具有轴承、永磁铁以及磁性流体的轴承密封部42。本实施方式中的磁性流体密封件39是第一磁性流体密封件，壳体40是第一密封壳体，内周侧部件41是第一内周侧部件，轴承密封部42是第一轴承密封部。
[0064]同样地，关节部23具有防止空气自第二臂部21与手4的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件43 ο磁性流体密封件43与磁性流体密封件39相同地构成，具有壳体44、内周侧部件45以及轴承密封部46。本实施方式中的磁性流体密封件43是第二磁性流体密封件，壳体44是第二密封壳体，内周侧部件45是第二内周侧部件，轴承密封部46是第二轴承密封部。
[0065]如图7所示，在减速机37的输入轴58的下端侧固定有带轮49。带轮49配置在第一臂部20的末端侧的内部。在带轮36与带轮49架设有传动带50，对输入轴58经由带轮36、49以及传动带50而输入马达35的动力。并且，在输入轴58的上端侧固定有带轮51。带轮51配置在第二臂部21的基端侧的内部。在第二臂部21的内部能够旋转地安装有带轮52。在带轮51与带轮52架设有传动带53。另外，带轮49的外径小于开口部31e的内径。
[0066]在减速机37的输出轴59固定有第一臂部20的末端侧。具体地说，在输出轴59，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41固定有第一臂部20的末端侧。输出轴59固定于内周侧部件41的内周侧。内周侧部件41以如下的方式固定于第一臂部20的末端侧:其外周面的一部分与开口部31e的内周面接触，且其一部分与上表面部31a的上表面接触。并且，内周侧部件41通过省略图示的螺钉而固定于第一臂部20的末端侧。另外，在上表面部31a与内周侧部件41之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0067]在减速机37的壳体60固定有第二臂部21的基端侧。具体地说，在壳体60，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部21的基端侧。即，壳体60固定于第二臂部21侧。壳体60固定于壳体40的内周侧。壳体40以如下的方式固定于第二臂部21的基端侧:其外周面的一部分与开口部34h的内周面接触，且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体40之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0068]如图8所示，在减速机38的输入轴61的下端侧固定有带轮56。带轮56配置在第二臂部21的末端侧的内部。在带轮56与带轮52架设有传动带57。传动带53与传动带57以在上下方向上错开的状态卡合于带轮52，传动带57配置在比传动带53靠下侧的位置。对输入轴61经由带轮36、49、51、52、56、传动带50、53、57以及输入轴58而输入马达35的动力。
[0069]在减速机38的输出轴62固定有手4的基部11。具体地说，在输出轴62，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手4的基部11。输出轴62固定于内周侧部件45的内周侧。内周侧部件45固定于手4的基部11。并且，内周侧部件45通过省略图示的螺钉而固定于手4的基部11。另外，在手4的基部11与内周侧部件45之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0070]在减速机38的壳体63固定有第二臂部21的末端侧。具体地说，在壳体63，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部21的末端侧。即，壳体63固定于第二臂部21侧。壳体63固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部21的末端侧:其外周面的一部分与开口部34e的内周面接触，且其一部分与上表面部34a的上表面接触。另外，在上表面部34a与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0071]盖部件32、33由铝合金形成。并且，盖部件32、33形成为圆板状。盖部件33的两面形成为平面状。另一方面，在盖部件32的一面，如图9所示，形成有散热用的散热片32a。在本实施方式中，在盖部件32的一面形成有直径不同的圆环状的多个散热片32a，多个散热片32a配置成同心状。并且，在本实施方式中，根据图9(A)所示，通过形成自盖部件32的一面朝向另一面凹陷的圆环状的多个凹部，而形成多个散热片32a。另外，也可以通过自盖部件32的一面突出的凸部构成多个散热片32a。
[0072]第一臂部20的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部21的开口部34f被盖部件33自上侧封闭，第二臂部21的开口部34g被盖部件33自下侧封闭。第一臂部20的开口部31d以及第二臂部21的开口部34d被盖部件32自上侧封闭。盖部件32以形成有散热片32a的面朝向下侧的方式固定。即，在盖部件32的下表面形成有散热片32a，在臂6的内部的上表面形成有散热用的散热片32a。另外，在臂部主体31、34与盖部件32、33之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0073]如图10所示，第一臂部25与第一臂部20相同地构成，具有臂部主体31、三个盖部件32以及一个盖部件33。并且，如图11所示，第二臂部26与第二臂部21相同地构成，具有臂部主体34、两个盖部件32以及两个盖部件33。因此，省略第一臂部25的结构以及第二臂部26的构成的详细说明。
[0074]第一臂部25的基端侧与第一臂部20的基端侧同样，固定于臂支承部8的支承部主体15。第一臂部25的内部与臂支承部8的内部相通，从而第一臂部25的内部成为大气压。在第一臂部25的基端侧的内部以及臂支承部8的内部配置有马达65，该马达65使第二臂部26相对于第一臂部25旋转，且使手5相对于第二臂部26旋转。马达65以与配置在第一臂部20的基端侧的内部以及臂支承部8的内部的马达35相同的方式配置。马达65的输出轴向上侧突出，在所述输出轴固定有带轮66。
[0075]关节部27具有将马达65的旋转减速并将其传递至第二臂部26的减速机67。减速机67与减速机37同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。因此，第二臂部26的内部与第一臂部25的内部相通，从而第二臂部26的内部成为大气压。即，在本实施方式中，臂7的内部成为大气压。并且，减速机67与减速机37相同地构成，具有被输入马达65的动力的输入轴58、将输入至输入轴58的动力减速并将其输出的输出轴59、以及经由轴承将输入轴58以及输出轴59支承为能够旋转的壳体60。本实施方式中的减速机67是第一减速机。
[0076]关节部28具有将马达65的旋转减速并将其传递至手5的减速机68。减速机68与减速机38同样是在其径向的中心形成有贯通孔的中空减速机。并且，减速机68与减速机38相同地构成，具有被输入马达65的动力的输入轴61、使输入至输入轴61的动力减速并将其输出的输出轴62、以及经由轴承将输入轴61以及输出轴62支承为能够旋转的壳体63。本实施方式中的减速机68是第二减速机。
[0077]并且，关节部27与关节部22相同，具有防止空气自第一臂部25与第二臂部26的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件39。关节部28与关节部23相同，具有防止空气自第二臂部26与手5的连接部分向真空区域VR流出的磁性流体密封件43。
[0078]如图11、图12所示，在减速机67的输入轴58的下端固定有形成为圆筒状的旋转轴69的上端。在旋转轴69的下端侧固定有带轮70。带轮70配置在第一臂部25的末端侧的内部。在带轮66与带轮70架设有传动带71，将马达65的动力经由带轮66、70以及传动带71输入至输入轴58。并且，在减速机67的输入轴58的上端侧固定有带轮72。带轮72配置在第二臂部26的基端侧的内部。另外，带轮70的外径小于开口部31 e的内径。
[0079]在减速机67的输出轴59固定有第一臂部25的末端侧。具体地说，在减速机67的输出轴59，隔着磁性流体密封件39的内周侧部件41以及间隔部件73固定有第一臂部25的末端侦U。间隔部件73形成为大致圆筒状，以覆盖旋转轴69的外周侧的方式配置。
[0080]减速机67的输出轴59固定在内周侧部件41的内周侧。该内周侧部件41以如下的方式固定于间隔部件73的上端:其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触，且其一部分与间隔部件73的上端面接触。间隔部件73的下端以与上表面部31a的上表面接触的方式固定于第一臂部25的末端侧。并且，间隔部件73通过省略图示的螺钉固定于第一臂部25的末端侧。在间隔部件73的下端侧固定有轴承保持部件74。轴承保持部件74以如下的方式固定于间隔部件73的下端侧:其外周面的一部分与间隔部件73的内周面接触，且其一部分与间隔部件73的下端面接触。并且，轴承保持部件74的一部分配置在开口部31e的内周侧。在轴承保持部件74固定有将旋转轴69支承为能够旋转的轴承75。另外，在内周侧部件41与间隔部件73的上端之间、以及上表面部31a与间隔部件73的下端之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0081 ]在减速机67的壳体60固定有第二臂部26的基端侧。即，减速机67的壳体60固定于第二臂部26侧。第二臂部26的基端侧与第二臂部21的基端侧固定于减速机37的壳体60相同，固定于减速机67的壳体60。即，在减速机67的壳体60，隔着磁性流体密封件39的壳体40固定有第二臂部26的基端侧。
[0082]如图13所示，在减速机68的输入轴61的上端侧固定有带轮76。带轮76配置在第二臂部26的末端侧的内部。在带轮72与带轮76架设有传动带77，将马达65的动力经由带轮66、70、72、76、传动带71、77、旋转轴69以及输入轴58输入至输入轴61。在减速机68的输出轴62固定有手5的基部11。手5的基部11与手4的基部11固定于减速机38的输出轴62相同，固定于减速机68的输出轴62。即，在减速机68的输出轴62，隔着磁性流体密封件43的内周侧部件45固定有手5的基部11。另外，内周侧部件45通过省略图示的螺钉而固定于手5的基部11。
[0083]在减速机68的壳体63固定有第二臂部26的末端侧。具体地说，在减速机68的壳体63，隔着磁性流体密封件43的壳体44固定有第二臂部26的末端侧。即，减速机68的壳体63固定于第二臂部26侧。减速机68的壳体63固定于壳体44的内周侧。壳体44以如下的方式固定于第二臂部26的末端侧:其外周面的一部分与开口部34g的内周面接触，且其一部分与下表面部34b的下表面接触。另外，在下表面部34b与壳体44之间配置有防止空气向真空区域VR流出的环状的密封部件(省略图示)。
[0084]第一臂部25的开口部31f被盖部件33自下侧封闭。第二臂部26的开口部34e、34f被盖部件33自上侧封闭。第一臂部25的