专利名称：一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法
技术领域：
本发明涉及一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法。
背景技术：
0LED (有机发光显示器)是一种新型的显示器件，具有很多优异的显示 性能，目前发展很快。典型的OLED器件结构如图1所示。玻璃基板上设置有 IT0 (氧化铟锡)阳极，ITO阳极表面镀制有机发光层，在有机发光层表面上 再镀制上低功函数的阴极。在阳极和阴极上施加电压，空穴载流子从阳极注 入发光层，电子从阴极注入发光层，空穴载流子和电子在发光层复合产生激 子，激子退激发时辐射出可见光。
0LED显示器件发光层采用有机材料蒸镀的方法进行制作，如图2所示， 玻璃基板放置在金属荫罩上方，IT0阳极与金属荫罩相对贴合在一起，金属 荫罩是一张很薄的金属膜绷紧在金属框架上，金属膜厚度为数十微米，金属 框架和金属薄膜由温度膨胀系数与显示器件用的玻璃基板温度膨胀系数相近 的金属材料制成，金属框架一般为荫钢材料制成，金属薄膜可以采用镍或镍 铬合金，金属膜上有不开窗的部分和开窗的部分，开窗部分与基板上需要蒸 镀有机发光层的位置相对应，荫罩下方有坩埚，其中放置有发光材料，给坩 埚加热，有机发光材料即被蒸发，有机发光材料蒸汽透过荫罩上开窗部位最 终沉积在需要沉积发光层的地方。这种镀膜方式要求荫罩金属膜必须绷得很 紧，而且荫罩中间部分不能有下垂，否则有机发光材料将透过基板和金属荫 罩之间的空隙沉积在不需要的地方。
在生产过程中，进行一定数量产品的有机层蒸镀后，需要对金属荫罩进 行清洗，否则金属荫罩表面将沉积过多的有机物，这些过多的有机物会堵塞 金属荫罩上面的开窗，且在产生过程中有可能会发生脱落，对产品产生污染，使产品生产良率下降，造成产品生产成本上升和器件品质下降。因此需要对 金属荫罩进行清洗。
常规的金属荫罩清洗方法是:在进行一定数量产品的有机膜层蒸镀之后， 一般为数十片至一百片左右，将金属荫罩取下，浸泡在有机溶剂中，利用超 声波使有机膜层与金属荫罩脱离。由于金属荫罩上的开窗很小，常规的清洗 方式不易清洗干净，有机物的碎片易残留在金属荫罩的开窗内及金属薄膜和 金属框架之间的缝隙内。这些有机物的碎片很容易造成下次蒸镀的不良。
发明内容
本发明的目的是提供一种有机发光显示器生产用的金属荫罩的清洗方 法，通过臭氧和氧等离子处理，去除常规清洗方式容易造成的有机物细屑残 留，同时在荫罩使用前对金属荫罩进行镀金处理，提高金属荫罩在进行臭氧 处理和氧等离子处理的时候的耐氧化性能，提高金属荫罩的使用寿命。 为达到以上目的，本发明是采取如下技术方案予以实现的 一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，包括下述步骤
(1) 采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗 槽内，经过超声清洗10 30分钟，当金属荫罩开窗部分附着的有机物膜层溶 解和脱落后，取出金属荫罩；
(2) 将金属荫罩再浸入装有步骤(1)有机清洗溶剂的超声清洗槽内进行 二次清洗，经超声清洗10 30分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的 溶剂。
(3)将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至lKPa 以下，充入干燥空气或10 50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者 将金属荫罩放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，充入干燥空气或 10 50KPa的氧气，使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金 属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。
上述方法中，所述金属荫罩使用前进行镀金处理
首先将未使用过的金属荫罩浸入浓度为40%~50%的一乙醇胺或二乙醇胺水溶液的超声清洗槽内，超声清洗10至30分钟，然后换纯水进一步超声 清洗，取出千燥；
接着将经过清洗的金属荫罩浸入纳米铂胶体溶液中，金属荫罩表面与铂 胶体溶液完全接触后取出晾干；
将在纳米铂胶体溶液中处理过的金属荫罩浸入过氧化氢和氯化金混合溶 液中化学镀5 10分钟，在铂纳米微粒催化作用下，过氧化氢还原了氯化金； 将化学镀后的金属荫罩在100 25(TC温度下加热30分钟，增强镀膜的附着性。
本发明方法利用臭氧和氧等离子气体对清洗后的金属荫罩进行处理，臭 氧或氧离子可以渗透至金属薄膜与荫罩框架连接处的缝隙处，与残留的有机 物反应，将有机物氧化成为气体，彻底去除金属荫罩上残留的有机物，提高 产品良率。为了在清洗过程中金属薄膜被氧化引起强度下降，本发明方法可 在金属荫罩使用前进行预先镀金处理。镀金过程中使用的催化剂纳米铂胶体 是溶解有吸附了铂颗粒的高聚物的水溶液，其中2 10纳米大小的铂微粒具有 很强的催化剂活性，因此，在常温下即可完成镀金。
图1为OLED结构示意图。
图2为OLED有机物膜层蒸镀示意图。
图3为金属荫罩的平面示意图。
图1-图3中l为玻璃基板，2为IT0阳极，3为有机物发光层，4为阴 极，5为金属荫罩框架，6为荫罩不开窗的部分，7为荫罩开窗部分，8为装 载有机材物料并对其进行加热的坩埚，9为装载在坩埚8内的有机物材料， 10为蒸发出来的有机物材料蒸汽。
图4为金属荫罩的立体示意图。
具体实施例方式
下面结合实施例对本发明作进一步详细说明 实施例l金属荫罩的用后清洗-
金属荫罩经过一段时间的使用后，有机物膜层在荫罩表面和金属薄膜开窗
部分7内壁上沉积达到一定的厚度，将会影响到金属荫罩的正常使用，这时 候，需要将金属荫罩取下，进行有机物膜层的清理。
首先，采用常规方法，浸入装有专用有机清洗溶剂如氟里昂的超声清洗槽 内，也可以根据OLED器件蒸镀所使用的有机物选取相应的清洗溶剂，如东京 应化公司相应的系列产品，效果更好。经过超声清洗10 30分钟，当金属荫 罩开窗部分7附着的有机物膜层溶解和脱落后，取出金属荫罩。
然后，将金属荫罩再浸入装有氟里昂的超声清洗槽内进行二次清洗，经超 声清洗10 30分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。
再后，将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至lKPa 以下，充入干燥空气或10 50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者 将金属荫罩放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，充入干燥空气或 10~50KPa的氧气，使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子；臭氧或氧离 子可以渗透至金属薄膜与荫罩框架5连接处的缝隙处，与残留的有机物反应， 将有机物氧化成为气体，彻底去除金属荫罩上残留的有机物。反应式如下
03 + HxCyOz — 02 + H20 + C02 02+ + 2e+ HXCA — 02 + H20 + C02 处理5 10分钟，即可再次使用。 实施例2
金属荫罩镀金处理
首先进行清洗，目的是提高镀膜的结合强度和膜层的致密性。方法是将
未使用过的金属荫罩先放入浓度为40%~50%—乙醇胺或二乙醇胺水溶液中， 加超声清洗10至30分钟，然后用纯水加超声进一步清洗，清洗完成后干燥。 接着将经过清洗的金属荫罩浸入纳米铂胶体溶液中，纳米铂胶体是溶解 有吸附了 2~10纳米大小的铂颗粒的高聚物的水溶液，具体配制方法为将纳 米铂粉未与羟乙基纤维素按重量比1: 1~1: 5的比例，加入浓度为1%~5% 的羟乙基纤维素的水溶液中，室温下，搅拌1 2小时，金属荫罩表面与钼胶体溶液完全接触后取出晾干。 将在纳米铂胶体溶液中处理过的金属荫罩浸入过氧化氢和氯化金混合溶液
中，时间5 10分钟，在铂纳米微粒催化剂作用下，过氧化氢还原了氯化金。 过氧化氢和氯化金混合液的配制方法如下称取1克AuCl，3HCMH20，溶 于500ml纯水中，然后加入10克浓度为30%的过氧化氢溶液，充分搅拌至 氯化金晶体溶解完全。
作为催化剂使用的铂纳米微粒具有很强的催化剂活性，在常温下即可完 成电镀。电镀后在100 250'C温度下加热约30分钟，增强镀膜的附着性。 电镀的反应式如下
2HAuCl4+3H202—2Au+302+8HCl 。 本实施例镀铂金荫罩使用后的清洗方法同实施例1。
权利要求
1. 一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其特征在于，包括下述步骤(1)采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内，经过超声清洗10～30分钟，当金属荫罩开窗部分附着的有机物膜层溶解和脱落后，取出金属荫罩；(2)将金属荫罩再浸入装有步骤(1)有机清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次清洗，经超声清洗10～30分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。(3)将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至1KPa以下，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者将金属荫罩放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。
2、 如权利要求1所述的有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其 特征在于，所述金属荫罩使用前进行镀金处理首先将未使用过的金属荫罩浸入浓度为40°/。 50%的一乙醇胺或二乙醇 胺水溶液的超声清洗槽内，超声清洗10至30分钟，然后换纯水进一步超声 清洗，取出干燥；接着将经过清洗的金属荫罩浸入纳米铂胶体溶液中，金属荫罩表面与铂 胶体溶液完全接触后取出晾干；将在纳米铂胶体溶液中处理过的金属荫罩浸入过氧化氢和氯化金混合溶 液中化学镀5 10分钟，在铂纳米微粒催化作用下，过氧化氢还原了氯化金。
3、 如权利要求2所述的有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其 特征在于，所述纳米铂胶体溶液为将纳米铂粉未与羟乙基纤维素按重量比l: 1~1: 5的比例，加入浓度为1°/『5%的羟乙基纤维素的水溶液中，室温下搅拌 1~2小时。
4、 如权利要求2所述的有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其特征在于，所述过氧化氢和氯化金混合液的配制方法如下称取1克Au03HC1.4H20，溶于500ml纯水中，然后加入10克浓度为30%的过氧化 氢溶液，充分搅拌至氯化金晶体溶解完全。
5、 如权利要求2所述的有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其 特征在于，将化学镀后的金属荫罩在100 25(TC温度下加热30分钟，增强 镀膜的附着性。
全文摘要
本发明公开了一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，首先，采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内超声清洗，然后将金属荫罩再浸入装有清洁清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次超声清洗，取出用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，或者放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，抽真空至1KPa以下，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧，或使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。
文档编号B08B7/04GK101433902SQ20081023277
公开日2009年5月20日 申请日期2008年12月11日 优先权日2008年12月11日
发明者唐李晟 申请人:彩虹集团公司