专利名称：一种刷子清洗方法及其清洗装置的制作方法
技术领域：
本发明属于清洗方法技术领域，尤其涉及一种刷子清洗方法及其清洗装置。
背景技术：
掩膜版清洗技术是掩膜版制造的关键技术，在清洗掩膜版过程时， 一般使
用刷子刷洗掩膜版上大于3微米的颗粒，其刷洗效果十分好。但刷子在使用一 段时间后，其本身会被污染，如果不对刷子进行及时清洗，那么它不但没有起 到刷洗掩膜版的作用，反而会污染掩膜版，使掩膜版无法清洗干净，因此，对 刷子进行清洗就显得尤为重要。现有技术中的清洗方法一般是将刷子浸泡在去 离子水中进行清洗，但使用这种方法也很难将刷子上的杂物清洗千净。
发明内容
本发明实施例的目的在于提供一种刷子清洗方法及其清洗装置，旨在解决 刷子上的杂物难以彻底清除的问题。
本发明实施例是这样实现的， 一种刷子清洗方法，包括以下步骤
① 向清洗槽中倒入50~ 100%的异丙醇清洗液，然后将刷子的刷毛完全浸 没于异丙醇清洗液中，刷柄固定在一电机输出轴上，由电机带动刷子旋转，使 用40KHZ的超声波清洗15-30分钟后将异丙醇清洗液i丈出；
② 向清洗槽内倒入去离子水，使刷子的刷毛完全浸没于去离子水中，然后 由电机带动刷子旋转，再使用40KHZ的超声波清洗10 20分钟，即可。
采用这种刷子清洗方法可以彻底去除刷子上的杂物，且刷子使用周期可以 达到2 — 3个月。 本发明实施例的另一目的在于提供一种刷子清洗装置，其包括一支架、一 清洗槽，所述清洗槽中还悬挂有一可充分舒展开所述刷子的刷毛的横杆。
这种清洗装置更利于对刷子进行清洗，可完全、有效去除刷子上的杂物。
图l是本发明实施例提供的刷子清洗装置示意图。
具体实施例方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实 施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅 仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参阅图l,本发明的刷子清洗方法可分为以下步骤
第一步向清洗槽4中倒入50- 100%的异丙醇清洗液，然后将刷子3的 刷毛32完全浸没于异丙醇清洗液中，刷柄31固定在一电机输出轴(图中未示 出)上，由电机带动刷子3旋转，使用40KHZ的超声波清洗15 ~ 30分钟后将 异丙醇清洗液方文出。
所述异丙醇清洗液为异丙醇和去离子水的混合液，该异丙醇清洗液有很好 的去脂能力，而且能4艮好的浸润刷毛32，当使用100%的异丙醇清洗液时其浸 润效果最好；由于刷毛32直径比较小(一般为几十微米)，且很密集，用一般 的清洗方法很难渗透进刷毛32之间的细缝中，而超声波有很好的渗透能力，故 采用超声波进行清洗；超声波频率之所以设定为40KHZ,是因为频率太小，穿 透力不够，频率太大，去除大颗粒能力下降。
第二步再向清洗槽4中倒入去离子水，使刷子3的刷毛32完全浸没于去 离子水，然后由电机带动刷子旋转，再使用40KHZ的超声波清洗10-20分钟， 即可。
由于所述异丙醇溶于去离子水，使用去离子水可以有效地去除刷子3上残
留的异丙醇溶液。如果需要使用刷子3,可以装上清洗机即可使用；如果不使 用，可以放在净化房内自然晾干，然后用洁净的塑料袋密封包装保存；通过这 种方法清洗的刷子3的使用周期可以达到2~3个月。
本发明实施例还提供了一种刷子清洗装置，其包括一支架l、 一清洗槽4， 所述清洗槽4中还悬挂有一横杆2,所述刷子3的刷毛32紧靠横杆2并向横杆 2下方延伸2 ~ 3mm。这样，所述刷毛32在横杆2的作用下可以充分舒展开， 有利于超声波进入刷毛32而彻底清洗。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发 明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明 的保护范围之内。
权利要求
1、一种刷子清洗方法，其特征在于包括下述步骤①向清洗槽中倒入50～100％的异丙醇清洗液，然后将刷子的刷毛完全浸没于异丙醇清洗液中，刷柄固定在一电机输出轴上，由电机带动刷子旋转，使用40KHZ的超声波清洗15～30分钟后将异丙醇清洗液放出；②向清洗槽内倒入去离子水，使刷子的刷毛完全浸没于去离子水中，然后由电机带动刷子旋转，再使用40KHZ的超声波清洗10～20分钟，即可。
2、 如权利要求1所述的刷子清洗方法，其特征在于所述异丙醇清洗液为 异丙醇和去离子水的混合液，且异丙醇的最佳浓度为100%。
3、 一种如权利要求1所述的刷子清洗方法所采用的清洗装置，其包括一支 架、 一清洗槽，其特征在于所述清洗槽中还悬挂有一可充分舒展开所述刷子 的刷毛的横杆。
4、 如权利要求4所述的清洗装置，其特征在于所述刷子的刷毛紧靠横杆 并向横杆下方延伸2 ~ 3mm。
全文摘要
本发明适用于清洗方法领域，提供了一种刷子清洗方法，该方法包括以下步骤①向清洗槽中倒入50～100％的异丙醇清洗液，然后将刷子的刷毛完全浸没于异丙醇清洗液中，由电机带动刷子旋转，使用40KHZ的超声波清洗15～30分钟后将异丙醇清洗液放出；②再向清洗槽内倒入去离子水，使刷子的刷毛完全浸没于去离子水中，然后由电机带动刷子旋转，再使用40KHZ的超声波清洗10～20分钟。本发明还提供了该清洗方法所使用的清洗装置，其包括一支架、一清洗槽，所述清洗槽中还悬挂有一可充分舒展开所述刷子的刷毛的横杆。本发明所采用的刷子清洗方法可以彻底去除刷子上的杂物，且刷子使用周期可以达到2～3个月。
文档编号B08B3/12GK101386009SQ20081021666
公开日2009年3月18日 申请日期2008年10月9日 优先权日2008年10月9日
发明者鄢红军 申请人:清溢精密光电(深圳)有限公司