具。
文档编号F41J1/00GKCN2306479SQ97244446
公开日1999年2月3日 申请日期1997年8月1日
发明者沙健, 马向阳, 张守业 申请人:浙江大学导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan