专利名称：自动消防系统的制作方法
技术领域：
本实用新型是有关于一种自动消防系统，特别是有关于一种适用于制造半导体或 显示器的制程腔体的自动消防系统。
背景技术：
目前，由于半导体组件及平面显示器的市场及需求量愈来愈大，使得IC厂及面板 厂也愈来愈多。对一个八寸晶圆厂来说，建厂的总资本额通常超过约美金十亿左右，其中百 分之七十是花在昂贵的半导体制程设备仪器上。在一般IC厂与面板厂中，无尘室(clean room)的购买与维持所需的花费是特别高的，所以设备的布局设计的精确具有决定性的影 响。在半导体及平面显示器的制程中，时常会运用到许多不同种类的有机溶液进行制 程，例如在微影制程所使用的光阻液，以及蚀刻制程使用的去光阻液等，都是使用有机溶液 进行相关制造程序。然而，由于有机溶液具有易挥发的特性，且其燃点相对较低，在现今高 温制程极其普遍的情况下，便相当容易引起火灾，且不易扑灭。而对于无尘室的环境来说， 一旦有火灾，便是灾难性的破坏无尘条件，故提供一个设于制程腔体周围的自动消防系统， 就显的极为迫切了。
实用新型内容有鉴于上述现有技术的问题，本实用新型的目的就是在提供一种自动消防系统， 以解决在半导体及平面显示器制程中，不易扑灭有机溶液所引发的火灾的问题。根据本实用新型的目的，提出一种自动消防系统，系用于制程腔体灭火，其包含设 于制程腔体周围的至少一个检测单元、设于制程腔体周围的至少一个灭火单元、设于制程 腔体邻近处的至少一个警示单元及控制单元，控制单元分别连接检测单元、灭火单元及警 示单元。其中，检测单元用以检测制程腔体的燃烧条件，并提供检测信号至控制单元。而灭 火单元则包含设于制程腔体周围的至少一个喷嘴、至少一个灭火气体供应系统及至少一个 压力开关，喷嘴连接灭火气体供应系统；而当控制单元在接收检测信号后判断检测信号为 特征值后，即判断为火灾发生，而向灭火单元发出灭火信号，而令灭火气体供应系统通过压 力开关而排放灭火气体至喷嘴，根据喷嘴朝向燃烧条件处喷射灭火气体以进行灭火；同时， 控制单元还向警示单元发出警示信号以进行警示。其中，此自动消防系统还包含监视系统，系监视及记录至少一个检测单元的状况， 从而得知此燃烧条件的位置。综上所述，根据本实用新型的自动消防系统，其可具有一个或多个下述优点(1)此自动消防系统具有自动检测、自动灭火的功能，能在火灾发生的第一时间即 进行灭火及警示相关人员，达到降低人力耗费的目的。(2)此自动消防系统使用气体灭火的方式，可有效维护无尘室的无尘条件。(3)此自动消防系统具备的监视系统可迅速的通知相关人员火警发生的位置，节省人力的耗费。
图1为本实用新型的自动消防系统的方块图；以及图2为本实用新型的自动消防系统的实施例的示意图。主要符号说明1为自动消防系统；10为检测单元；100为检测信号；101为火焰 检测器；102为烟雾检测器；103为温度检测器；11为灭火单元；110为灭火气体供应系统； 1100为灭火气体；1101为灭火气体储存装置；1102为压力开关；1103为管路；111为闭止 阀；112为喷嘴；12为警示单元；120为警示灯；121为蜂鸣器；13为控制单元；130为警示信 号；131为灭火信号；132为自动控制模块；133为手动控制模块；134为存储装置；14为监 视系统；140为网络模块；141为监视器；142为伺服计算机；2为燃烧条件；以及3为制程腔 体。
具体实施方式
以下将参照相关图式，说明根据本实用新型的自动消防系统的实施例，为便于理 解，下述实施例中的相同组件以相同的符号标示来说明。请参阅图1，其为本实用新型的自动消防系统的方块图。如图所示，本实用新型的自动消防系统1，用于制程腔体灭火，其包含至少一个检 测单元10、至少一个灭火单元11、至少一个警示单元12、控制单元13及监视系统14。其 中，检测单元10包含了火焰检测器101、烟雾检测器102、温度检测器103或这些检测器的 组合；灭火单元11包含了至少一个灭火气体供应系统110，而灭火气体供应系统110包含 至少一个灭火气体储存装置1101、至少一个压力开关1102 ；另外，灭火单元11还可包含至 少一个闭止阀111及至少一个喷嘴112 ；警示单元12包含了至少一个警示灯120及至少一 个蜂鸣器121 ；控制单元13包含了自动控制模块132、手动控制模块133及存储装置134 ； 监视系统则包含了网络系统140及至少一个监视器141。另外，控制单元13连接警示单元 12、检测单元10及灭火单元11，检测单元10则又连接监视系统14。其中，检测单元10设于制程腔体的周围，以检测燃烧条件2，并将检测信号100分 别给予控制单元13及监视系统14，控制单元13在接收检测信号100后判断检测信号100 是否为特征值，若是，则向设于制程腔体的周围的警示单元12发出警示信号130，使警示灯 120亮起且令蜂鸣器121响起以为警示，并向灭火单元11发出灭火信号131，而令灭火气体 供应系统110通过压力开关1102、管路1103 (不锈钢材质)及闭止阀111，而排放灭火气体 1100 ( 二氧化碳或氮气)至喷嘴112，并对燃烧条件2喷射灭火气体1100进行灭火。其中， 当以火焰检测器101检测燃烧条件2时，其特征值的判定为获取燃烧条件2的红外线光谱， 若经判断此光谱为火焰样态时，即为确认火灾发生；当以烟雾检测器102检测燃烧条件2 时，其特征值的判定为测量制程腔体邻近的微小粒子的数量，若超过洁净室所维持的上限， 即为确认火灾发生；而若以温度检测器103检测燃烧条件2时，其特征值的判定则为测量制 程腔体邻近的温度，超过洁净室所维持的上限，即为确认火灾发生。而在火灾确认发生后， 存储装置134即记录各灭火单元11的动作状态，且监视系统14即通过网络系统140将检 测信号100显示于监视器141上，以告知相关人员火灾发生地点。[0018]请参阅图2，其为本实用新型的自动消防系统的实施例的示意图。在本实施例中， 警示单元12设于制程腔体3开口的左上方，而检测单元10及喷嘴112设于制程腔体3开口 的上方，且喷嘴112通过管路1103、闭止阀111及压力开关1102与灭火气体储存装置1101 连接。其中，闭止阀111为选用部件，在本实施例中即选用闭止阀111以做说明。另外，控 制单元13的一般动作模式为自动运行，但也可以使用手动运行，在本实施例中，手动控制 模块133的切换装置即设在警示单元的下方。由于灭火气体储存装置1101体积过大，故与制程腔体3设于不同的楼层，以节省空间。另外，为了确保在火灾发生时灭火气体1100正确排放，故在灭火气体储存装置1101 与喷嘴112之间管路1103上，设有压力开关1102，此压力开关1102仅在有气体流过时才会 打开，故可监视灭火气体1100的排放；而在维修保养本自动消防系统1时，为了安全起见， 在压力开关1102与喷嘴112之间的管路1103上，设有闭止阀111，用以闭止灭火气体供应 系统1101排放灭火气体1100，由此可安全地进行维修保养。以上所述仅为举例性的，而不是限制性的。任何未脱离本实用新型的精神与范畴， 而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求范围之内。
权利要求1.一种自动消防系统，系用于制程腔体灭火，其特征在于包含至少一个检测单元，设于所述制程腔体的周围，用以检测燃烧条件，并提供检测信号；至少一个灭火单元，接收灭火信号并进行灭火，包含至少一个灭火气体供应系统，具备至少一个压力开关，所述至少一个压力开关监视灭 火气体的排放；至少一个喷嘴，设于所述制程腔体的周围，并连接所述灭火气体供应系统而向所述燃 烧条件喷射所述灭火气体；至少一个警示单元，设于所述制程腔体的邻近处，接收警示信号后提供警示信号；以及控制单元，连接所述至少一个警示单元、所述至少一个检测单元及所述至少一个灭火 单元，并在接收所述检测信号后判断所述检测信号是否为特征值，当符合所述特征值时，则 向所述至少一个警示单元发出所述警示信号，且向所述至少一个灭火单元发出所述灭火信 号，而令所述至少一个灭火气体供应系统排放该灭火气体至所述至少一个喷嘴，监视系统，用以监视及记录所述至少一个检测单元的检测信号而得知所述燃烧条件的 位置。
2.如权利要求1所述的自动消防系统，其特征在于所述监视系统包含网络系统及至少 一个监视器。
3.如权利要求1所述的自动消防系统，其特征在于所述至少一个检测单元包含火焰检 测器、烟雾检测器、温度检测器或上述检测器的组合。
4.如权利要求1所述的自动消防系统，其特征在于所述警示单元包含至少一个警示灯 及至少一个蜂鸣器。
5.如权利要求1所述的自动消防系统，其特征在于所述控制单元包含自动控制模块及 手动控制模块。
6.如权利要求5所述的自动消防系统，其特征在于所述控制单元还包含存储装置记录 所述自动消防系统的动作状态。
7.如权利要求1所述的自动消防系统，其特征在于所述至少一个灭火气体供应系统包 含至少一个灭火气体储存装置及至少一个管路，所述至少一个管路设于所述至少一个灭火 气体储存装置及所述至少一个喷嘴之间。
8.如权利要求7所述的自动消防系统，其特征在于所述至少一个管路的材质为不锈钢 材质。
9.如权利要求7所述的自动消防系统，其特征在于所述灭火单元还包含至少一个闭止 阀，用以在维修保养所述自动消防系统时，闭止所述至少一个灭火气体供应系统。
10.如权利要求8所述的自动消防系统，其特征在于所述灭火气体为二氧化碳或氮气。
专利摘要本实用新型公开一种自动消防系统，系在半导体或显示器的制程腔体发生火灾时进行灭火，其包含设于制程腔体周围的检测单元，用以检测制程腔体的燃烧条件，且提供检测信号至控制单元，控制单元在接收检测信号后及进行判断检测信号是否为特征值，若是，则向设于制程腔体邻近处的警示单元发出警示信号进行警示，同时向设于制程腔体周围的灭火单元发出灭火信号进行灭火。
文档编号A62C37/00GK201815042SQ20102057965
公开日2011年5月4日 申请日期2010年10月26日 优先权日2010年10月26日
发明者李昱衡 申请人:崇越科技股份有限公司