光掩模贴膜工序用的板夹的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种光掩模贴膜工序用的板夹。所述光掩模贴膜工序用的板夹至少包括：具有三条边的框体，其两自由端分别设置有夹持光掩模的夹持部件，且在该框体的一边角设置有手持部件。由于夹持部件设置在边角，既可满足目检时的夹持要求，亦可有效防止将光掩模放入贴膜机时所带来的灰尘坠落问题，进而有效提高光掩模产品的成品率。
【专利说明】光掩模贴膜工序用的板夹
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体工序领域，特别是涉及一种光掩模贴膜工序用的板夹。
【背景技术】
[0002]在现有光掩模贴膜工序中，需要用板夹夹持光掩模放入贴膜机内。现常用的板夹有两种，一种是“Y”型。如图1所示，其为一种优选“Y”型板夹示意图。该板夹I包括夹持部件11及手持部件12。当需要将光掩模2贴膜时，操作人员手握处于上方的手持部件12，将夹设在两夹持部件11之间的光掩模2放入贴膜机内。由于手持部件12在上,光掩模2在下，因此在操作时，操作人员的手及衣袖等均位于光掩模2的上方，会造成人体上大量的灰尘掉落在光掩模2上，由此会对光掩模产品的成品率产生很大的影响。
[0003]此外，常用的另一种板夹呈“I”型。如图2所示，其为一种优选“I”型板夹示意图。该“I”型板夹I’包括杆体13’、设置在所述杆体13’上的夹持部件11’、以及连接在所述杆体13’ 一端侧的手持部件12’。光掩模2’需要贴膜时，操作人员手握所述手持部件12’，将夹设在两夹持部件11’之间的光掩模2’放入贴膜机内进行贴膜。该“I”型板夹在光掩模装入时虽然可以避免人体上灰尘的掉落对光掩模的影响，但却因为其的杆体横跨在光掩模上方，如图2所示，由此会对光掩模的目视预检带来很大障碍，使操作人员无法预先发现已经存在的可目检出的缺陷，同样会影响光掩模产品的成品率。
[0004]因此，需要对现有光掩模贴膜工序中所使用的板夹进行改进。
实用新型内容
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光掩模贴膜工序用的板夹，用于解决现有技术中阻碍视线及灰尘坠落至光掩模的问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光掩模贴膜工序用的板夹，其至少包括:
[0007]具有三条边的框体，其两自由端分别设置有夹持光掩模的夹持部件，且在该框体的一边角设置有手持部件。
[0008]优选地，每一夹持部件所在的框体边均弯折成多段；更为优选地，每一夹持部件所在的框体边均弯折成3段。
[0009]优选地，所述手持部件呈夹具状；更为优选地，手持部件夹固于框体的边角。
[0010]优选地，所述框体的材质包括不锈钢。优选地，夹持部件夹固于自由端。
[0011]优选地，所述夹持部件及手持部件的材质包括聚四氟乙烯。
[0012]如上所述，本实用新型的光掩模贴膜工序用的板夹，具有以下有益效果:既可满足目检时的夹持要求，亦可有效防止将光掩模放入贴膜机时所带来的灰尘坠落问题，有效提升光掩模产品的成品率
【专利附图】
【附图说明】[0013]图1显示为现有技术中的“Y”型板夹的示意图。
[0014]图2显示为现有技术中的“ I ”型板夹的示意图。
[0015]图3a显示为本实用新型的光掩模贴膜工序用的板夹的立体图。
[0016]图3b显示为本实用新型的光掩模贴膜工序用的板夹的局部示意图。
[0017]图3c显示为本实用新型的光掩模贴膜工序用的板夹的俯视图及局部示意图。
[0018]图3d显示为本实用新型的光掩模贴膜工序用的板夹的正视图。
[0019]元件标号说明
[0020]1，1’板夹
[0021]11,11’ 夹持部件
[0022]12，12’ 手持部件
[0023]13’杆体
[0024]2,2’光掩模
[0025]3板夹
[0026]31框体
[0027]32夹持部 件
[0028]33手持部件
【具体实施方式】
[0029]以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0030]请参阅图3a至3d。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
[0031]如图3a至3d所示，本实用新型提供一种光掩模贴膜工序用的板夹。所述板夹3至少包括:框体31、夹持部件32、及手持部件33。
[0032]所述框体31包含3条边，相对的两条侧边弯折成成多段，例如3段，具体参见图3b，由此使得框体31的横边高于光掩模所在的平面，以保证在整个贴膜过程中，尽可能避免板夹处在光掩模正上方，从而避免板夹上可能存在的灰尘跌落在光掩模上。
[0033]优选地，所述框体31可采用不锈钢材质来形成。
[0034]所述夹持部件32设置在所述框体31相对的两条侧边的自由端，用于夹持光掩模4，优选地，夹持部件32夹固于自由端。
[0035]优选地，所述夹持部件32可采用聚四氟乙烯(PTFE)材质来形成。
[0036]所述手持部件33设置在所述框体31的一边角，优选地，其夹固于所述框体31的边角上，更为优选地，其呈夹具状，便于操作人员手握作业。[0037]优选地，所述手持部件33也可采用聚四氟乙烯(PTFE)材质来形成。
[0038]当需要对光掩模进行贴膜时，先采用夹持部件32夹持光掩模，随后操作人员手握手持部件33，通过板夹3将所述光掩模放入贴膜机内，由于手持部件33设置在框体31的边角，且框体31的横边高于光掩模所在的平面，故不会阻挡操作人员的视线，由此既可满足目检时的夹持要求，亦可有效防止将光掩模放入贴膜机时所带来的灰尘坠落问题，进而有效提升光掩模产品的成品率。
[0039]所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0040]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于，所述光掩模贴膜工序用的板夹至少包括: 具有三条边的框体，其两自由端分别设置有夹持光掩模的夹持部件，且在该框体的一边角设直有手持部件。
2.根据权利要求1所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:每一夹持部件所在的框体边均弯折成多段。
3.根据权利要求1或2所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:每一夹持部件所在的框体边均弯折成3段。
4.根据权利要求1所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:所述手持部件呈夹具状。
5.根据权利要求1所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:夹持部件夹固于自由端。
6.根据权利要求1或4所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:手持部件夹固于框体的边角。
7.根据权利要求1所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:所述框体的材质包括不锈钢。
8.根据权利要求1所述的光掩模贴膜工序用的板夹，其特征在于:所述夹持部件及手持部件的材质包括聚四氟乙烯。
【文档编号】B25B9/00GK203418456SQ201320411185
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年7月10日 优先权日:2013年7月10日
【发明者】成立炯, 俞子华 申请人:上海凸版光掩模有限公司