一种线锯切割机及其过滤网装置的制作方法

文档序号:1980876阅读:237来源:国知局
专利名称:一种线锯切割机及其过滤网装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及硅块切割技术领域,更具体地说,涉及一种线锯切割机的过滤网装置,本实用新型还涉及ー种具有上述过滤网装置的线锯切割机。
背景技术
线锯切割机是ー种将多晶或单晶硅块切割成硅片的エ业设备,此机床利用钢线网携帯切割液对晶棒进行切割,可以切割成160-200um的硅片。目前,主要应用的切割液为浆料,浆料是由聚こニ醇和SiC(碳化硅)成一定比例 调配而成,SiC是非常坚硬的不规则微小颗粒,聚こニ醇是高分子有机物质,可以保证SIC更多的附着在钢线上,切割过程中浆料中的SIC在钢线携帯下可以对晶棒进行切割,浆料在线锯切割机设备内部循环使用。由于在线锯切割机的切割过程中会产生大量热量,此热量会使浆料的温度升高,为了保持浆料的切割性能,必须利用热交換器对浆料进行降温,使浆料从热交換器的管内通过,利用热交換器四周的冷水对其进行冷却。在线锯切割机的切割过程中,由于多(単)晶硅为坚硬的脆性材料,其难免会产生切割碎片,而且也有未清理干净的被剪断的碎钢线留在切割室内,所以浆料在经过切割室时,需要利用过滤网装置过滤掉其携帯的碎片和碎钢线。目前,现有技术中的过滤网装置由三块滤网拼接而成,在其过滤的过程中,碎片会沉积在该滤网上,所以滤网需要经常拿出来清洗,但是清洗过程中由于操作人员的操作不当,这些碎片在拿出的过程中可能会掉入切割室的底部,并最终进入热交換器,进而导致一些碎片掺杂在浆料里,当浆料在设备内部循环时,极易堵塞回砂热交換器,造成回砂流量低,使浆料不能及时回流,影响其冷却质量和设备的正常切割,进而对硅片的切割质量产生影响,严重时可能造成硅片合格率低于50%。综上所述,如何提供一种线锯切割机的过滤网装置,以减少在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量,是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种线锯切割机的过滤网装置,以减少在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量。为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案一种线锯切割机的过滤网装置,包括由三块滤网拼接而成的第一层过滤网,该过滤网装置还包括设置在该线锯切割机的切割室的排料ロ处并位于所述第一层过滤网下方的第二层过滤网,所述第二层过滤网的边缘与切割室的排料ロ的内壁相贴合,且所述第二层过滤网的滤网孔径大于所述第一层过滤网的滤网孔径。优选的,上述线锯切割机的过滤网装置中,所述第二层过滤网的滤网孔径为
2.5-3mm 之间。优选的,上述线锯切割机的过滤网装置中,所述第二层过滤网呈五边形。[0012]优选的,上述线锯切割机的过滤网装置中,所述第二层过滤网通过螺栓设置在所述切割室的外底面上。本实用新型还提供了一种线锯切割机,包括过滤网装置,所述过滤网装置为上述任意一项所述的线锯切割机的过滤网装置。本实用新型提供的线锯切割机的过滤网装置中,包括由三块滤网拼接而成的第一层过滤网,该过滤网装置还包括设置在该线锯切割机的切割室的排料ロ处并位于所述第一层过滤网下方的第二层过滤网,所述第二层过滤网的边缘与切割室的排料ロ的内壁相贴合,且所述第二层过滤网的滤网孔径大于所述第一层过滤网的滤网孔径。在该过滤网装置对浆料中的碎片进行过滤时,碎片会沉积在所述第一层过滤网上,所以所述第一层过滤网需要经常拿出来清洗,在清洗所述第一层过滤网的过程中当操作人员的操作不当碎片在拿出的过程中可能会掉入切割室,此时由于所述第二层过滤网的存在,減少了在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图I是本实用新型实施例提供的线锯切割机的过滤网装置的部分结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例提供了一种线锯切割机的过滤网装置,減少了在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量。为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请參考附图1,图I是本实用新型实施例提供的线锯切割机的过滤网装置的部分结构示意图。本实用新型实施例提供的线锯切割机的过滤网装置中,包括由三块滤网拼接而成的第一层过滤网,该过滤网装置还包括设置在该线锯切割机的切割室的排料ロ处并位于所述第一层过滤网下方的第二层过滤网1,所述第二层过滤网I的边缘与切割室的排料ロ的内壁相贴合,且所述第二层过滤网I的滤网孔径2大于所述第一层过滤网的滤网孔径。在该过滤网装置对浆料中的碎片进行过滤时,碎片会沉积在所述第一层过滤网上,所以所述第一层过滤网需要经常拿出来清洗,在清洗所述第一层过滤网的过程中当操作人员的操作不当碎片在拿出的过程中可能会掉入切割室,此时由于所述第二层过滤网I的存在,減少了在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量。其次,为了不影响浆料所述第二层过滤网I可以有效过滤掉大的碎片,而ー些小的碎片可以通过热交換器,这样就避免了堵塞热交換器,所述第二层过滤网I还具有二次过滤的作用。由于浆料仅靠重力流入中转缸,如果加装多层滤网会导致浆料流出不畅,大量淤积在切割室,所以本实用新型实施例的过滤网装置只具有两层滤网,为了避免浆料大量淤积在切割室,所述第二层过滤网I的滤网孔径2大于所述第一层过滤网的滤网孔径。具体的,根据实际切割过程中浆料的颗粒大小,所述第二层过滤网I的滤网孔径2为2. 5-3mm之间。优选的,上述线锯切割机的过滤网装置,所述第二层过滤网I呈五边形,当然,所述第二层过滤网I还可以为其他的形状,只要能实现其边缘与切割室的排料ロ的内壁相贴合均可。具体的,上述过滤网装置中,所述第二层过滤网I通过螺栓设置在所述切割室的外底面上。本实用新型实施例还提供了一种线锯切割机,包括过滤网装置,所述过滤网装置为上述任意一项所述的线锯切割机的过滤网装置。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种线锯切割机的过滤网装置,包括由三块滤网拼接而成的第一层过滤网,其特征在于,该过滤网装置还包括设置在该线锯切割机的切割室的排料ロ处并位于所述第一层过滤网下方的第二层过滤网(1),所述第二层过滤网(I)的边缘与切割室的排料ロ的内壁相贴合,且所述第二层过滤网(I)的滤网孔径(2)大于所述第一层过滤网的滤网孔径。
2.根据权利要求I所述的线锯切割机的过滤网装置,其特征在于,所述第二层过滤网(I)的滤网孔径⑵为2. 5-3mm之间。
3.根据权利要求2所述的线锯切割机的过滤网装置,其特征在干,所述第二层过滤网(I)呈五边形。
4.根据权利要求I所述的线锯切割机的过滤网装置,其特征在于,所述第二层过滤网(I)通过螺栓设置在所述切割室的外底面上。
5.一种线锯切割机,包括过滤网装置,其特征在于,所述过滤网装置为上述权利要求1-4中任意一项所述的线锯切割机的过滤网装置。
专利摘要本实用新型提供了一种线锯切割机的过滤网装置,包括由三块滤网拼接而成的第一层过滤网,该过滤网装置还包括设置在该线锯切割机的切割室的排料口处并位于所述第一层过滤网下方的第二层过滤网(1),所述第二层过滤网(1)的边缘与切割室的排料口的内壁相贴合,且所述第二层过滤网(1)的滤网孔径(2)大于所述第一层过滤网的滤网孔径。在该过滤网装置对浆料中的碎片进行过滤时,碎片会沉积在所述第一层过滤网上,所以所述第一层过滤网需要经常拿出来清洗,在清洗所述第一层过滤网的过程中当操作人员的操作不当碎片在拿出的过程中可能会掉入切割室,此时由于所述第二层过滤网(1)的存在,减少了在清洗滤网的过程中掉入切割室的碎片量。本实用新型还提供了一种线锯切割机。
文档编号B28D5/04GK202412491SQ20112057469
公开日2012年9月5日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者任炜, 李苏杰 申请人:保定天威英利新能源有限公司
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