一种用于晶圆流片制造的切段装置的制作方法

文档序号:18881319发布日期:2019-10-15 19:30阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及晶圆流片制造附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于晶圆流片制造的切段装置,其可以方便将单晶硅棒按照要求切割成规定长度的单晶硅段,降低使用局限性;并且可以方便控制切割刀移动的方向,减少切割偏移的现象,减少资源浪费,提高使用可靠性;包括工作台、四组支腿、切割刀和两组刀柄;还包括左弧形连接板、右弧形连接板、四组限位螺纹杆、支撑板和四组固定螺母,工作台包括上平台和下平台,还包括压板、四组固定弹簧和缓冲垫;还包括前调节螺纹杆、后调节螺纹杆、两组前齿轮、两组后齿轮、两组传动齿轮、两组固定杆和两组固定球,两组刀柄上分别设置有两组移动环。

技术研发人员:王昌华
受保护的技术使用者:江苏英锐半导体有限公司
技术研发日:2018.10.17
技术公布日:2019.10.15

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