立式退火炉及炉内氢气含量控制方法和装置的制造方法_2

文档序号:9882507阅读:来源:国知局
明:
本实施例中,将炉内所需氢气流量调整范围划分为两个流量区间:流量值较小的流量区间Fl和流量值较大的流量区间F2。对于流量区间Fl,取理论最小炉内所需氢气流量值Fll为其下限值,并取Fll的6倍流量值Flh为其上限值;对于流量区间F2,取Flh为其下限值,取理论最大炉内所需氢气流量值Fm。如图1,对应配置有两条氢气供应支路,其中一条支路上设置有第一氢气流量计2(FET_1),该第一流量计2的测量范围为Fll?Flh,为该第一流量计配置DN32的第一调节阀门3(FCV-1),并在该支路上设置第一切断阀门4(XV-1);另一条支路上设置有第二氢气流量计5(FET-2),该第二流量计5的测量范围为Flh?Fhh,为该第二流量计5配置DN60的第二调节阀门6(FCV-2),并在该支路上设置第二切断阀门7(XV_2)。
[0023]当退火炉I内压力变化时,产生不同的氮气流量VI,根据需要的氢气含量六%(占氮气含量的体积百分比),计算出氢气流量Fh2=VI* A%。如果Fh2处于流量区间Fl范围内,则关闭第二切断阀门7,开启第一切断阀门4,使用第一氢气流量计2测量实时的氢气流量,反馈流量信息以控制第一调节阀门3的开度,使第一氢气流量计2测量的氢气流量值与Fh2相同。如果Fh2处于流量区间F2范围内,则关闭第一切断阀门4,开启第二切断阀门7,使用第二氢气流量计5测量实时的氢气流量,反馈流量信息以控制第二调节阀门6的开度,使第二氢气流量计5测量的氢气流量值与Fh2相同。使用这种分段测量和调节退火炉I内氢气含量的方法,能够准确测量和控制氢气的流量。
[0024]实施例三
如图1,本实施例涉及一种立式退火炉炉内氢气含量控制装置,包括多条氢气供应支路,各所述氢气供应支路均与退火炉I连通,各所述氢气供应支路上均设有流量调节机构,各流量调节机构的调节区间依次衔接,各调节区间拼凑成的调节范围与退火炉I炉内所需氢气流量调整范围相匹配。其中,所述流量调节机构包括流量计和调节阀,所述流量计的量程及所述调节阀的口径与对应流量调节机构的调节区间相匹配。通过各流量调节机构将退火炉I炉内所需氢气流量调整范围划分成多个流量区间对退火炉I供应氢气,针对不同的流量区间采用不同量程的流量计及不同口径的调节阀,可提高流量计的测量准确度和调节阀的调节精度,从而准确控制退火炉I内氢气含量。
[0025]上述控制装置中,于各氢气供应支路上均设有切断阀,各切断阀根据炉内所需氢气流量值择一开启。即其中一条氢气供应支路工作时,该氢气供应支路上的切断阀开启,其它切断阀断开。
[0026]本实施例还涉及一种立式退火炉,所述退火炉I配置有如上所述的立式退火炉炉内氢气含量控制装置。上述氢气含量控制装置作为退火炉I的氢气供应机构,各氢气供应支路入口端与氢气气源连通,各氢气供应支路与氮气供应管路形成并联管路,并联管路出口端与混合气管连接,混合气管连接至退火炉I,氢气与氮气在混合气管内混合后进入退火炉1
[0027]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种立式退火炉炉内氢气含量控制方法,其特征在于,包括如下步骤: 确定炉内所需氢气流量调整范围; 将炉内所需氢气流量调整范围划分为多个流量区间,根据各流量区间一一对应配置相应调节范围的氢气供应支路; 确定实时炉内所需氢气流量值,选择该实时炉内所需氢气流量值所在的流量区间所对应的氢气供应支路供应氢气。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:根据炉内氮气流量波动范围和所需氢气浓度比例调整范围确定炉内所需氢气流量调整范围;根据炉内氮气流量值和所需氢气浓度比例值计算实时炉内所需氢气流量值。3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:所述氢气供应支路通过相应量程的氢气流量计和相应口径的调节阀门调节流量。4.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:在各氢气供应支路上均设置切断阀,其中一条氢气供应支路工作时,该氢气供应支路上的切断阀开启,其它切断阀断开。5.一种立式退火炉炉内氢气含量控制装置,其特征在于:包括多条氢气供应支路,各所述氢气供应支路均与退火炉连通,各所述氢气供应支路上均设有流量调节机构,各流量调节机构的调节区间依次衔接,各调节区间拼凑成的调节范围与退火炉炉内所需氢气流量调整范围相匹配。6.根据权利要求5所述的立式退火炉炉内氢气含量控制装置,其特征在于:所述流量调节机构包括流量计和调节阀,所述流量计的量程及所述调节阀的口径与对应流量调节机构的调节区间相匹配。7.根据权利要求5或6所述的立式退火炉炉内氢气含量控制装置,其特征在于:各所述氢气供应支路上均设有切断阀,各所述切断阀根据炉内所需氢气流量值择一开启。8.—种立式退火炉,其特征在于:所述退火炉配置有如权利要求5至7中任一项所述的立式退火炉炉内氢气含量控制装置。
【专利摘要】本发明涉及一种立式退火炉炉内氢气含量控制方法,该方法为:将炉内所需氢气流量调整范围划分为多个流量区间,根据各流量区间一一对应配置相应调节范围的氢气供应支路;选择实时炉内所需氢气流量值所在的流量区间所对应的氢气供应支路供应氢气。另外还涉及一种立式退火炉炉内氢气含量控制装置及配置有该控制装置的退火炉,该控制装置包括多条氢气供应支路,各氢气供应支路均与退火炉连通,各氢气供应支路上均设有流量调节机构,各流量调节机构的调节区间依次衔接,各调节区间拼凑成的调节范围与退火炉炉内所需氢气流量调整范围相匹配。本发明可有效提高氢气流量调节的精度,准确控制退火炉内氢气含量,达到节能和提高退火炉工作稳定性的目的。
【IPC分类】C21D9/54, C21D11/00, C21D1/26
【公开号】CN105648205
【申请号】
【发明人】王海丰
【申请人】中冶南方工程技术有限公司
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2016年3月10日
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1