专利名称：化学过滤网结构的制作方法
技术领域：
本发明是有关 一 种化学过滤网结构，尤指 一 种由 侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自 正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单 元，提供 一 重复更换使用的化学过滤网结构，适用于
电子制造业的无尘室如IC、 TFT、半导体制造业的无尘 室或类似场地。
背景技术：
随着半导体技术不断的进步，IC制程线径不断的 缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进 一步地跨入22及32nm制程技术，也由于IC线径不断 的縮小，因此外部空气或无尘室内中含微污染
(Airborne Molecular Contamination, AMC) 物质， 例如含硫物质S0x、 H2S、 DMSO(Dimethyl Sulfoxide ，
(CH3) 2S0)、 DMS ( Dimethyl Sulfide, (CH3) 2S)等， 酸性物质N0X， 碱性物质NH3、 MEA (Monoethanol
Amine, NH2C2H40H)等，含低沸点的挥发性有机化合物 (Volatile Organic Compounds ， VOCs ) 、 IPA (Isopropyl Alcohol ， C:iH70H)、丙酮等，以及含高沸
点的挥发性有机化合物(Volatile Organic
Comp o u n d s ，vocs)等，对于制程〖良率的影响，曰_>人扩
大为了提升制程良率，半导体厂通常需于外气空调
箱及气流循环区加装《七学过滤网
目、/ -目U市场上使用化学过滤网型式， 其结构大多是
于框架内设有化学滤网，该化学滤网的型态可设为
多孔性活性碳滤网、薄层多折式滤网、蜂巢状滤网...
等型式，再将该框架置于气体过滤的风口以进行气体
过滤然，现有的化学滤网往往无法兼顾去除成份、
去除效率、压力损失、使用寿命及制造成本等因素，
且使用饱和后的化学滤网是与框架设为一体，故使用
饱和后□能全部丢弃，无法再生重复使用，而产生另
一种垃圾污染，故实际使用上仍:不符使用者的所需。
发明内容
本发明的主要目的，在提供 一 种化学过滤网结构， 由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可 自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附 单元，以提供 一 重复更换使用的化学过滤网结构，除可降低制造成本外，尚具环保功能，以增加本发明的
实用性、经济性与环保性。
本发明的次目的，在提供 一 种化学过滤网结构，
由该吸附单元可替换成多种型式，而使本发明的化学
过滤网可适用于各种场合及不同环境的需求，使去除
效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学过
滤网的使用寿命，增力口本发明的实用性与便禾u性。
为达上述巨的，本发明提供 一 种化学过滤网结构，
苴 z 特征在于，包括
一正面框，设有至少 一 开口 ；
至少 一 侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及
至少 一 吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤 网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于 该侧框中；
由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该 侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有 一 支撑结 构，而该吸附剂设于该支撑结构中。
其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有多数个支 撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结
构间进 一 步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。
中该吸单元进——1步结合于 一 吸附剂边框后再
与侧框仝± A 5口 口。
苴 z 、中该侧框上设有凸肋，而该吸附剂边框上设有
凹槽，由侧框凸肋与吸附剂边框上凹槽的结合以供
该侧框与该吸附剂边框相互活动结合。
苴 z 、中该吸附单元进步设有吸附剂边框，该吸附
剂边框上设有启闭口，以供使j入吸附剂,
中该侧框的凸肋进一止 少设有气密条以防气体外泄。
其中该滤网为不织布滤网。 其中该滤网为细网。
其中该正面框背侧设有凹槽，而该侧框上相对设 有凸块，由正面框凹槽与侧框上凸块的结合，以供该 正面框与该侧框相互活动结合。
其中该正面框的开口上进一步设有滤网。
其中该侧框于外侧进 一 步设有 一 保护网。
为使审查员方便简捷了解本发明的其它特征内容
点及苴 / 、所达成的功效能够更为显现，以下结合实
及附图详细说明如后苴 乂 、中
图1是为i本发明实施伊J的立体外观图，
图2是为i本发明实施例的结合剖示图，
图3是为f本发明实施例的使用示意图，
图4是为f本发明实施例的部分立体分)解图'
图5是义7本发明实施例吸附单元与吸附剂边框的
示思图。
图6是力,本发明吸附单元与侧框的组合剖示图之
图7是乂j本发明吸附单元与侧框的组合剖示图之
图8是为本发明吸附单元(吸附剂设于该支撑结
构中与侧框的组合剖示图。
图9是为本发明吸附单元(吸附剂设于二层支撑
结构中4侧J框的组合剖示图。
具体实施例方式
请参图1 图5 ，本发明是包括
一正面框1 Q ，该正面框1 0上是设有至少 一 开
口l 1，该开口l l是覆有滤网3 0 2，该正面框l 0的背侧是设有结合部1 0 1(请参图3 ，本实施例 设为 一 凹槽)。
至少 一 侧框2 0 ，该侧框2 0是可设为V型或U 型以扩大吸附的面积，该侧框2 0是设有第 一 结合部
2 0 1 ，本实施例该第 一 结合部2 0 1是设为 一 凸块， 该侧框2 0的凸块是结合于正面框1 0的凹槽中，以 使该侧框2 0与正面框1 Q相互活动结合，而该侧框
2 0是另设有第二结合部2 0 2 ，本实施例中该第二 结合部2 0 2是设为 一 凸肋，该凸肋并设有气密条(图 未示)以防气体外泄，而侧框2 0外侧是可进 一 步设 有保护网4 0 。
至少 一 吸附单元3 o ，该吸附单元3 0的二外侧 是各设有滤网3 0 2 ，该滤网3 0 2可设为不织布滤 网、细网或其它形式的滤网，且该些滤网3 0 2间设 有吸附剂3 0 1 ，该吸附单元3 0的二滤网3 0 2间
亦可进 一 步设有 一 支撑结构3 Q 3 (本实施例是设为 一网格状结构，实际实施时亦可以蜂巢状或类似的结 构代替)，而该吸附剂3 0 1是设于该支撑结构3 0 3 中，且该吸附单元3 0是结合于该侧框2 0中，其中， 该吸附单元3 0亦可先结合于 一 吸附剂边框3 1后再 与侧框2 0相互活动结合，而该吸附剂边框3 1相对 于该正面框1 0的结合部1 0 1而设有第 一 结合部3
1 1(本实施例是设为 一 凸肋)，以及相对于该侧框2
0的第二结合部2 Q 2而设有第二结合部3 1 2 (本 实施例是设为-^凹槽)。
请参图1图5，本发明的特点、是在于由正面
框10、至少侧框20以及至少吸附单元30的
组合设计，利用该侧框20的第一结合部201、吸
附剂边框31的第结合部311与该正面框10的
么士 A 5卩 n部101相互活动幺士合，该侧框20亦与吸附剂
边框31活动结.合，且吸附剂边框31内的吸附单元
3 0吸附饱和后，由从正面框10上活动拆离该侧框
2 0、吸附剂边框31以抽换该吸附单元30，进而
可重复更换使用该化学过滤网以进行气体的过滤，而
无须置换整组化学过滤网，使化学过滤网的制作成本
大幅降低，减少垃圾污染以达环保功能另，该吸附
单元30亦可依需求与用途来选择置换，故可使微污
染物质的去除效率更佳，并可降低过滤的压力损失
因此提咼了化学过滤网的使用寿命，增加本发明的实
用性与便利性
请参图1图9，图5中该吸附单元30是包括
吸附剂301、—侧各有一滤网302及—支撑结构
3 03，该吸附剂301 :是设于该支#掌结构3 0 3中，二侧各设有滤网302，再将该支撑结构303幺士 》p
合于吸附剂边框3 1上，由吸附剂边框3 1上的凹槽 与侧框2 0的凸肋相互结合，而将吸附单元3 Q活
结合于侧框20上，而图6 、图7是为该吸附单元3
0与侧框2 0结合的组合剖示图，其中该侧框2 0的
二侧是各结合 一 组吸附单元3 0 ，使用时，外气通过
正面框1 0的滤网3 0 2 ，从开口 1 1进入侧框2 0 中心再往二旁的滤网3 0 2行进并通过吸附单元3
0 ，当外气通过该吸附单元3 0时微污染物质会被该 吸附齐l」3 0 1吸收，接着再通过吸附单元3 0外侧的 滤网3 0 2 ，最后经由保护网4 0排出以完成过滤。 而当吸附单元3 0吸附饱和后，只需将侧框2 0自正 面框1 0上取下，再将吸附剂边框3 1与侧框2 0活 动拆离即可进行吸附单元3 0的抽换，而其余的化学 过滤网结构如正面框1 0 、侧框2 0及吸附剂边框3
1 ，甚至保护网4 Q都可再使用，不但降低制造成本， 尚具环保功能，且该吸附单元3 0是制成薄型，以利 降低压力损失，而图7是为该吸附剂边框3 1上另设 有启闭口 3 1 3 ，以供更换该吸附单元3 0时将吸附 剂3 0 1直接倒入吸附剂边框3 1中。而该吸附单元
3 0的二滤网3 0 2间是可进 一 步设有多数个支撑结
构3 0 3 ，该些支撑结构3 0 3是区隔为数层，且该
些支撑结构3 0 3间是进 一 步设有滤网3 Q 2 ，由此
设置不同的吸附剂，请参阅图8 、图9 ，是为本发明 的吸附单元3 0 (吸附剂设于该支撑结构中)与侧框
20结合的组合剖示图，该吸附单元30是设为《撑
结构303中设有吸附剂301，而本实施例图9中
该支撑结构303是区隔为第支撑结构30361与
第二支撑结构303b层，且该第支撑结构30
3a与第一支撑结构303b间是进步设有滤网
30 2以作为分隔，由此可将不同吸附剂301区隔
安装于各层支撑结构中，例如于第支结构303
中置入高沸点的挥发性有机化合物吸附剂而于第
支撑结构303b中置入低沸点的挥发性有机化合
物吸附剂，故外气进入第支撑结构303中则可
先去除—i、 i —沸点的挥发性有机化合物，再进入第支撑
结构303b中去除低沸点的挥发性有机化合物，进
而达成多种去除功效，使去除微污染污染物质的效率
更佳，使本发明更实用性与便利'性,
惟以上所述的，仅为本发明的较佳实施例当不
能用以限定本发明可实施的范围，凡习于本专业的人
士所明显可作变化与修饰>皆应视为不脱离本发明的
实质内容
综上所述，本发明确可达到创作的预期百的，提
供一种化学过滤网结构，有实用价值无疑，故依法
提出发明专利中请
权利要求
1、一种化学过滤网结构，其特征在于，包括一正面框，设有至少一开口；至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
2 、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特 征在于，其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有 一 支 撑结构，而该吸附剂设于该支撑结构中。
3 、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特 征在于，其中该吸附单元的二滤网间进 一 步设有多数 个支撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支 撑结构间进 一 步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。
4 、如权利要求1 、 2或3所述的化学过滤网结 构，其特征在于，其中该吸附单元进 一 步结合于 一 吸 附剂边框后再与侧框结合。
5.如权利要求4所征在于，苴z 中该侧框上设设有凹槽，由侧框凸肋与以供该侧框与该吸剂边
6.如权利要求1所征在于中该吸附单元吸附剂边框上设有启闭口
7.如权利要求5所征在于，中该侧框的凸体外泄
8、如权利要求1所征在于，中该滤网为不
9.如权利1所征在中该滤网为细
10、如权利要求1特征在于，其该正面框相对设有凸块，由正面框以供该正面框与该侧框相
11、如权利要求1特征在于，中该正面框
12、如权利要求1特征在于中该侧框于述的化学过滤网结，特有凸肋，而该吸附剂边框上吸附剂边框上凹槽的结合，框相互活动结合。述的化学过滤网结构， 7 、特进一步设有吸附剂边框，该，以供倒入吸附剂,述的化学过滤网结构，苴z 、特肋进步设有气密条以防气述的化学过滤网结构，其特织布滤网。述的化学过滤网结构，其特网。所述的化学过滤网结构，背侧设有凹槽，而该侧框上凹槽与侧框上凸块的结合互活动么士 A ^口口 o所述的化学过滤网结构，苴z 、的开口上进 一 步设有滤网^所述的化学过滤网结构，苴 外侧进一步设有 一 保护网^
全文摘要
一种化学过滤网结构，是包括一正面框、至少一侧框以及至少一吸附单元，其中，该正面框设有至少一开口，该侧框是与该正面框活动结合，该吸附单元的二外侧是各设有滤网，且该二滤网间是设有吸附剂，而该吸附单元是结合于该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
文档编号A61L9/014GK101352576SQ200710136369
公开日2009年1月28日 申请日期2007年7月26日 优先权日2007年7月26日
发明者刘邦昱, 徐瑞珠, 林哲弘, 洪守铭, 郑石治, 陈寿忠 申请人:华懋科技股份有限公司