用于光罩化学制程的夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型实施例公开了一种用于光罩化学制程的夹具，包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具通过采用由底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆构成的夹具，从而在化学制程中无需手工直接操作，化学制程操作更安全、无污染，快速高效。
【专利说明】用于光罩化学制程的夹具
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及光罩制作【技术领域】，尤其涉及一种用于光罩化学制程的夹具。
【背景技术】
[0002] 大尺寸、高精度、细线宽、高效率和低成本的集成电路，是半导体器件生产制造的 发展方向，而光罩是制造半导体器件的关键工具，随着半导体行业的高速发展，对光罩的需 求也渐渐呈现上升趋势，现有的光罩的制造技术已满足不了持续高速发展的需要。
[0003] 这是因为，现有的光罩在曝光完成后，采用人工湿法进行化学制程，步骤如下：1) 操作人员带上无尘手套，双手卡住光罩两端，将光罩膜面向上置于制程药液中；2)轻轻晃动 盛放药液的槽体；3)按规定时间完成化学制程后快速将光罩取出，冲水。
[0004] 上述化学制程采用手工直接操作，存在如下缺陷：光罩化学制程所用的化学试剂 都有很强的腐蚀作用，手工接触药液存在很大的安全隐患，尺寸大的光罩都很重，生产人员 手工制程的劳动强度很大，手工拿版容易污染化学制程的药液，直接导致光罩缺陷的增加； 此外，光罩的底部与制程槽体接触，在晃动的过程中，很容易造成划伤，严重的划伤直接导 致光罩报废，这大大增加公司的生产成本。 实用新型内容
[0005] 本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供无需手工直接操作的用于光罩 化学制程的夹具，使化学制程操作更安全、无污染，快速高效。
[0006] 为了解决上述技术问题，本实用新型实施例提出了一种用于光罩化学制程的夹 具，所述夹具包括底座，固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持 光罩的第一夹持杆。
[0007] 进一步地，所述底座和第一夹持杆的末端相对侧均设有卡槽，所有卡槽位于同一 平面内。
[0008] 进一步地，所述导向柱沿轴向镂空形成引导孔，第一夹持杆借由穿过引导孔的螺 钉固定于导向柱上。
[0009] 进一步地，第一夹持杆的安装螺钉的一端向底座方向延伸形成抵顶部。
[0010] 进一步地，底座包括固设有导向柱的基部和自基部延伸而成的第二夹持杆，第二 夹持杆与第一夹持杆相互平行，且末端与第一夹持杆的相对侧设有所述卡槽。
[0011] 进一步地，第二夹持杆与第一夹持杆末端的端面在同一平面内，该平面与卡槽所 在平面平行，且端面与卡槽之间形成高度相同的隔离部。
[0012] 进一步地，所述第二夹持杆至少有两个。
[0013] 本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具的有益效果是：通过采用由底座， 固设于底座上的导向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆构成 的夹具，从而在化学制程中无需手工直接操作，化学制程操作更安全、无污染，快速高效。
【专利附图】
【附图说明】
[0014] 图1是本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具的主视图。
[0015] 图2是光罩板材推进至图1所示的卡槽的示意图。
[0016] 图3是图1所示用于光罩化学制程的夹具的使用状态示意图。
【具体实施方式】
[0017] 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相 互结合，下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。本说明书中的光罩 以铬版或干版为例进行说明。
[0018] 请参考图1至图3,本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具包括底座10,固 设于底座10上的导向柱20,及滑动地设于导向柱20上的与底座10配合夹持光罩的第一 夹持杆30。从而，借由底座10与第一夹持杆30的活动配合，将光罩牢牢卡固于所述卡槽 40内，以便进行化学制程操作，操作人员无需再手工直接操作，省力、安全、无污染，且快速 1?效。
[0019] 优选地，所述底座10和第一夹持杆30的末端相对侧均设有卡槽40,所有卡槽40 位于同一平面内。因光罩为平整的方块形，故与同一平面内的卡槽40匹配卡固。
[0020] 所述导向柱20沿轴向镂空形成引导孔，第一夹持杆30借由穿过引导孔的螺钉50 固定于导向柱20上。具体地，第一夹持杆30的始端开设有螺孔，螺钉50螺接固定于所述 螺孔内。从而，所述夹具的第一夹持杆30可根据光罩的尺寸大小灵活调整至合适的位置， 然后再固定。
[0021] 第一夹持杆30的安装螺钉50的一端向底座10方向延伸形成抵顶部31。从而，借 由所述抵顶部31，使得所述第一夹持杆30的耐受力度更大，夹具的结构更稳固，
[0022] 底座10包括固设有导向柱20的基部11和自基部11延伸而成的第二夹持杆12， 第二夹持杆12与第一夹持杆30相互平行，且末端与第一夹持杆30的相对侧设有所述卡槽 40。
[0023] 进一步地，第二夹持杆12与第一夹持杆30末端的端面在同一平面内，该平面与卡 槽40所在平面平行，且端面与卡槽40之间形成高度相同的隔离部120。所述隔离部120为 0. 5cm至5cm，优选为3cm。借由所述隔离部120,使光罩板材与槽体底面之间保持预定的距 离，板材不会直接接触槽体底面，可以避免光罩在化学制程过程中出现划伤，提高了产品品 质。
[0024] 所述第二夹持杆12至少有两个。优选地，所述第二夹持杆12为三个。从而，第二 夹持杆12有多个，于一个第一夹持杆30配合，便形成了稳固的夹持结构，将光罩牢牢卡固。
[0025] 采用本实用新型实施例的用于光罩化学制程的夹具后，具体的光罩制作过程为：
[0026] 1.从激光光绘仪中将曝光完成的铬版或干版取出，拿到制程室中，制备好制程药 液，准备制程。
[0027] 2.用工具将螺钉50拧松，使第二夹持杆12可以沿着导向柱20缓慢上下移动，两 手卡住板材的边缘，使板材的膜面对着导向柱20,用手慢慢将板材推进底座10的卡槽40 中，然后慢慢移动第二夹持杆12,使第二夹持杆12上的卡槽40卡紧板材，用工具拧紧螺钉 50 〇
[0028] 3.手持导向柱20,将板材以图3所示的方式置入显影液中显影，显影过程中可以 轻轻晃动槽体，使显影液在膜面上面缓慢流动。由于化学制程的过程中，不需要双手持版将 板材放入显影液中，可以避免显影液的污染。
[0029] 4.显影完成后直接清洗，清洗完成后可以使用相同的方法完成蚀刻等进一步的操 作。
[0030] 以上所述是本实用新型的【具体实施方式】，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术 人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润 饰也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1. 一种用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述夹具包括底座，固设于底座上的导 向柱，及滑动地设于导向柱上的与底座配合夹持光罩的第一夹持杆。
2. 如权利要求1所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述底座和第一夹持 杆的末端相对侧均设有卡槽，所有卡槽位于同一平面内。
3. 如权利要求1所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述导向柱沿轴向镂 空形成引导孔，第一夹持杆借由穿过引导孔的螺钉固定于导向柱上。
4. 如权利要求3所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，第一夹持杆的安装螺 钉的一端向底座方向延伸形成抵顶部。
5. 如权利要求2所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，底座包括固设有导向 柱的基部和自基部延伸而成的第二夹持杆，第二夹持杆与第一夹持杆相互平行，且末端与 第一夹持杆的相对侧设有所述卡槽。
6. 如权利要求5所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，第二夹持杆与第一夹 持杆末端的端面在同一平面内，该平面与卡槽所在平面平行，且端面与卡槽之间形成高度 相同的隔离部。
7. 如权利要求5所述的用于光罩化学制程的夹具，其特征在于，所述第二夹持杆至少 有两个。
【文档编号】B25B9/00GK203887732SQ201420304874
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年6月9日 优先权日:2014年6月9日
【发明者】杜武兵 申请人:深圳市路维光电股份有限公司