专利名称：基板清洗装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板清洗装置，尤其涉及一种用于清洗平板显示 面板用基板的清洗装置，特别是对基板均匀喷射两种混合流体的清洗 流体来进行清洗作业的基板清洗装置。
背景技术：
通常，在制造平板显示面板用基板时，为去除基板上的各种杂质 和药液而进行清洗作业。在所述清洗作业中使用以喷射清洗流体的方式除去粘在基板上的 各种杂质和药液的基板清洗装置。由本申请人于2004年3月23日提出申请，并授予专利权的第 591475号专利公报所公开的基板清洗装置就是所述基板清洗装置。然而，所述专利第591475号专利公报所公开的基板清洗装置，在 具有长方体状流体喷射区域的喷射装置的排出部分上相隔预定距离形 成有多个喷射口。因此，在各喷射口之间存在喷射闲置区域，从而在进行清洗作业 时可能引起下述问题。首先，在长方体状流体喷射区域内，由于闲置区域不会喷射流体， 因而可能出现流体断流现象，而这种流体断流现象可能降低基板清洗 效果。例如，对基板喷射清洗流体时，没有被流体喷射的基板表面会留 下波紋状痕迹。与小面积的基板相比，在清洗大面积的基板时，上述波紋状痕迹 可能出现得更为严重，因此这种装置很难适应于逐渐大面积化的基板 制造形势。为解决上述问题，沿着基板输送方向配置多个喷射装置，并且以 所述装置喷射口的间距大小使喷射装置相互错开排列，而在此状态下 进行清洗作业。然而这种装置不仅使整体结构过于复杂，而且可能引 起清洗液消耗过多的另 一 问题。因此，在长方体状喷射区域内用于喷射清洗流体的喷射口之间存 在闲置区域的状态下，很难从根本上解决上述基板清洗作业中出现的 问题。发明内容本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种对基板喷射清洗 流体时，在长方体状流体喷射区域内没有闲置区域的状态下进行清洗 作业的基板清洗装置。为实现上述目的，本发明提供一种基板清洗装置，其包括 清洗槽，其用于提供作业空间；气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于 供给清洗液体；第 一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成 长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流^各；第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成 多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体 的流路。本发明使用具备用于混合喷射两种流体(气体及液体)的多个喷 孔的长方体状喷射装置，因此能够容易去除粘在基板上的各种异物和 药液。特别是，所述各喷射装置设置为以下结构即任何一个喷射装置 的喷孔之间分别设有另一个喷射装置的喷孔，这种设置可以使长方体 状流体喷射区域内不出现流体断流现象，从而能够均匀地喷射清洗流 体。这种结构解决了使用现有喷射装置来进行作业时，即使用存在喷 射闲置区域的长方体状喷射装置时，由于在整个喷射区域内出现流体 断流区域而在基板表面留下波紋等痕迹的问题。因此，在进行基板清洗作业时可进一步提高工作效率和清洗质量。
图1是本发明一实施例的基板清洗装置的整体结构图。图2是本发明一实施例的基板清洗装置内部结构示意图。图3是用于说明本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置 的剖-见图。图4是图3所示本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置的立体分解图。图5是本发明一实施例的基板清洗装置中第一气体流路孔及第二 气体流路孔的结构示意图。图6是本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷孔和第二喷孔的 排列状态示意图。图7是本发明一实施例的基板清洗装置中第二喷射装置的结构示意图。 」图8是本发明一实施例的基板清洗装置中第二喷射装置的剖视图。图9是本发明一实施例的基板清洗装置中第一喷射装置和第二喷 射装置的作用示意图。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例，并在所属技术领 域的技术人员能够实施本发明的范围内进行说明。由于本发明的实施例可以釆用多种方式实施，因此本发明的权利 要求范围并不局限于下述实施例。图l及图2是本发明一实施例的基板清洗装置整体及内部结构图， 图中标记2表示清洗槽。所述清洗槽2为常规的箱体结构，其内部设有作业空间S,可进行 用于制造平板显示面板用基板G(以下简称基板)的清洗作业。所述清洗槽2内部设有用于输送基板G的输送装置4。所述输送装置4是由多个输送辊R构成的常规的辊轮式输送器结构。所述输送辊R,通过常规方法从电机(未图示)接收动力而进行 旋转，并以基板G的一面朝上的状态承载所述基板G，且以图2为基 准在所述作业空间S上从左向右输送基板G。所述清洗槽2内设置有气体供给装置6。如图1所示，所述气体供 给装置6中设置有用于使清洗气体W1通过的内部空间Sl,其形状为 长方体状箱体。如图2所示，所述气体供给装置6与管体Pl相连，并从所述管体 Pl接收清洗气体Wl。所述清洗气体Wl使用常规的清洁压缩空气(CDA: Clean Dry Air),如图2所示，清洁压缩空气在储存于存储容器T1的状态下，以 预定压力通过上述管体P1供给到所述气体供给装置6中。如图3所示，所述气体供给装置6 —侧形成有气体排出口 Hl，而 所述气体排出口 HI起到通道作用，以使清洗气体Wl经过所述内部空 间Sl向外部排出。如图1所示，在所述清洗槽2内设有与所述气体供给装置6相面 对的液体供给装置8。所述液体供给装置8具有用于使清洗液体W2通过的内部空间S2， 并由与所述气体供给装置6相同的长方体状箱体构成。如图2所示，所述液体供给装置8通过管体P2与液体存储容器 T2相连。虽然未图示，所述液体供给装置8通过常规流体泵的泵送接 收经所述管体P2供给的清洗液体W2。所述清洗液体W2使用常规的去离子水等纯水，并与所述清洗气 体Wl混合而进行清洗基板G的作业。如图3所示，所述液体供给装置8的一侧形成有液体排出口 H2。所述液体排出口 H2作为通道，将从所述液体存储容器T2供给的 清洗液体W2经所述内部空间S2向外部排出。而且，如图3所示，所述气体供给装置6和所述液体供给装置8 的内部空间Sl、 S2可以通过另设的盖罩C向外部开;^文。根据本发明一实施例的基板清洗装置包括第一喷射装置Jl 。所述第 一喷射装置Jl由第 一流路单元10和第二流路单元12构成， 以便在喷射清洗气体Wl时，使所述清洗液体W2混合在所述清洗气 体中后喷射。如图4所示，所述第一流路单元10由多个第一薄板L1构成，而 在所述第 一薄板Ll上相隔预定距离形成有多个第一气体流路孔VI 。如图3所示，当所述多个第一薄板L1相面对地结合时，所述多个 第一气体流路孔VI互相重叠，从而分别形成用于从所述气体供给装置 6喷射清洗气体Wl的第一气体流路K1。即，所述第一气体流路K1通过所述多个第一气体流路孔VI以预 定距离分割形成。而且，如图3所示，所述第一气体流路K1可使所述气体供给装置 6的清洗气体Wl经气体排出槽H1向外部排出后逐渐向下喷射。例如，如图4所示，所述第一气体流路孔V1可在邻接所述气体供 给装置6的任何一个第一薄板L1上形成为圆孔，而在另一个第一薄板 Ll上则可以形成为底部开放的"n"型孔。另外，如图5所示，所述"n"型的第一气体流路孔V1具有如下 结构在第一薄板L1的底部朝上逐渐向里变窄再逐渐向外变宽的常规 的瓶颈结构。通过所述第一气体流路K1以预定压力喷射清洗气体Wl时，上述 结构根据伯努利原理，在所述第一气体流路孔VI的瓶颈位置上使气体 流速加快并且使气体压力逐渐低于大气压，从而产生吸引力。所述第二流路单元12由具有第一液体流路孔V2的多个第二薄板 L2构成。如图4所示，在多个第二薄板L2相面对地结合时，所述多个第一 液体流路孔V2互相重叠而形成用于喷射清洗液体W2的第 一液体流路 K2 (参照图3)。所述多个第一液体流路孔V2,可在所述第二薄板L2上形成为圓 形，并如图5所示，其与形成于所述第一薄板L1 一侧的第一气体流路 孔VI弁瓦颈部分相对应。而且，如图6所示，所述第一气体流路K1和所述第一液体流路 K2,其排出端部互相连通而在由所述第一流路单元IO和第二流路单元 12所形成的长方体状流体喷射区域D中形成多个第一喷孔N1。根据清洗气体Wl经过所述第一气体流路K1的瓶颈位置时压力下降的现象，清洗液体W2经所述第一液体流路K2被吸入后两种流体即 气体wi和液体W2相混合。所述第一喷孔Nl喷射这种混合流体。由此，如图3所示，可对基板G喷射清洗气体Wl和清洗液体W2 的混合清洗流体W。另外，贯通形成所述气体供给装置6和液体供给装置8的气体排 出孔Hl及液体排出孔H2，以便向所述第一气体流路孔VI和第一液 体流路孔V2通畅地供给清洗气体Wl和清洗液体W2。所述第一流路单元IO和所述第二流路单元12的第一薄板L1和第 二薄板L2可使用金属薄板，而所述第一气体流路孔VI和第一液体流 路孔V2可通过常规的蚀刻等工序形成。如上所述，若以多个薄板L1和多个薄板L2形成第一流路单元10 和第二流路单元12，则以分割形成方式，可易于制造出用于使清洗气 体Wl和清洗液体W2通过的微细流路Kl和流路K2区域，而且能够 提高整体或局部的维修保养性能。另外，如图4所示，根据本发明一实施例的基板清洗装置包括第 二喷射装置J2,第二喷射装置J2由第三流路单元14和第四流路单元 16构成。所述第三流路单元14具有用于喷射清洗气体Wl的第二气体流路 孔V3。所述第二气体流路孔V3形成在第三薄板L3上，其形状为向第三 薄板L3下侧开》文的"n"型。所述第三薄板L3与第一薄板L1相面对地结合时，如图7所示， 所述第二气体流路孔V3设置在所述第一薄板Ll上的多个第一气体流 路孑L VI之间。即，如图5所示，在所述多个第一气体流路孔V1之间设置所述第 二气体流路孔V3的状态下相结合。此时，如图5所示，所述第二气体流路孔V3和所述第一气体流路 孔V1的上部，其一部分互相连通，从而可接收由所述气体供给部6的 气体排出口 Hl供给的清洗气体Wl。如图8所示，当所述第三薄板L3与第一薄板Ll及第二薄板L2 相面对地结合时，通过所述第二气体流路孔V3形成第二气体流路K3。而且，所述第四流路单元16具有用于喷射清洗液体W2的第二液 体流^各孔V4。如图4及图7所示，所述第二液体流路孔V4在形成有所述第二流 路单元12的多个第二薄板L2上，穿设于所述多个第一液体流路孔V2 之间。如图8所示，所述多个第二液体流路孔V4通过所述多个第二薄板 L2的结合，形成可从所述液体供给装置8供给清洗液体W2的第二液 体流^各K4。如图6所示，所述第二气体流路K3和所述第二液体流路K4的排 出端部互相连通，从而在所述多个第一喷孔N1之间分别形成第二喷孔 N2。所述第二喷孔N2通过进行与所述第一喷孔Nl相同的操作，而喷射清洗流体w。即，经所述第二气体流路K3喷射清洗气体W1时，通过所述气体 Wl的流动压力，所述清洗液体W2经第二液体流路K4被吸入后和气 体一起混合喷射。由此，如图9所示，通过所述第一喷孔N1和所述第二喷孔N2， 在长方体状的整个流体喷射区域d内，可均匀喷射清洗气体Wl和清 洗液体W2的混合清洗流体W。所述结构可防止使用现有长方形喷嘴来进行清洗作业时，因喷射 口之间的喷射闲置区域引起的流体断流现象。所述第一流路单元10和所述第二流路单元12以及所述第三流路 单元14和所述第四流路单元16在所述气体供给装置6和所述液体供 给装置8之间，通过螺丝等连接部件以常规方法予以连接固定。根据本发明一实施例的基板清洗装置还可包括固定销B。如图3及图4所示，所述固定销B贯通形成于薄板Ll、 L2、 L3 上的导槽的方向上插入并挂在气体装置6及液体供给装置8的一侧面。所述固定销B,不仅引导多个薄板L1、 L2、 L3结合时的位置，还 防止因清洗流体W的压力或外力导致结合位置改变的现象。
权利要求
1、一种基板清洗装置，其特征在于，包括清洗槽，其用于提供作业空间；气体供给装置，其位于所述清洗槽内部，且用于供给清洗气体；液体供给装置，其与所述气体供给装置相面对地结合，并且用于供给清洗液体；第一喷射装置，其在所述气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；第二喷射装置，其在所述第一喷射装置的多个第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。
2、 根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于所述气体供给装置及液体供给装置具备使清洗气体及清洗液体通 过的空间，且所述空间为长方体状箱体。
3、 根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第一 喷射装置包括第一流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第二流路 单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体通过 经所述第一流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起 混合喷射。
4、 根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于所述第 一流路单元及第二流路单元分别由形成有多个流路孔的多 个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述流路孔使两个流 路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗气体 和清洗液体的第一喷孔。
5、 根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述第二 喷射装置包括第三流路单元，其形成有用于喷射清洗气体的流路；和第四流路 单元，其形成有用于混合喷射的流路，而该流路可以使清洗液体被经 第三流路单元喷射的清洗气体的喷射压力吸入后，和气体一起混合喷射。
6、 根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于所述第三流路单元及第四流路单元分别由形成有多个流路孔的多 个薄板构成，当所述薄板相面对地结合时，通过所述多个流路孔使两 个流路区域的排出部以连通状态相连接，从而形成用于混合喷射清洗 气体和清洗液体的第二喷孔。
全文摘要
本发明涉及一种基板清洗装置，尤其涉及一种使用两种混合流体即气体及液体来清洗平板显示面板用基板时，在基板上均匀喷射清洗流体来进行清洗作业的基板清洗装置。本发明包括清洗槽，用于提供作业空间；气体供给装置，位于所述清洗槽内部，用于供给清洗气体；液体供给装置，与所述气体供给装置相面对地结合，用于供给清洗液体；第一喷射装置，在气体供给装置和液体供给装置之间形成长方体状流体喷射区域，并在所述流体喷射区域内相隔预定距离形成多个第一喷孔，所述第一喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路；第二喷射装置，在第一喷射装置的第一喷孔之间形成多个第二喷孔，所述第二喷孔具有用于混合喷射清洗气体和清洗液体的流路。
文档编号B08B3/02GK101214484SQ20071019473
公开日2008年7月9日 申请日期2007年11月29日 优先权日2007年1月4日
发明者金银洙 申请人:显示器生产服务株式会社