强度。在本实用新型的其它实施例中，所述拉伸增强层12并不限于为尼龙层，所述拉伸增强层12还可以为高密度聚丙烯薄膜等，只要是拉伸强度较高的薄膜，亦可以提高所述静电屏蔽袋膜I的强度。较佳的，所述拉伸增强层12的厚度为0.005mm?0.05mm，例如0.01mm.0.02mm、0.03mm、0.04mm等等，可以有效提高静电屏蔽袋膜I的强度，同时不会使得所述静电屏蔽袋膜I过厚。
[0030]所述金属层13用于静电屏蔽、隔氧、防潮，在本实施例中，所述金属层13为现有的铝薄膜，铝薄膜在在高分子薄膜上的延展性能较好，且可以对晶圆进行有效地屏蔽。在本实用新型的其它实施例中，所述金属层13还可以为铝铜薄膜、银薄膜、锡薄膜等等。较佳的，所述金属层13的厚度为0.0Olmm?0.02mm,例如0.005mm、0.01mm、0.015mm等等。
[0031]所述双向拉伸聚丙烯薄膜14位于为所述静电屏蔽袋膜I的最外层，当将所述静电屏蔽袋膜I制作为静电屏蔽袋时，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14暴露在外面。如图2所示，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14中的聚丙烯分子链141呈无规则排序，从而能够有效提高所述静电屏蔽袋膜I在不同方向上的抗拉伸性能。较佳的，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14的厚度为 0.001mm ?0.05mm,例如 0.005mm、0.01mm、0.02mm、0.03mm、0.04mm 等等，可以有效地提高所述静电屏蔽袋膜I的厚度。
[0032]如图3所示，所述静电屏蔽袋膜I可以制备用于装一晶圆盒的所述静电屏蔽袋10，所述静电屏蔽袋10由所述静电屏蔽袋膜I围绕形成一密封腔101，所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，所述热封层11位于所述静电屏蔽袋10的内表面，所述热封层11为所述密封腔101的内壁，所述双向拉伸聚丙烯薄膜14位于所述静电屏蔽袋10的外表面。
[0033]在本实施例中，将所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，当所述静电屏蔽袋膜I被拉伸或受力时，最外侧的所述双向拉伸聚丙烯薄膜14受力，无规则排序的聚丙烯分子链141使得所述双向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，从而保证所述热封层11、拉伸增强层12和金属层13均不破损，以保证所述静电屏蔽袋膜I抗静电保护能力。
[0034]本实施例的所述静电屏蔽袋膜I的穿刺强度为200N以上，横向伸长率为100%，而现有技术中的静电屏蔽袋膜的穿刺强度仅为100N左右，横向伸长率仅为50%左右，本实施例的所述静电屏蔽袋膜I的强度明显优于现有技术中的静电屏蔽袋膜。
[0035]第二实施例
[0036]请参阅图4，其中，图4为本实用新型第二实施例中静电屏蔽袋膜的断面结构示意图。在图4中，参考标号表不与图1-图3相同的表述与第一实施方式相同的结构。所述第二实施例的静电屏蔽袋膜2与所述第一实施例的静电屏蔽袋膜I基本相同，其区别在于:所述拉伸增强层12位于所述双向拉伸聚丙烯薄膜14和金属层13之间，所述拉伸增强层12亦可以进一步提高所述静电屏蔽袋膜2的强度。
[0037]本实施例的所述静电屏蔽袋膜2亦可以制备所述静电屏蔽袋10，将所述晶圆盒放置于所述密封腔101中，当所述静电屏蔽袋膜2被拉伸或受力时，最外侧的所述双向拉伸聚丙烯薄膜14受力，无规则排序的聚丙烯分子链141使得所述双向拉伸聚丙烯薄膜14不易破裂，从而保证所述热封层11、拉伸增强层12和金属层13均不破损，以保证所述静电屏蔽袋膜2抗静电保护能力。
[0038]本实施例的所述静电屏蔽袋膜2的穿刺强度为200N左右，横向伸长率接近100%，而现有技术中的静电屏蔽袋膜的穿刺强度仅为100N左右，横向伸长率仅为50%左右，本实施例的所述静电屏蔽袋膜2的强度明显优于现有技术中的静电屏蔽袋膜。
[0039]本实用新型的较佳实施例如上所述，但是，本实用新型的静电屏蔽袋膜并不限于上述公开的范围，例如，所述静电屏蔽袋膜还可以不包括所述拉伸增强层12 ;并且，所述静电屏蔽袋膜并不限于用于晶圆的静电屏蔽，只要需要进行静电屏蔽的产品，均可采用本实用新型的静电屏蔽袋膜。
[0040]综上所述，本实用新型提供一种静电屏蔽袋膜以及静电屏蔽袋，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。所述金属层可以有效地对晶圆盒中的晶圆进行静电保护；所述双向拉伸聚丙烯薄膜中的聚丙烯分子链呈无规则排序，能够有效提高所述静电屏蔽袋膜在不同方向上的抗拉伸性能。
[0041]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。
2.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述静电屏蔽袋膜还包括一拉伸增强层，所述拉伸增强层位于所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间。
3.如权利要求2所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层位于所述热封层和金属层之间。
4.如权利要求2所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层位于所述双向拉伸聚丙烯薄膜和金属层之间。
5.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述拉伸增强层的厚度为0.005mm ?0.05mm。
6.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述热封层的厚度为0.0lmm?0.5mmο
7.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述金属层的厚度为0.0Olmm?0.02mnu
8.如权利要求1所述的静电屏蔽袋膜，其特征在于，所述双向拉伸聚丙烯薄膜的厚度为 0.0Olmm ?0.05mm。
9.一种静电屏蔽袋，用于将一晶圆盒装入所述静电屏蔽袋中，其特征在于，所述静电屏蔽袋由如权利要求1至8中任意一项所述的静电屏蔽袋膜围绕形成一密封腔，所述晶圆盒放置于所述密封腔中，所述热封层为所述密封腔的内壁。
【专利摘要】本实用新型揭示了一种静电屏蔽袋膜，所述静电屏蔽袋膜为多层结构，所述静电屏蔽袋膜的内层为热封层，所述静电屏蔽袋膜的外层为双向拉伸聚丙烯薄膜，所述热封层和双向拉伸聚丙烯薄膜之间设置有金属层。本实用新型还提供一种静电屏蔽袋，所述静电屏蔽袋所述静电屏蔽袋膜围绕形成一密封腔，所述热封层为所述密封腔的内壁。所述静电屏蔽袋膜能够提高静电屏蔽袋的拉伸性能以及抗刺穿性，可以有效地提高静电屏蔽袋的强度。
【IPC分类】B32B33-00, B32B15-04, B32B15-085
【公开号】CN204296142
【申请号】CN201420766415
【发明人】程琳, 上官遨宇
【申请人】中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2014年12月7日