专利名称：清理盒及管路的清理方法
技术领域：
本发明是关于一种清理用装置，且特别是关于一种清理盒以及用这种清理盒清理管路的方法。
背景技术：
半导体设备中的某些工作机台如金属蚀刻机台因制作工艺特性，需利用加热套(heater jacket)对真空管进行加热，以防止真空管管路有聚合物(polymer)等废物附着。不过，在未包覆加热套的真空管部份，则需要排定时间进行清理。
图1所示出为传统的半导体装置的连接关系的示意图。图2所示出为传统清理工作机台的真空管的示意图。
请参照图1，首先介绍在一半导体制造系统中的工作机台100、真空泵106及排气装置112三者之间的连接关系。工作机台100的真空管102透过连接管104连接至真空泵106的进气口108。真空泵106的出气口110连接至排气装置112的抽气管114。工作机台100例如是金属蚀刻机台。在真空管102的一部份包覆有加热套116，用以加热真空管102，以避免废物黏附在真空管102的管壁上。
请同时参照图1及图2，在对图1中工作机台100的真空管102进行清理时，首先会卸除用以连接真空管102及出气口110的连接管104。接着，一作业人员在未包覆加热套116的真孔管102处，使黏附于真空管102管壁的废物118与管壁分离，另一作业人员在真空管102的开口处以塑料袋120封住开口，以承接掉落的废物118。
然而，以塑料袋120承接废物的方式，因为塑料袋120容易破裂，会造成废物118掉落于塑料袋120外，而产生废物118外泄的危安事件。
此外，塑料袋120的密封性不佳，废物118容易从塑料袋120与真孔管102的接缝处泄漏，而影响作业人员的健康。
另一方面，若是粉尘从塑料袋120与真孔管102的接缝处泄漏，会造成烟尘警报器的感应点上升而启动烟尘警报器，产生不必要的虚惊。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的就是在提供一种清理盒，能容纳管路中的废物，并避免废物外泄。
本发明的再一目的是提供一种管路的清理方法，能有效清理管路中的废物，且能防止废物外泄。
本发明提出一种清理盒，适于承接来自工作机台的真空管的废物，其特征在于该清理盒具有承接口及出气口。承接口连接于工作机台的真空管，出气口则连接于排气装置的抽气管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的清理盒中，还包括透视板，用以观察清理盒内部。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的清理盒中，还包括输送管，用以连接清理盒的出气口及排气装置的抽气管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的清理盒中，输送管包括软管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的清理盒中，清理盒的材质包括不锈钢。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的清理盒中，出气口位于清理盒的顶面。
本发明再提出一种管路的清理方法，适用于清理位于工作机台的真空管的管壁上的废物，真空管借由连接管连接于真空泵的进气口，真空泵的第一出气口连接于排气装置的抽气管。管路的清理方法，首先卸除连接管。接着，提供清理盒，清理盒具有承接口及第二出气口。然后，借由承接口连接真空管。接下来，借由清理盒的第二出气口连接于排气装置的抽气管。之后，使真空管的管壁上的废物落在清理盒中，并使利用排气装置的抽气管抽出清理盒中由废物所产生的废气。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，使真空管的管壁上的废物落在清理盒中的方法包括敲打真空管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，第二出气口的位于清理盒的顶面。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，还包括透视板，用以观察该清理盒内部。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，还包括输送管，用以连接清理盒的出气口及排气装置的抽气管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，输送管包括软管。
依照本发明的一优选实施例所述，在上述的管路的清理方法中，清理盒的材质包括不锈钢。
由上述可知本发明的清理盒刚性较强且抗腐蚀，能避免因清理盒受到破裂而造成废物外泄的问题。此外，本发明的清理盒上具有一透明板，可清楚地观察清理盒承接废物的情况。另外，清理盒的出气口位于清理盒的顶面，可避免废物阻塞排气装置的抽气管。
另一方面，在本发明的管路的清理方法中，排气装置可将清理盒中由废物所产生的粉尘吸到制造系统外，能避免粉尘外泄。另外，管路间采用管接头的方式连接，可防止废物从管路的接缝处外泄所造成的危安事件。
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。
图1所示出为传统的半导体装置的连接关系的示意图。
图2所示出为传统清理工作机台的真空管的示意图。
图3所示出为本发明清理工作机台的真空管的示意图。
主要组件符号说明100工作机台102真空管104连接管106真空泵108进气口110、126出气口112排气装置114抽气管116加热套118废物
120塑料袋122清理盒124承接口128透明板130输送管具体实施方式
本发明所提出的管路的清理方法，适用于清理位于工作机台的真空管的管壁上的废物。上述的废物例如是黏附在未被加热套所包覆的真空管的管壁上。以下，将以清理一个半导体制造系统的管路中的废物为例，说明本发明的清理盒及管路的清理方法。
请参照图1，在此半导体制造系统中，工作机台100利用真空泵106制造真空的操作环境，而由真空泵106所抽出的气体经由排气装置112排出半导体制造系统外部。工作机台100例如是金属蚀刻机台。工作机台100、真空泵106及排气装置112三者之间的连接关系及相关构件已于前文及图1中进行说明，在此不再赘述。
图3所示出为本发明清理工作机台的真空管的示意图。
请同时参照图1及图3，首先卸除连接管104。
接着，提供一个清理盒122，适于承接来自工作机台100的真空管102的废物118。清理盒122连接工作机台100的真空管102及排气装置112的抽气管114。其中，利用排气装置112的抽气管114可将清理盒122中由废物118所产生的含有粉尘的废气吸到制造系统外，能避免粉尘外泄。
清理盒122包括承接口124及出气口126。清理盒122的材质例如是不锈钢，可以防止废物118对清理盒122所造成的腐蚀。此外，可在清理盒122配置透明板128，能够清楚地观察废物118掉落到清理盒122内部的状况。
清理盒122的承接口124连接于工作机台100的真空管102，作为废物118落入清理盒122的入口。
清理盒122的出气口126连接于排气装置112的抽气管114，且出气口126例如是位于清理盒122的顶面。如此一来，可避免废物118阻塞排气装置112的抽气管114。清理盒122的出气口126可透过输送管130连接于排气装置112的抽气管114。输送管130例如是软管。
上述管路的连接方式例如是透过管接头进行连接，能使管路间的接缝处呈密封的状态，可避免管路中的废物由接缝处外泄。
然后，使未被加热套116所包覆的真空管102的管壁上的废物118落在清理盒122中，并使利用排气装置112的抽气管114抽出废气。使真空管102的管壁上的废物118落在清理盒122中的方法例如是敲打真空管102。
本发明的清理盒122，在容纳管路中的废物118时，因为清理盒122的材质刚性较强且可抗腐蚀，能防止因清理盒122破裂而产生的废物外泄。此外，另用本发明的管路的清理方法进行管路的清理时，能有效清理管路中的废物118，且能避免废物118外泄所造成的危安事件。
综上所述，本发明至少具有下列优点1.本发明的清理盒刚性较强，能避免因清理盒破裂而造成废物外泄的问题。
2.在本发明的清理盒上具有一透明板，可清楚地观察废物在清理盒中的情况。
3.本发明的清理盒为不锈钢材质，能减少废物对清理盒所造成的腐蚀。
4.在本发明的清理盒中，出气口位置高于清理盒内的废物的顶面，可避免废物阻塞排气装置的抽气管。
5.利用本发明的管路的清理方法，借由排气装置将清理盒中由废物所产生的含有粉尘的废气吸到制造系统外，能避免粉尘外泄所造成的危安事件。
6.在本发明的管路的清理方法中，管路间的连接的接缝处为密封的状态，可防止废物从接缝处外泄。
虽然本发明已以优选实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何业内人士，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求
1.一种清理盒，适于承接来自一工作机台的一真空管的废物，其特征在于该清理盒具有一承接口及一出气口，该承接口连接于该工作机台的该真空管，该出气口则连接于一排气装置的一抽气管。
2.根据权利要求1所述的清理盒，其特征在于，还包括一透视板，用以观察该清理盒内部。
3.根据权利要求1所述的清理盒，其特征在于，还包括一输送管，用以连接该清理盒的该出气口及该排气装置的该抽气管。
4.根据权利要求3所述的清理盒，其特征在于，其中该输送管包括一软管。
5.根据权利要求1所述的清理盒，其特征在于，其中该清理盒的材质包括不锈钢。
6.根据权利要求1所述的清理盒，其特征在于，其中该出气口位于该清理盒的顶面。
7.一种管路的清理方法，适于清理位于一工作机台的一真空管的管壁上的废物，该真空管借由一连接管连接于一真空泵的一进气口，该真空泵的一第一出气口连接于一排气装置的一抽气管，该管路的清理方法包括卸除该连接管；提供一清理盒，该清理盒具有一承接口及一第二出气口；借由该承接口连接该真空管；借由该清理盒的该第二出气口连接于该排气装置的该抽气管；以及使该真空管的管壁上的废物落在该清理盒中，并使利用该排气装置的该抽气管抽出该清理盒中由废物所产生的废气。
8.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，其中使该真空管的管壁上的废物落在该清理盒中的方法包括敲打该真空管。
9.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，其中该第二出气口的位于该清理盒的顶面。
10.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，还包括一透视板，用以观察该清理盒内部。
11.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，还包括一输送管，用以连接该清理盒的该出气口及该排气装置的该抽气管。
12.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，其中该输送管包括一软管。
13.根据权利要求7所述的管路的清理方法，其特征在于，其中该清理盒的材质包括一不锈钢。
全文摘要
一种清理盒，适于承接来自工作机台的真空管的废物，其特征在于该清理盒具有承接口及出气口。承接口连接于工作机台的真空管，出气口则连接于排气装置的抽气管。清理盒刚性较强，能避免因清理盒破裂而造成废物外泄的问题。
文档编号B08B9/035GK1951583SQ20051011811
公开日2007年4月25日 申请日期2005年10月20日 优先权日2005年10月20日
发明者裘克文, 吴政信 申请人:联华电子股份有限公司