丝网印刷的制造方法
【专利摘要】本实用新型的目的在于提供一种丝网印刷机，即使在进行掩模的清洗或掩模的堵塞检查的情况下也不会延迟丝网印刷作业的开始，能够防止基板的生产率的降低。并具备：掩模摄像机(29)，其从下方拍摄与基板(2)分离的状态下的掩模(21)；基板摄像机(31)，其从上方拍摄与掩模(21)分离的状态下的基板(2)；掩模清洗器(33)，其在与基板(2)分离的状态下的掩模(21)的下面滑动，进行掩模(21)的清洗。掩模摄像机(29)和掩模清洗器(33)安装于在掩模(21)的下方水平移动的第一移动横梁(25)上，基板摄像机(31)安装于在第一移动横梁(25)的下方与第一移动横梁(25)独立地水平移动的第二移动横梁(27)上。
【专利说明】丝网印刷机
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及使刮板在使基板接触的掩模上滑动而在基板上转印膏的丝网印 刷机。
【背景技术】
[0002] 丝网印刷机在使刮板在与基板的上面接触的掩模上滑动而将膏转印于基板上之 后，使基板从掩模分离（脱版），在基板上印刷膏。这种丝网印刷机除了具备从下方拍摄与 基板分离的状态下的掩模的掩模摄像机、和从上方拍摄与掩模分离的状态下的基板的基板 摄像机之外，还具备在与基板分离的状态下的掩模的下面滑动而进行掩模的清洗的掩模清 洗器。掩模摄像机在掩模的最初设置时为了识别掩模的位置而拍摄设于掩模的标记（掩模 侧标记），在脱版后为了识别掩模的图案孔的膏的堵塞状态而拍摄掩模的下面整体。基板摄 像机为了识别搬入掩模的下方的基板的位置而拍摄设于基板的标记（基板侧标记），掩模 清洗器在脱版后在掩模的下面滑动，擦拭附着于掩模的膏。
[0003] 在这种丝网印刷机中，通常，掩模摄像机和基板摄像机作为一个摄像机单元安装 于在掩模的下方水平移动的移动体上，掩模清洗器通过使摄像机单元移动的上述移动体而 移动（例如，参照专利文献1)。丝网印刷机在每次新搬入基板时基于基板侧标记的摄像进 行基板的位置的识别，基于与对掩模的最初设置时所识别的掩模的位置的关系使基板与掩 模接触。掩模清洗器进行的掩模的清洗在每次结束数次的丝网印刷后执行，但是，对于细密 间隔类的基板也有时在每进行一次丝网印刷后执行。
[0004] 专利文献1 :日本国特开2013 - 10240号公报
[0005] 但是，在如上述使掩模清洗器与摄像机单元一起移动的结构中，新搬入的基板的 位置的识别需要等待掩模的清洗作业结束后进行，相应地，存在丝网印刷作业的开始延迟， 作为丝网印刷机整体的基板的生产率可能降低的问题。另外，在进行掩模摄像机进行的掩 模的堵塞检查的期间不能进行基板摄像机进行的基板的位置的识别，因此，在进行掩模的 堵塞检查的情况中也产生了同样的问题。 实用新型内容
[0006] 于是，本实用新型的目的在于提供一种丝网印刷机，即使在进行掩模的清洗或掩 模的堵塞检查的情况下也不使丝网印刷作业的开始延迟，能够防止基板的生产率的降低。
[0007] 本实用新型第一方面提供一种丝网印刷机，使刮板在与基板的上面接触的掩模上 滑动，在将膏转印至所述基板上后，使所述基板从所述掩模分离，在所述基板上印刷膏，其 中，具备：掩模摄像机，其从下方拍摄与所述基板分离的状态的所述掩模；基板摄像机，其 从上方拍摄与所述掩模分离的状态下的所述基板；掩模清洗器，其在与所述基板分离的状 态下的所述掩模的下面滑动，进行所述掩模的清洗，所述掩模摄像机和所述掩模清洗器安 装于在所述掩模的下方水平移动的第一移动体上，所述基板摄像机安装于在所述第一移动 体的下方与所述第一移动体独立地水平移动的第二移动体上。
[0008] 第二方面的丝网印刷机在第一方面的基础上，其中，通过使所述第一移动体和所 述第二移动体相互独立地移动，一并进行所述基板摄像机进行的所述基板的摄像和所述掩 模清洗器进行的所述掩模的清洗或者所述基板摄像机进行的所述基板的摄像和所述掩模 摄像机进行的所述掩模的摄像。
[0009] 第三方面的丝网印刷机在第一或第二方面的基础上，其中，在所述基板摄像机进 行的所述基板的摄像中，包括用于对印刷到所述基板的膏的检查的摄像。
[0010] 在本实用新型中，掩模摄像机和掩模清洗器安装于在掩模的下方水平移动的第一 移动体上，另一方面，基板摄像机安装于在第一移动体的下方与第一移动体独立地水平移 动的第二移动体上，能够使第一移动体和第二移动体相互独立地移动，因此，能够一并进行 基板摄像机进行的基板的摄像和掩模清洗器进行的掩模的清洗（或者基板摄像机进行的 基板的摄像和掩模摄像机进行的掩模的摄像的掩模的堵塞检查）。因此，即使在进行掩模的 清洗（或掩模的堵塞检查）的情况下，也不会使相对于基板的丝网印刷作业的开始延迟，能 够防止基板的生产率的降低。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 图1是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的平面图；
[0012] 图2是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的正面图；
[0013] 图3是本实用新型一实施方式的丝网印刷机的侧面图；
[0014] 图4是本实用新型一实施方式的丝网印刷机具备的掩模清洗器的放大侧面图；
[0015] 图5是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机的控制系统的方块图；
[0016] 图6是表示本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的执行的 顺序的流程图；
[0017] 图7(a)、（b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的动作 说明图；
[0018] 图8(a)、（b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的动作 说明图；
[0019] 图9(a)、（b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的动作 说明图；
[0020] 图10(a)、（b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的动 作说明图；
[0021] 图11(a)、（b)是本实用新型一实施方式的丝网印刷机进行的丝网印刷作业的动 作说明图。
[0022] 符号说明
[0023] 1丝网印刷机
[0024] 2 基板
[0025] 21 掩模
[0026] 24 刮板
[0027] 25第一移动横梁（第一移动体）
[0028] 27第二移动横梁（第二移动体）
[0029] 29掩模摄像机
[0030] 31基板摄像机
[0031] 33掩模清洗器
[0032] Pt 膏
【具体实施方式】
[0033] 下面，参照附图对本实用新型的实施方式进行说明。图1、图2及图3所示的丝网 印刷机1为在基板2的电极2a上丝网印刷焊锡等膏Pt的装置，在基台11上，从由操作人 员0P观察到的左右方向（设为X轴方向）的左方朝向右方按顺序设置有搬送基板2的搬 入输送机12、定位输送机13及搬出输送机14。
[0034] 在图2及图3中，定位输送机13为经由单元移动机构15设置于基台11上的基板 保持单元16的构成要素，在基板保持单元16上，除定位输送机13之外，还具备下承接单元 17和一对夹持部件18。下承接单元17被下承接缸17a驱动进行升降，通过定位输送机13 从下方支承定位于作业位置的基板2。夹持部件18通过夹持部件开闭机构18a在对从操作 人员0P观察到的前后方向（设为Y轴方向）进行开闭，从Y轴方向夹持并保持由下承接单 元17支承的基板2。单元移动机构15由ΧΥ Θ机器人构成，使基板保持单元16相对于基台 11在水平面内移动，还使之相对于基台11进行升降。
[0035] 在图1、图2及图3中，在定位输送机13的上方以水平姿势保持掩模21。掩模21 由矩形的板状部件构成，由矩形框状的掩模框21w支承四边。在掩模21的中央部设有与基 板2的电极2a对应的多个图案孔21h。
[0036] 在图1中，在基板2上的一对角位置设有两个基板侧标记2m(在图1中仅图示一 侧），在掩模21上，与这两个基板侧掩模2m对应地设有两个掩模侧标记21m(在图1中仅图 示一个）。如果在使两个基板侧掩模2m和两个掩模侧标记21rn在上下对向的状态下使基 板2上升（通过单元移动机构15使保持基板2的基板保持单元16上升）并使基板2与掩 模21接触，则基板2的电极2a和掩模21的图案孔21h成为吻合的状态。
[0037] 在图1、图2及图3中，在掩模21的上方设有向X轴方向延伸的刮板基底22。在刮 板基底22的两端贯通螺入从基台11的前后左右的四角向上方延伸设置的被4个支柱11a 支承且向Y轴方向延伸的两个第一滚珠丝杠22a,在这两个第一滚珠丝杠22a通过两个第一 滚珠丝杠驱动电动机23同步旋转时，刮板基底22向Y轴方向移动。
[0038] 在图1、图2及图3中，在刮板基底22设有两个刮板24。两个刮板24分别由向X 轴方向延伸的篦状的部件构成，在Y轴方向对向配置。各刮板24通过安装于刮板基底22 的刮板升降缸24a分别进行升降。
[0039] 在掩模21的下方设有作为向X轴方向延伸的作为第一移动体的第一移动横梁25。 在第一移动横梁25的两端贯通螺入被上述的4个支柱11a支承且向Y轴方向延伸的两个 第二滚珠丝杠25a，这两个第二滚珠丝杠25a通过两个第二滚珠丝杠驱动电动机26同步旋 转时，第一移动横梁25向Y轴方向移动（以下，将第一移动横梁25移动的水平面称为第一 水平面S1)。
[0040] 在第一移动横梁25的下方设有作为向X轴方向延伸的作为第二移动体的第二移 动横梁27。在第二移动横梁27的两端贯通螺入被上述4个支柱11a支承且向Y轴方向延 伸的两个第三滚珠丝杠27a，这两个第三滚珠丝杠27a通过两个第三滚珠丝杠驱动电动机 28同步旋转时，第二移动横梁27向Y轴方向移动（以下，将第二移动横梁27移动的水平面 称为第二水平面S2)。
[0041] 在图1、图2及图3中，在第一移动横梁25上设有使摄像视野朝向上方的掩模摄 像机29。在掩模摄像机29的支承部29a贯通螺入沿第一移动横梁25设置的第四滚珠丝 杠25b，在该第四滚珠丝杠25b通过第四滚珠丝杠驱动电动机30旋转时，掩模摄像机29向 X轴方向移动。这样，掩模摄像机29通过两个第二滚珠丝杠25a的同步旋转和第四滚珠丝 杠25b的旋转，在掩模21下方的第一水平面S1内移动自如，从下方拍摄与基板2分离的状 态下的掩模21。
[0042] 在第二移动横梁27上设有使摄像视野朝向下方的基板摄像机31。在基板摄像机 31的支承部31a贯通螺入沿第二移动横梁27设置的第五滚珠丝杠27b，在该第五滚珠丝杠 27b通过第五滚珠丝杠驱动电动机32旋转时，基板摄像机31向X轴方向移动。这样，基板 摄像机31通过两个第三滚珠丝杠27a的同步旋转和第五滚珠丝杠27b的旋转，在掩模21 的下方（在第一水平面S1的更下方）的第二水平面S2内移动自如，从上方拍摄与掩模21 分离的状态下的基板2。
[0043] 在图1、图2及图3中，在第一移动横梁25上固定设置有向X轴方向延伸的掩模 清洗器33。掩模清洗器33在两个第二滚珠丝杠25a通过两个第二滚珠丝杠驱动电动机26 同步旋转时，与掩模摄像机29成为一体地在第一水平面S1内向Y轴方向移动。这样，掩模 清洗器33通过两个第二滚珠丝杠驱动电动机26的旋转，在掩模的下方的第一水平面S1内 移动自如，在与基板2分离的状态下的掩模21的下面滑动，进行掩模21的清洗。
[0044] 在图4中，掩模清洗器33具有在框体34内绕X轴旋转自如地设置的伸出侧的第 一卷轴35a及卷绕侧的第二卷轴35b、卷挂于这些第一卷轴35a和第二卷轴35b之间的纸部 件36及向X轴方向延伸并相对于框体34上下移动自如且在通过嘴上下移动机构37a向上 移动时将纸部件36的一部分向上方推压的嘴37而成。通过纸部件36的嘴37向上方推压 的部分成为与掩模21的下面接触的掩模接触面36a。该掩模接触面36a通过卷轴驱动电动 机35c将第一卷轴35a和第二卷轴35b向同一方向驱动，使纸部件36向Y轴方向前行，由 此可进行更新。
[0045] 在图5中，基板2的搬送及向作业位置的定位动作通过丝网印刷机1具备的控制 装置40进行搬入输送机12、定位输送机13、搬出输送机14的动作控制而实现，基板2的下 承接动作通过控制装置40进行下承接缸17a的动作控制而实现。另外，一对夹持部件18 进行的基板2的夹持动作通过控制装置40进行夹持部件开闭机构18a的动作控制而实现， 基板保持单元16在水平面内的移动动作和升降动作通过控制装置40进行单元移动机构15 的动作控制而实现。
[0046] 刮板基底22向Y轴方向的移动动作即两个刮板24向Y轴方向的移动动作通过控 制装置40进行两个第一滚珠丝杠驱动电动机23的动作控制而实现。另外，各刮板24相对 于刮板基底22的升降动作通过控制装置40进行刮板升降缸24a的动作控制而实现（图 5)。
[0047] 第一移动横梁25向Y轴方向的移动动作即掩模摄像机29和掩模清洗器33向Y 轴方向的移动动作通过控制装置40进行两个第二滚珠丝杠驱动电动机26的动作控制而实 现，掩模摄像机29向X轴方向的移动动作通过控制装置40进行第四滚珠丝杠驱动电动机 30的动作控制而实现。另外，第二移动横梁27向Y轴方向的移动动作即基板摄像机31向 Y轴方向的移动动作通过控制装置40进行两个第三滚珠丝杠驱动电动机28的动作控制而 实现，基板摄像机31向X轴方向的移动动作通过控制装置40进行第五滚珠丝杠驱动电动 机32的动作控制而实现。
[0048] 掩模摄像机29的摄像动作及基板摄像机31的摄像动作通过控制装置40控制，通 过掩模摄像机29的摄像动作获得的图像数据及通过基板摄像机31的摄像动作获得的图像 数据被送入控制装置40,在控制装置40的图像处理部40a进行图像处理（图5)。
[0049] 掩模清洗器33的嘴37的上下移动通过控制装置40进行嘴上下移动机构37a的 动作控制而实现，掩模清洗器33的使纸部件36行进并使卷挂于嘴37的上面的纸部件36 的掩模接触面36a更新的动作通过控制装置40进行卷轴驱动电动机35c的动作控制而实 现。另外，对嘴37内赋予真空压的负压供给动作通过控制装置40进行负压供给机构41的 动作控制而实现（图5)。
[0050] 下面，使用图6的流程图及图7?图11的动作说明图说明丝网印刷机1进行的丝 网印刷作业的执行顺序。控制装置40通过操作人员0P设置掩模21后，首先，使掩模摄像 机29在第一水平面S1内移动，通过掩模摄像机29从下方拍摄与基板2分离的状态下的掩 模21(图7(a)。如图6所示的步骤ST1)。在此，进行设于掩模21的两个掩模侧标记21m 的摄像，进行所得到的两个掩模侧标记21m的图像的图像识别，识别掩模21的位置。
[0051] 控制装置40在进行掩模摄像机29的掩模21的摄像，识别掩模21的位置后，通过 搬入输送机12搬入从丝网印刷机1的外部送来的基板2,通过定位输送机13将基板2定位 于作业位置后（步骤ST2)，通过基板保持单元16保持基板2 (图7 (b)。步骤ST3)。基板2 的保持通过下承接单元17支承下面（图7 (b)中所示的箭头A1)，通过夹持部件18夹持基 板2来进行（图7 (b)中所示的箭头B1)。
[0052] 控制装置40在通过基板保持单元16保持基板2后，使基板摄像机31在第二水平 面S2内移动，通过基板摄像机31从上方拍摄与掩模21分离的状态下的基板2 (图8 (a)。 步骤ST4)。在此，进行设于基板2的两个基板侧标记2m的摄像，进行所得到的两个基板侧 标记2m的图像的图像识别，识别基板2的位置。
[0053] 控制装置40与上述基板2的摄像并行，根据需要进行掩模清洗器33的掩模21的 清洗（图8 (b)。步骤ST5)。该掩模21的清洗在后述的步骤ST6?步骤ST9中对基板2印 刷膏Pt时，在对下一基板2执行丝网印刷之前擦拭附着于掩模21的下面的膏Pt的残渣。 在掩模21的清洗中，控制装置40通过嘴上下移动机构37a使掩模清洗器33的嘴37向上 移动，使其向框体34的上方突出，在使纸部件36的掩模接触面36a与掩模21的下面接触 的状态下，使第一移动横梁25向Y轴方向移动（图8(b)中所示的箭头C)。这时，控制装置 40为了增大掩模清洗器33对膏Pt的残渣的擦拭效果，使负压供给机构41动作，对嘴37进 行经由纸部件36的掩模接触面36a的膏Pt的真空吸引。
[0054] 这样，在本实施方式的丝网印刷机1中，掩模摄像机29和掩模清洗器33安装于在 掩模21的下方水平移动的第一移动横梁25上，基板摄像机31安装于在第一移动横梁25的 下方并与第一移动横梁25独立地水平移动的第二移动横梁27上，因此，能够使第一移动横 梁25和第二移动横梁27相互独立地移动，由此，能够一并进行基板摄像机31的基板2的 摄像（基板侧标记2m的摄像）和掩模清洗器33的掩模21的清洗。
[0055] 在此，掩模21的清洗如上述，通过执行丝网印刷，在进行下一丝网印刷之前擦拭 附着于掩模21的下面的膏Pt的残渣，因此，在设置了掩模21后最初进行的丝网印刷中，即 在掩模21的下面未附着膏Pt的状况下，能够省略步骤ST5的工序。另外，步骤ST5工序可 以每次均（即在每次结束一次丝网印刷后）执行，也可以在每结束数次丝网印刷后执行。在 未进行掩模21的清洗的情况下，在基板保持单元16进行的基板2保持（步骤ST3)后，仅 进行基板摄像机31进行的基板侧标记2m的摄像（步骤ST4)。另外，代替掩模21的清洗， 或接着掩模21的清洗，通过掩模摄像机29拍摄掩模21的下面整体，由此，也可以进行检查 掩模21的图案孔21h内的膏Pt的堵塞状态的掩模21的堵塞检查。
[0056] 控制装置40进行基板2的摄像，另外，根据需要在一并进行基板2的摄像和掩模 21的清洗后，使基板保持单元16在水平面内移动，以基板侧标记2m和掩模侧标记21m上下 对向的方式，相对于掩模21进行基板2的对位（步骤ST6)。而且，使基板保持单元16相对 于基台11上升（图9 (a)中所示的箭头D1)，使通过夹持部件18夹持并保持的基板2的上 面与掩模21的下面接触（图9(a)。步骤ST7)。由此，基板2上的电极2a和掩模21的图 案孔21h成为相吻合的状态。
[0057] 控制装置40在使基板2与掩模21接触后，通过刮板24向基板2上转印膏Pt (步 骤ST8)。该膏Pt的转印如下进行，S卩，在预先向掩模21供给膏Pt的状态下，使两个刮板 24中的一个向下移动，使其下端与掩模21的上面抵接（图9 (b)中所示的箭头E1)，在保持 该抵接状态的状态下使刮板基底22向Y轴方向移动（图10(a)中所示的箭头F)。由此， 膏Pt在掩模21上通过刮板24被刮起并向掩模21的图案孔21h内推入，向各基板2的电 极2a上转印。
[0058] 控制装置40在向基板2的电极2a转印膏Pt后，使与掩模21抵接的刮板24向上 移动之后（图10 (b)中所示的箭头E2)，通过单元移动机构15使基板保持单元16下降（图 11(a)中所示的箭头D2)，使基板2从掩模21分离进行脱版（步骤ST9)。而且，控制装置 40在进行脱版后，在打开夹持部件18之后（图11(b)中所示的箭头B2)，使下承接单元17 下降（图11 (b)中所示的箭头A2)，使基板2的两端降落于定位输送机13上，由此，解除基 板2的保持（图11 (b)。步骤ST10)。
[0059] 控制装置40在解除了基板2的保持后，通过单元移动机构15使基板保持单元16 在水平面内移动，在调整定位输送机13方向后从定位输送机13向搬出输送机14传送基板 2,将基板2搬出到丝网印刷机1的外部（步骤ST11)。然后，控制装置40在搬出基板2后， 进入等待新输送的基板2的等待状态（步骤ST12)。而且，在一定时间内有新输送的基板2 的情况下返回步骤ST2进行该基板2的搬入及定位，经过基板2的保持（步骤ST3)，进行基 板摄像机31进行的基板2的摄像（步骤ST4)、掩模清洗器33进行的掩模21的清洗（步骤 ST5)。另一方面，在步骤ST12中，在一定时间内没有新输送的基板2的情况下结束丝网印 刷作业。
[0060] 如以上说明的那样，在本实施方式的丝网印刷机1中，掩模摄像机29和掩模清洗 器33安装于在掩模21的下方水平移动的作为第一移动体的第一移动横梁25上，另一方 面，基板摄像机31安装于在第一移动横梁25的下方并与第一移动横梁25独立地水平移动 的作为第二移动体的第二移动横梁27上，能够使第一移动横梁25和第二移动横梁27彼此 独立地移动，因此，能够一并进行基板摄像机31进行的基板2的摄像和掩模清洗器33进行 的掩模21的清洗（或基板摄像机31进行的基板2的摄像和掩模摄像机29进行的掩模21 的摄像的掩模21的图案孔21h的堵塞检查）。因此，即使在进行掩模21的清洗（或掩模 21的堵塞检查）的情况下也不会延迟对于基板2的丝网印刷作业的开始，能够防止基板2 的生产率的降低。该效果在对细密间隔类的基板2进行丝网印刷的情况等，在每结束一次 的丝网印刷后需要执行掩模21的清洗的情况下成为特大的优势。
[0061] 此外，在上述的实施方式中，步骤ST4的基板摄像机31进行的基板2的摄像拍摄 通过基板保持单元16保持的基板2的基板侧标记2m，但是，在基板2的摄像中，可以包含用 于对印刷在基板2上的膏Pt的检查（检查膏Pt是否正常地被印刷）的摄像。
[0062] 工业上的可利用性
[0063] 本实用新型提供一种丝网印刷机，即使在进行了掩模的清洗或掩模堵塞检查的情 况下也不会延迟丝网印刷作业的开始，能够防止基板的生产率的降低。
【权利要求】
1. 一种丝网印刷机，使刮板在与基板的上面接触的掩模上滑动，在将膏转印至所述基 板上后，使所述基板从所述掩模分离，在所述基板上印刷膏，其特征在于，具备： 掩模摄像机，其从下方拍摄与所述基板分离的状态的所述掩模； 基板摄像机，其从上方拍摄与所述掩模分离的状态下的所述基板； 掩模清洗器，其在与所述基板分离的状态下的所述掩模的下面滑动，进行所述掩模的 清洗， 所述掩模摄像机和所述掩模清洗器安装于在所述掩模的下方水平移动的第一移动体 上， 所述基板摄像机安装于在所述第一移动体的下方与所述第一移动体独立地水平移动 的第二移动体上。
2. 如权利要求1所述的丝网印刷机，其特征在于， 通过使所述第一移动体和所述第二移动体相互独立地移动，一并进行所述基板摄像机 进行的所述基板的摄像和所述掩模清洗器进行的所述掩模的清洗或者所述基板摄像机进 行的所述基板的摄像和所述掩模摄像机进行的所述掩模的摄像。
3. 如权利要求1或2所述的丝网印刷机，其特征在于， 在所述基板摄像机进行的所述基板的摄像中，包括用于对印刷到所述基板的膏的检查 的摄像。
【文档编号】B41F15/08GK203888343SQ201420279867
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年5月28日 优先权日:2013年8月23日
【发明者】万谷正幸, 村上俊行, 村上稔 申请人:松下电器产业株式会社