一种配向膜在线修补设备及其在线修复方法
【专利摘要】本发明公开了一种配向膜在线修补设备及其在线修补方法，包括复检镜头、配向液滴下头、预固化机构，上导轨、下导轨和传送装置，上导轨和下导轨分别设置在与传送装置的传送平面平行的上平面和下平面且与传送装置的传送方向垂直，复检镜头和配向液滴下头相互连接并沿上导轨滑动，预固化机构沿下导轨滑动；本发明可避免涂覆异常的基板直接报废的情况，可对其进行修补以有效提升产品良率，降低制造成本；同时配向液滴下头可根据异常区域大小自动计算所需的配向膜量，保证修补后成膜厚度与基板上正常区域厚度相同，不影响其表面质量；预固化机构具有自动定点预固化功能，及时对完成滴膜的位置进行加热，保证成膜状况良好，加快配向膜定型速率。
【专利说明】一种配向膜在线修补设备及其在线修复方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及平板显示设备领域，具体涉及配向膜涂覆设备。
【背景技术】
[0002]传统的配向膜涂覆过程中的自动检查方式，是通过自动检查机的检查镜头对涂覆后的基板进行检查，通过灰阶的对比，判断是否存在涂覆异常；当出现异常时，无法进行修复作业，而导致基板报废。
[0003]传统配向膜涂覆自动检查的动作流程:
①涂覆完成的基板由机械手臂或者滚轮送入自动检查设备，如图1;
②玻璃基板在自动检查设备内，通过滚轮的传送，在通过检查镜头时进行自动检查，如图2 ；
③检查完成后，通过灰阶对比，显示出异常区域图像，并自动判断是否有涂覆异常区
域；
④判断为正常的玻璃基板，通过机械手臂或者滚轮送入下ー个制程设备，继续生产；判断为异常的基板，则进入报废流程，无法继续生产；
⑤重复①-④步骤。
[0004]从检查流程以及判断结果上进行分析，如果出现判定为涂覆异常的基板，将必须进行报废处理。而在配向膜涂`覆的工程中，又经常会出现由于气泡或者异物而造成的如配向膜不沾的涂覆异常发生，所以传统的配向膜涂覆生产中，涂覆不良的状况造成了良品率下降和生产成本增加。
[0005]近年来，在业界针对配向膜涂覆过程中不良基板的处理逐渐重视起来，从提升涂覆设备能力到改善配向膜材料，虽有一定的改善，但当涂覆异常的产品出现时，仍无法修ネト，造成良率损失、制造成本増加，最終都无法满足用户的需求。怎样在成本不提高或者在提高较少的情况下，能够大幅减少涂覆不良情况，提高良品率，这个课题在近年来已经备受关注。
【发明内容】
[0006]发明目的:本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种可对基板涂覆不良区域进行自动修补的配向膜在线修补设备及其在线修复方法。
[0007]技术方案:一种配向膜在线修补设备，包括复检镜头、配向液滴下头、预固化机构，上导轨、下导轨和传送装置，所述上导轨和下导轨分别设置在与所述传送装置的传送平面平行的的上平面和下平面且与所述传送装置的传送方向垂直，所述复检镜头和配向液滴下头相互连接并沿所述上导轨滑动，所述预固化机构沿所述下导轨滑动；基板平铺在传送装置上用于在线传输以进行修补，在基板运行过程中，当复检镜头定位异常区域时，及时传递给配向液滴下头，使配向液滴下头同步到达异常区域并滴下适量配向液进行修补，随后，预固化机构运动到基板下方同一位置对配向液进行预固化定型。[0008]优选的，所述传送装置为形成传送平面的阵列的滚轮，滚轮的传输速度可调整且传输精度稳定，可在基板传输过程中避免偏移，保证基板修复时坐标位置的稳定。
[0009]进ー步，所述预固化机构为产生热风或红外的恒温加热装置，且可上下升降动作，当恒温加热装置在下轨道运行到需修补区域下方，可上升靠近于基板，集中产生热量，在基板的修补区域产生局部热量，并使热量充分作用于修补区域，加速固化效率，使配向液中的溶剂成分部分挥发，产生凝胶化作用，达到配向液的半固化状态。
[0010]一种如权利要求1所述的配向膜在线修补设备的在线修补方法，包括以下步骤:
(1)异常基板由传送装置进行传送，根据异常点的坐标，复检镜头通过在上导轨上滑动确认异常区域，传送装置停止传送，配向液滴下头随复检镜头沿上导轨滑动到异常区域 上方；
(2)复检镜头根据异常区域大小计算异常区域面积，反馈给配向液滴下头；
(3)配向液滴下头根据异常区域面积和所需膜厚，计算配向液滴下量并滴下；
(4)预固化机构在下导轨上移动至异常区域下方对配向液进行预固化处理；
(5)传送装置恢复传送。
[0011]进ー步，所述预固化机构的预固化处理为热风或红外加热，其中，热风加热具有成本较低，加热范围大的优势；红外加热具有温度控制精度高，加热点精确的优势。
[0012]进ー步，配向膜在线修补后，所述复检镜头跟随所述传送装置的输送对玻璃基板进行逐行全板扫描，进行复检；故，对异常基板修复后，可进ー步验证修补情况是否达到要求，且判断基板上是否存在其他异常区域，保证全板表面状况的一致性，同时，提高基板整体质量。
[0013]进ー步，在需要对修补后基板整板的配向膜涂覆边缘精度或修补区域的涂覆边缘精度进行确认时，采用所述复检镜头确认配向膜边缘精度；通过复检镜头在上轨道上的移动以及基板在传送装置上的移动，针对配向膜的边缘涂覆精度，通过复检镜头的观察和测量，可以准确判断当前的配向膜涂覆状况是否符合要求，可及时分辨产品精度是否出现偏移。
[0014]有益效果:在传统配向膜自动检查程序完成后，将检查异常的基板送入本发明在线修补设备进行修补，通过检查设备的异常坐标自动回馈，修补设备中的复检镜头可以自动定位于异常位置，并传递给配向液滴下头进行同步定位，同时配向液滴下头按照异常位置的大小和所需的膜厚，自动计算滴下量，进行配向膜滴下的修补作业，最后通过热风或者红外加热的方式，将修补位置的配向膜进行预固化达到与正常区域相同的成膜状况，从而完成整个在线自动修复过程；因此本发明可避免涂覆异常的基板直接报废的情况，可对其进行修补以有效提升产品良率，降低制造成本；同时配向液滴下头可根据异常区域大小自动计算所需的配向膜量，保证修补后成膜厚度与基板上正常区域厚度相同，不影响其表面质量；预固化机构具有自动定点预固化功能，及时对完成滴膜的位置进行加热，保证成膜状况良好，加快配向膜定型速率。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为传统配向膜涂覆自动检查的结构示意图；
图2为检查镜头进行自动检查的结构示意图；图3为本发明设备的俯视图；
图4为本发明设备的仰视图。
【具体实施方式】
[0016]下面对本发明技术方案进行详细说明，但是本发明的保护范围不局限于所述实施例。
[0017]实施例1:如图3、4所示，一种配向膜在线修补设备，包括复检镜头1、配向液滴下头2、预固化机构3、上导轨4、下导轨5和滚轮6，每行五个相互平行的滚轮6为一組，根据生产线长度需求设置若干组滚轮6，阵列的滚轮6形成水平的传送平面，基板7可平铺在滚轮6上进行传送；设滚轮6的输 送方向为Y方向，上导轨4和下导轨5分别设置在与传送平面相平行的上平面和下平面，且与滚轮6的传送方向Y方向垂直，复检镜头I和配向液滴下头2相连，可沿上导轨4滑动，预固化机构3可沿下导轨5滑动，滑动方向即为X方向；其中，预固化机构3为产生红外的恒温加热装置。
[0018]基板7平铺在滚轮6上用于在线传输以进行修补，在基板7运行过程中，复检镜头I定位异常区域并传递给配向液滴下头2，配向液滴下头2同步到异常区域位置上方并滴下适量配向液，预固化机构3在基板7下方同一位置对配向液进行预固化。
[0019]采用上述配向膜在线修补设备的配向膜在线修补方法，包括以下步骤:
(1)异常基板由滚轮6进行传送，根据传统检查设备确定的异常点坐标，通过异常基板在滚轮6Y方向的平移和复检镜头I在上轨道4X方向的移动，当复检镜头I移动到异常区域位置上方，滚轮6停止滚动，复检镜头I将信号传递给配向液滴下头2，配向液滴下头2也到达异常区域上方；
(2)复检镜头I根据扫描到的异常区域大小计算异常区域面积，反馈给配向液滴下头
2；
(3)配向液滴下头2根据异常区域面积和所需膜厚，根据公式:滴下量(ng)=异常区域面积S (nm2)*所需膜厚(nm)/配向膜固成分含量(%)，计算所需配向液滴下量并滴下；
(4)当配向液滴下完成后，复检镜头I和配向液滴下头2移动至待机位置，预固化机构3在下导轨5上移动至异常区域下方，对异常区域的配向液进行红外加热的预固化处理；
(5)滚轮6恢复传送，将基板7重新放置于滚轮6的起始端，复检镜头I根据滚轮6的转速，对玻璃基板7进行逐行全板扫描，同时，扫描修补区域的涂覆边缘精度是否符合要求，进行复检。
[0020]本实施例通过复检镜头I判定异常基板7的具体不良大小后，将不良尺寸信息反馈给配向液滴下头2，配向液滴下头2自动根据异常区域面积和所需膜厚计算配向液滴下重量，滴下适量配向膜，再经过预固化机构3的作用，使异常位置配向膜厚度与正常区域一致，达到修补的目的，提闻广品良率。
【权利要求】
1.一种配向膜在线修补设备，其特征在于:包括复检镜头、配向液滴下头、预固化机构，上导轨、下导轨和传送装置，所述上导轨和下导轨分别设置在与所述传送装置的传送平面平行的的上平面和下平面且与所述传送装置的传送方向垂直，所述复检镜头和配向液滴下头相互连接并沿所述上导轨滑动，所述预固化机构沿所述下导轨滑动。
2.根据权利要求1所述的配向膜在线修补设备，其特征在于:所述传送装置为形成传送平面的阵列的滚轮。
3.根据权利要求1所述的配向膜在线修补设备，其特征在于:所述预固化机构为产生热风或红外的恒温加热装置。
4.一种如权利要求1所述的配向膜在线修补设备的在线修补方法，其特征在于:包括以下步骤: (1)异常基板由传送装置进行传送，根据异常点的坐标，复检镜头通过在上导轨上滑动确认异常区域，传送装置停止传送，配向液滴下头随复检镜头沿上导轨滑动到异常区域上方； (2)复检镜头根 据异常区域大小计算异常区域面积，反馈给配向液滴下头； (3)配向液滴下头根据异常区域面积和所需膜厚，计算配向液滴下量并滴下； (4)预固化机构在下导轨上移动至异常区域下方对配向液进行预固化处理； (5)传送装置恢复传送。
5.根据权利要求4所述的在线修补方法，其特征在于:所述预固化机构的预固化处理为热风或红外加热。
6.根据权利要求4所述的在线修补方法，其特征在于:配向膜在线修补后，所述复检镜头跟随所述传送装置的输送对基板进行逐行全板扫描。
7.根据权利要求4所述的在线修补方法，其特征在于:在需要对修补后基板整板的配向膜涂覆边缘精度或修补区域的涂覆边缘精度进行确认时，采用所述复检镜头确认配向膜边缘精度。
【文档编号】C03C17/00GK103524046SQ201310453169
【公开日】2014年1月22日 申请日期:2013年9月29日 优先权日:2013年9月29日
【发明者】叶宁, 顾葆华, 何方, 李广圣 申请人:南京中电熊猫液晶显示科技有限公司