专利名称：亚半微米光刻物镜的恒温水套的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，属于亚半微米分步重复投影光刻机光刻物镜高分辨力成像技术领域。
VLSI制造设备分步重复投影光刻机的光刻物镜具有很高的数值孔径，当周围环境温度波动，或自身由于长时间通光引起温度升高，都会引起焦点漂移，产生新的畸变和像散，造成成像质量下降，使其达不到应有的性能和光刻分辨力。
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，而提供一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，使物镜内部光学系统长时间工作温度恒定，不受外界环境温度波动影响，而保持光刻物镜的高分辨力特性。
本实用新型的目的可以通过以下技术措施实现物镜恒温水套包括有恒温水温度控制器、恒温水箱以及其上安装的水泵、管道和指示温度计，连通管道的上下水套紧套在物镜镜筒外面，上下水套中的水道通过镜筒中的孔道相连。
本实用新型也可以由以下技术措施实现上下水套的外面装有隔热层，它是由至少10层镀有高反射率物质薄膜捲成。
本实用新型也可通过以下技术措施实现上下水套中的水道为螺旋槽形水道。
本实用新型还可通过以下技术措施实现上下水套中的水道为弓形水道。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点使用本恒温水套，能使物镜在长时间通光，光学透镜元件和机械框受光照射后，温度不会升高，当环境温度变化时，由于恒温水套的恒温和隔热层的隔离作用，也会使内部光学元件和机械框温度保持不变，物镜焦点不会漂移，也不会产生新的畸变和像散，保持光学性能质量稳定，因此也保持了物镜的高分辨力特性不变。并且由于该装置起密封内部光学系统作用，可提供进行物镜内部的恒气压控制。
以下结合附图对本实用新型作进一步说明
图1为亚半微米光刻物镜恒温水套系统总体结构图。
图2为螺旋槽形水道恒温水套的结构图。
图3为弓形水道恒温水套的结构图。
如
图1所示亚半微米光刻物镜恒温水套系统由恒温水温度控制器1、恒温水箱2、水泵3、管道4和5、指示温度计6、上下水套7和10构成。物镜上水套7和下水套10紧套在物镜镜筒9外面，上水套7和下水套10中的水道11(或15)通过镜筒9中的孔道8相连。上水套7通过管道4连接水箱2，水箱2上安装的水泵3通过管道5连接下水套10。恒温水箱2中的恒温水温度由包含温度传感、制冷、加热和控制的恒温控制器1按使用者要求控制恒定，恒温水经水泵3通过管道5流入物镜下水套10，并经物镜镜筒9中的孔道8、上水套7和管道4，流回恒温水箱2，恒温水流经物镜的下上水套10、7时，通过下上水套与物镜镜筒、内部透镜框及光学透镜元件进行热交换，使物镜内部温度保持恒定。同时上下水套7和10还起密封内部作用，使镜筒9内的光学系统与外界大气隔绝，给物镜光学系统的恒气压控制提供了条件。
如图2所示水套由外壳13、隔热层12以及水套体14组成，隔热层12由至少10层(10-100层)镀高反射率物质薄膜捲成，以隔离周围环境对物镜温度的影响，水套中水道11为螺旋槽形水道，水在水套中沿水道流动，使整个物镜恒温。
如图3所示水套同样由外壳13、隔热层12以及水套体14组成，隔热层12由至少10层(10-100层)镀高反射率物质薄膜捲成，以隔离周围环境对物镜温度的影响，水套中水道15为弓形水道，水在水套中沿弓形水道流动，使整个物镜恒温。
权利要求1.亚半微米光刻物镜的恒温水套，包括有恒温水温度控制器(1)、恒温水箱(2)、以及其上安装的水泵(3)、管道(4)和(5)、指示温度计(6)，其特征在于连通管道(4)、(5)的上下水套(7)和(10)紧套在物镜镜筒(9)外面，上下水套(7)和(10)中的水道(11)、(15)通过镜筒(9)中的孔道(8)相连。
2.根据权利要求1所述的亚半微米光刻物镜恒温水套，其特征在于上下水套(7)和(10)的外面装有隔热层(12)，它是由至少10层镀有高反射率物质的薄膜捲成。
3.根据权利要求1或2所述的亚半微米光刻物镜恒温水套，其特征在于上下水套(7)和(10)中的水道(11)为螺旋槽形水道。
4.根据权利要求1或2所述的亚半微米光刻物镜恒温水套，其特征在于上下水套(7)和(10)中的水道(15)为弓形水道。
专利摘要一种亚半微米光刻物镜的恒温水套,由恒温水温度控制、恒温水箱、水泵和上下水套构成,它紧套在物镜镜筒外面,通过水套与物镜内部进行热交换,达到物镜内部温度恒定,从而保持物镜的光学性能质量稳定,克服了由于长时间通光或周围环境温度波动,引起物镜内部温度变化,造成焦点漂移,产生新的畸变和像散,使成像质量下降的缺点。
文档编号G02B7/02GK2432594SQ0022378
公开日2001年5月30日 申请日期2000年7月26日 优先权日2000年7月26日
发明者陈旭南, 余国彬, 张津 申请人:中国科学院光电技术研究所