专利名称：清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置。
背景技术：
一般，在液晶显示面板、半导体器件等的制造中，对液晶显示面板、玻璃基板、晶片基板等被处理体进行成膜处理、蚀刻处理，所以当颗粒物等尘埃附着于该被处理体的表面时，这成为产品面板、产品芯片不良的原因。因此，使用将附着于被处理体的表面的尘埃除去的尘埃除去装置。例如，作为气体抽吸型的尘埃除去装置，已知具备保持被处理体的保持台和圆筒状的吸入嘴的装置(例如，参照专利文献1)。这种尘埃除去装置的吸入嘴的排气口通过配管和尘埃收纳部等与真空泵等负压单元连结，通过该负压单元的驱动，产生被吸入到接近被处理体的吸入嘴的吸入口内的抽吸气流，吸入被处理体表面的尘埃并将其除去。现有技术文献专利文献专利文献1 特开平5-156033号公报
发明内容
发明要解决的问题在如上述的通过抽吸除去尘埃的尘埃除去装置中，为了使被处理体表面的尘埃漂浮而从吸入嘴吸入到尘埃收纳部，需要大的抽吸力。因此，当负压单元的抽吸力小而不充分时，被处理体表面上的尘埃的除去性能变低。但是，当将抽吸力大的真空泵用作负压单元时，装置成本变高。本发明是鉴于这样的方面而完成的，其主要目的在于即使是小的抽吸力也使被处理体表面中的尘埃的除去性能提高。用于解决问题的方案为了达成上述目的，本发明是在吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获尘埃的粘附层。具体地，第1至第6发明将清扫嘴作为对象，讲述如下技术方案，该清扫嘴具备吸入嘴，该吸入嘴在内部具有气体流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排气口，利用从上述吸入口吸入并从上述排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离。S卩，第1发明的特征在于，在上述吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获上述尘埃的粘附层。第2发明的特征在于，在第1发明的清扫嘴中，还具备整流单元，该整流单元使上述抽吸气流呈螺旋状地沿着上述吸入嘴内面。第3发明的特征在于，在第2发明的清扫嘴中，上述整流单元是在顶端形成有喷出压缩气体的喷出口的喷出嘴，上述喷出口的压缩气体喷出方向的朝向相对于该吸入嘴内面设定成使压缩气体沿着上述吸入嘴内面。第4发明的特征在于，在第1至第3发明中的任一项的清扫嘴中，上述气体流路以流路面积从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐变窄的方式越往里越窄地形成。第5发明的特征在于，在第4发明的清扫嘴中，上述气体流路形成为流路直径从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐地缩小的圆锥台形状。第6发明的特征在于，在第1至第5发明中的任一项的清扫嘴中，上述粘附层包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。另外，第7发明涉及具备设为上述对象的清扫嘴的尘埃除去装置，其特征在于，具备第1至第6发明中的任一项的清扫嘴；负压单元，其通过配管连接到上述吸入嘴的排气口，通过驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态；以及保持台，其保持被处理体，上述尘埃除去装置构成为在使上述吸入嘴的吸入口与保持于上述保持台的被处理体对应的状态下，通过上述负压单元的驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态而产生抽吸气流，利用上述抽吸气流使附着于上述被处理体的表面的尘埃脱离，使该尘埃附着于吸入嘴内面的粘附层而捕获该尘埃。一作用一 接着，对本发明的作用进行说明。根据第1至第6发明，从被处理体脱离的尘埃被吸入到吸入嘴的内部并附着于吸入嘴内面的粘附层而被捕获。因此，与从吸入嘴将尘埃吸入到收纳部的情况相比，不必以大的抽吸力吸入尘埃。因此，即使是小的抽吸力也能使被处理体表面上的尘埃的除去性能提
尚ο根据第2发明，在吸入被处理体表面的尘埃的情况下，利用整流单元以抽吸气流呈螺旋状地沿着吸入嘴内面的方式整流。由此，在抽吸气流为从吸入口侧朝向排气口侧的直线状的情况下仅抽吸气流的一部分沿着吸入嘴内面，与此相对，抽吸气流的大部分沿着吸入嘴内面，并且沿着吸入嘴内面的距离变长了抽吸气流旋转的量。据此，呈螺旋状地被卷起的尘埃与抽吸气流一起被吸入嘴内面的粘附层有效地捕获，被处理体表面的尘埃良好地被除去。根据第3发明，在吸入被处理体表面的尘埃的情况下，利用喷出嘴以使其沿着吸入嘴内面的方式喷出压缩气体，由此吸入嘴的内部的抽吸气流以呈螺旋状地沿着吸入嘴内面的方式被整流。因此，即使这样由喷出嘴构成整流单元，也能使抽吸气流呈螺旋状地沿着吸入嘴内面，具体地起到第2发明的作用效果。而且，在用喷出嘴构成整流单元的情况下，例如能以将喷出嘴从吸入嘴的外部侧方插入到内部等简单的构成实现整流单元，因此能简化清扫嘴的构成。根据第4发明，气体流路越往里越窄地形成，因此排气口侧(下游侧)的抽吸气流的流速比吸入口侧(上游侧)升高。由此，利用整流单元容易使抽吸气流呈螺旋状地沿着吸入嘴内面，并且利用伴随着朝向排气口侧升高的流速而增加的抽吸气流的旋转力，卷起的尘埃被推压向吸入嘴内面侧，因此能使吸入嘴内面的粘附层可靠地捕获尘埃。根据第5发明，气体流路形成为圆锥台形状，因此与该气体流路形成为三棱锥台形状、四棱锥台形状等其它形状的情况相比，能利用整流单元在不产生紊流的情况下使抽吸气流容易呈螺旋状地沿着吸入嘴内面，能使吸入嘴内面的粘附层更进一步可靠地捕获尘埃。根据第6发明，硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料是一般的粘附材料，因此能利用例如双面胶带的粘附、刷子的涂敷等简单地在吸入嘴内面设置粘附层。根据第7发明，利用抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离并被吸入嘴内面的粘附层捕获，因此不需要对利用吸入嘴吸入的尘埃进行收纳的尘埃收纳部。因此，能简化尘埃除去装置的构成。而且，因为抽吸除去的尘埃被吸入嘴的内部捕获，所以能利用吸入嘴、粘附层的更换简单地进行尘埃除去装置的维修。发明效果根据本发明，因为在吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获尘埃的粘附层，所以即使小的抽吸力也能使被处理体表面上的尘埃的除去性能提高。其结果是能抑制装置成本的上升，并且能良好地除去被处理体表面的尘埃，抑制由于尘埃残留而引起的产品不良的产生。
图1是概略地示出实施方式的尘埃除去装置的立体图。图2是概略地示出针对大面积的被处理体的尘埃除去处理的立体图。图3是概略地示出针对小面积的被处理体的尘埃除去处理的立体图。图4是概略地示出变形例1的吸入嘴的立体图。图5是概略地示出变形例2的吸入嘴的立体图。图6是概略地示出变形例的尘埃除去装置的立体图。
具体实施例方式下面，基于附图详细说明本发明的实施方式。此外，本发明并不限于下面的实施方式。《发明的实施方式》图1是概略地示出本发明的实施方式的尘埃除去装置A的立体图。此外，在图1 中，图示了将面积比尘埃除去装置A中的清扫嘴10的吸入口 Ila大的被处理体1载置于保持台23上的情况。本实施方式的尘埃除去装置A例如用于除去附着于液晶显示面板、玻璃基板、晶片等半导体基板、或者芯片等被处理体的表面的颗粒物等尘埃。<尘埃除去装置A的概略构成>如图1所示，尘埃除去装置A具备清扫嘴10，其具有从顶端吸入附着于被处理体 1的表面的尘埃的吸入嘴11 ；作为负压单元的真空泵22，其通过排气管(配管)20连接到吸入嘴11的后端；以及保持台23，其保持被处理体1。<清扫嘴10的构成>清扫嘴10包括吸入嘴11和作为整流单元的喷出嘴15，喷出嘴15在吸入嘴11的顶端侧从外部侧方贯穿侧壁而插入到内部。
吸入嘴11在内部具有气体流路12，在顶端形成有吸入口 11a，并且在后端形成有排气口 11b，吸入嘴11构成为利用通过真空泵22的驱动而产生的从吸入口 Ila吸入并从排气口 lib排出的抽吸气流使被处理体1表面的尘埃脱离。该吸入嘴11形成为直径从顶端朝向后端逐渐地缩小的圆锥台形的筒状。模仿该吸入嘴11的形状，气体流路12也形成为直径从吸入口 Ila朝向排气口 lib逐渐地缩小的圆锥台形状，流路面积以随着朝向抽吸方向而逐渐变窄的方式越往里越窄。并且，在吸入嘴11内面的吸入口 Ila侧下半部分，遍及全周设有用于捕获尘埃的粘附层13(图1中用粗虚线示出)。该粘附层13例如包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料，能通过双面胶带的粘附、刷子的涂敷等简单地设于吸入嘴11的内面。喷出嘴15在内部具有气体流路16，在配置于吸入嘴11的内部的顶端形成有气体喷出口 15a，并且在后端形成有气体导入口 15b。气体导入口 1 通过气体供应管17连接到氧气瓶等气体供应部18。气体喷出口 1 喷出通过气体供应部18的驱动从气体导入口 1 被导入的压缩气体(例如，氩、氮等惰性气体、或者压缩空气等)。该气体喷出口 1 与沿着吸入嘴11的内周的方向(即绕吸入嘴11的中心轴沿着吸入嘴11内面的弯曲的方向) 面对地在吸入嘴11的排气口 lib侧有些倾斜，以使喷出的压缩气体沿着吸入嘴11内面的方式设定压缩气体喷出方向。当进行吸入嘴11的抽吸动作时驱动该喷出嘴15，由此能使抽吸气流呈螺旋状地沿着吸入嘴11的内面。〈真空泵22的构成〉真空泵22构成为通过驱动，将吸入嘴11的内部(气体流路12)与排气管20 — 起设为负压状态。该真空泵22能例如使用机械增压泵、回转泵等一般的真空泵。〈保持台23的构成〉保持台23具备未图示的旋转移动机构、升降移动机构以及水平移动机构，构成为使载置于上面的被处理体1相对于配置于上方的清扫嘴10能相对移动。另外，在保持台 23的上面形成有未图示的多个吸附口，与这些各吸附口相连的贯穿孔和真空泵等真空抽吸单元连接。并且，保持台23构成为通过真空抽吸单元的驱动，对载置的被处理体1进行吸附保持。一尘埃除去方法一接着，一边参照图2和图3 —边列举一例来说明使用上述尘埃除去装置A将附着于被处理体1、2的表面的尘埃除去的方法。图2是概略地示出针对面积比吸入嘴11的吸入口 Ila大的被处理体1的尘埃除去处理的立体图，图3是概略地示出针对面积比吸入嘴 11的吸入口 Ila小的被处理体2的尘埃除去处理的立体图。此外，图2和图3中的箭头示出气流的流动方向。<针对面积比吸入口 1 Ia大的被处理体1的尘埃除去处理>在针对大面积的被处理体1进行尘埃除去处理的情况下，使被处理体1和清扫嘴 10相对移动，由吸入嘴11的顶端(吸入口 Ila)扫描被处理体1的表面，由此将被处理体1 整个面的尘埃抽吸除去。首先，如图1所示，在利用搬运机器人等将被处理体1载置于保持台23上后，驱动连接到该保持台23的真空抽吸单元，由此从各吸附口喷出保持台23与被处理体1之间的空气，使被处理体1吸附保持于保持台23表面。
接着，驱动旋转移动机构、升降移动机构以及水平移动机构，由此以清扫嘴10(吸入嘴11)配置于被处理体1表面的扫描开始位置的方式、且以吸入嘴11顶端和被处理体1 表面的分开距离h成为3mm程度的方式使保持台23移动。接着，驱动通过排气管20连接到吸入嘴11的后端(排气口 lib)的真空泵22，由此将吸入嘴11的内部(气体流路12)设为负压状态，产生将大气吸入到吸入口 Ila内的抽吸力。伴随于此，驱动通过气体供应管17连接到喷出嘴15的后端(气体导入口 15b)的气体供应部18，由此从喷出嘴15的顶端(气体喷出口 15a)喷出压缩气体。由此，如图2所示，吸入嘴11的内部的抽吸气流19以呈螺旋状地沿着嘴内面的方式被整流。此时，在本实施方式中，气体流路12越往里越窄地形成为圆锥台形状，所以抽吸气流19不会遍及从吸入口 Ila直至排气口 lib的整体发生紊乱地被整流。这样，分别驱动真空泵22和气体供应部18，由此利用在吸入嘴11中产生的抽吸力将附着于被处理体1表面的尘埃5与大气一起吸入到吸入口 Ila内。被吸入的尘埃5伴随抽吸气流19以沿着吸入嘴11内面的方式向排气口 lib侧呈螺旋状地被卷起，在其途中被粘附层13捕获。而且，在使吸入嘴11持续进行抽吸动作的状态下，驱动旋转移动机构和水平移动机构，使保持台23移动，从而使得该吸入嘴11的顶端一边保持分开距离h —边扫描被处理体1的整个面，由此将附着于被处理体1的整个面的尘埃5抽吸除去。然后，将保持台23 的各吸附口对被处理体1的吸附解除，由此从保持台23表面分离被处理体1，结束针对该被处理体1的尘埃除去处理。<针对面积比吸入口 1 Ia小的被处理体2的尘埃除去处理>在针对小面积的被处理体2进行尘埃除去处理的情况下，用吸入嘴11覆盖被处理体2将被处理体2表面的尘埃5抽吸除去。首先，与对大面积的被处理体1进行尘埃除去处理的情况同样，使被处理体2吸附保持于保持台23的上面。接着，驱动旋转移动机构、升降移动机构以及水平移动机构，由此如图3所示，以吸入口 Ila与保持台23表面接触的方式使吸入嘴11盖上被处理体2。并且，通过分别驱动真空泵22和气体供应部18，使吸入嘴11产生抽吸力，并且在该吸入嘴11的内部产生呈螺旋状地沿着嘴内面的抽吸气流19。由此，附着于被处理体2表面的尘埃5被抽吸气流19吹飞而飞舞，与抽吸气流19 一起向排气口 lib呈螺旋状地沿着吸入嘴11内面被卷起，在其途中被粘附层13捕获。然后，与对大面积的被处理体1进行尘埃除去处理的情况同样，从保持台23分离被处理体2，结束针对该被处理体2的尘埃除去处理。如上所述，能利用尘埃除去装置A将被处理体1、2表面的尘埃5抽吸除去。一实施方式的效果一因此，根据具备该实施方式的清扫嘴10的尘埃除去装置A，在吸入嘴11内面的下半部分设有用于捕获尘埃5的粘附层13，由此能利用粘附层13在吸入嘴11内面捕获通过抽吸气流19从吸入口 Ila吸入的尘埃5。特别是，在该实施方式中，在吸入被处理体1、2表面的尘埃5的情况下，抽吸气流 19利用喷出嘴以呈螺旋状地沿着吸入嘴11内面的方式被整流。由此，在抽吸气流19为从吸入口 Ila侧朝向排气口 lib侧的直线状的情况下仅抽吸气流的一部分沿着吸入嘴11内面，与此相对，抽吸气流19的大部分沿着吸入嘴11内面，并且沿着吸入嘴11内面的距离变长了抽吸气流19旋转的量。而且，气体流路12越往里越窄地形成为圆锥台形状，因此排气口 lib侧(下游侧) 的抽吸气流19的流速比吸入口 Ila侧(上游侧)升高，由此，利用伴随着朝向抽吸气流19 的流速而增加的抽吸气流19的旋转力，卷起的尘埃5被推压向吸入嘴11内面侧。综上，能使呈螺旋状地被卷起的尘埃5与抽吸气流19 一起被吸入嘴11内面的粘附层有效地捕获。因此，即使是小的抽吸力也能使被处理体1、2表面上的尘埃5的除去性能提高。其结果是可以不将抽吸力大的真空泵设为负压单元，能抑制装置成本的上升，并且能良好地除去被处理体1、2表面的尘埃5，抑制由于尘埃5残留而引起的产品不良的产生。另外，抽吸除去的尘埃5被吸入嘴11的内部捕获，所以不需要对利用吸入嘴11吸入的尘埃5进行收纳的尘埃收纳部，能简化尘埃除去装置A的构成。并且，能利用吸入嘴 11、粘附层13的更换来简单地进行尘埃除去装置A的维修。此外，在本实施方式中，设为在吸入嘴11内面的下半部分设有粘附层13，但本发明不限于此。图4和图5是分别概略地示出本实施方式的变形例的吸入嘴11的立体图。如图4所示，粘附层13可以在吸入嘴11内面隔开间隔地遍及全周设置成顶端部(吸入口 Ila 侧部分)和中途部，如图5所示，可以在吸入嘴11内面设置成从吸入口 Ila沿着母线延伸到排气口 lib的带状。另外，粘附层13可以设于吸入嘴11内面的整体。另外，在本实施方式中，利用1个喷出嘴15构成使抽吸气流19呈螺旋状地沿着吸入嘴11内面的整流单元，但喷出嘴15可以设置多个。如果以多个喷出嘴15构成整流单元， 能使抽吸气流19更可靠地呈螺旋状地沿着吸入嘴11内面，使抽吸气流19的旋转力增大， 更可靠地吹飞小面积的被处理体2表面的尘埃5。另外，设为吸入嘴11的气体流路12形成为圆锥台形状，但吸入嘴11的气体流路 12可以以流路面积的一部分朝向抽吸方向逐渐变窄的方式越往里越窄地形成，例如，顶端部形成为流路直径从吸入口 Ila朝向排气口 lib侧缩小的圆锥台形状，并且后端侧的其它部形成为等径的筒状等。并且，在该情况下，优选在气体流路12越往里越窄地形成的吸入嘴11部分的内面设有粘附层13，并设有使抽吸气流19呈螺旋状地沿着该吸入嘴11部分的内面的喷出嘴15等整流单元。如果这样构成，则与上述实施方式同样，能将被处理体1、 2表面的尘埃5以沿着越往里越窄地形成的吸入嘴11部分的内面的方式与抽吸气流19 一起呈螺旋状地卷起，利用粘附层13有效地捕获。另外，除上述之外，吸入嘴11的气体流路12可以形成为遍及从吸入口 Ila直至排气口 lib的整体的流路直径为等径的筒状，能采用种种形状，只要构成为能利用粘附层13 捕获被吸入到吸入嘴11内部的尘埃5即可。另外，在本实施方式中，设为能利用保持台的旋转移动机构、升降移动机构、水平移动机构使载置于保持台23的被处理体1、2相对于清扫嘴10移动，但可以使被处理体 1、2固定而清扫嘴10移动、或者被处理体1、2和清扫嘴10两者可移动，只要构成为这两者能相互相对地移动即可。另外，在本实施方式中，列举设有对利用吸入嘴11吸入的尘埃5进行收纳的尘埃收纳部的情况为例进行了说明，但本发明不限于此，如图6所示，为防备万一从吸入嘴11通过排气管20吸入尘埃5的情况，可以在真空泵22与排气管20之间预先设有尘埃收纳部 21。尘埃收纳部21例如在内部设有未图示的过滤器，相对于连接着排气管20的导入口在通过过滤器的部位连接着真空泵。并且，该尘埃回收部21构成为利用过滤器过滤从吸入嘴11通过排气管20吸入的尘埃并使其收纳于内部。工业上的可利用件如上所述，本发明对于清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置有用，特别是适合于即使是小的抽吸力也有望使被处理体表面上的尘埃的除去性能提高的清扫嘴和具备该清扫嘴的尘埃除去装置。附图标记说明S 尘埃除去装置1、2被处理体5 尘埃10 清扫嘴11 吸入嘴Ila 吸入口lib 排气口12 气体流路13 粘附层15 喷出嘴(整流单元)15a 喷出口19 抽吸气流20 排气管(配管)22 真空泵(负压单元)23 保持台
权利要求
1.一种清扫嘴，其特征在于，具备吸入嘴，该吸入嘴在内部具有气体流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排气口，利用从上述吸入口吸入并从上述排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离，在上述吸入嘴内面的至少一部分设有用于捕获上述尘埃的粘附层。
2.根据权利要求1所述的清扫嘴，其特征在于，还具备整流单元，该整流单元使上述抽吸气流呈螺旋状地沿着上述吸入嘴内面。
3.根据权利要求2所述的清扫嘴，其特征在于，上述整流单元是在顶端形成有喷出压缩气体的喷出口的喷出嘴，上述喷出口的压缩气体喷出方向的朝向相对于该吸入嘴内面设定成使压缩气体沿着上述吸入嘴内面。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的清扫嘴，其特征在于，上述气体流路以流路面积从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐变窄的方式越往里越窄地形成。
5.根据权利要求4所述的清扫嘴，其特征在于，上述气体流路形成为流路直径从上述吸入口侧朝向上述排气口侧逐渐地缩小的圆锥台形状。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的清扫嘴，其特征在于，上述粘附层包含硅酮系粘附材料或者丙烯酸系粘附材料。
7.一种尘埃除去装置，其特征在于，具备权利要求1至6中的任一项所述的清扫嘴；负压单元，其通过配管连接到上述吸入嘴的排气口，通过驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态；以及保持台，其保持被处理体，上述尘埃除去装置构成为在使上述吸入嘴的吸入口与保持于上述保持台的被处理体对应的状态下，通过上述负压单元的驱动使上述吸入嘴的内部成为负压状态而产生抽吸气流，利用上述抽吸气流使附着于上述被处理体的表面的尘埃脱离，使该尘埃附着于吸入嘴内面的粘附层而捕获该尘埃。
全文摘要
一种清扫嘴，其具备吸入嘴，该吸入嘴在内部具有气体流路，且在一端形成有吸入口，并且在另一端形成有排气口，利用从吸入口吸入并从排气口排出的抽吸气流使附着于被处理体的表面的尘埃脱离，在吸入嘴内面的一部分设有用于捕获尘埃的粘附层。
文档编号B08B5/04GK102548673SQ20108004385
公开日2012年7月4日 申请日期2010年9月21日 优先权日2009年10月2日
发明者安田忠睦, 田村保则 申请人:夏普株式会社