专利名称：钟摆式数字曝光法的制作方法
技术领域：
本发明所属技术领域为微电子技术和半导体精密加工领域，利用钟摆式暴光法生产的数字胶卷可以替代一切传统相机所使用的银盐胶卷。
本发明的有益效果为不需要大幅提高加工精度和半导体精度，解决了数字胶卷的高成本及分辨率低下的问题。
具体实施例方式
为在CCD或CMOS感光板上用1 8微米或更细激光束精加工技术切割出500万象素的感光单元，将感光单元用钟摆式感光法在二分之一间具内重复暴光形成四个逻辑单元，即可将同级感光板提高四倍分辨率。
权利要求
1利用高频技术使CCD或CMOS感光板在亚二分之一感光单元面积内四次重复异步感光，并将四幅图象经过逻辑处理，产生四倍于感光精度的分辨率的图象效果。
2根据权利1所述技术方法设计的感光床，将感光单元在二分之一间距内形成四个RGB或逻辑单元将同级感光板提高分辨率四倍。
3根据权利二所述钟摆式暴光法可以解决进一步的提高感光精度已经受到加工精度和半导体精度的局限的问题。同时可以使感光板加工成本在同等分辨率的图象效果下大幅降低。
全文摘要
一种利用高频率的钟摆技术在同级感光板上，在亚二分之一间距内对同一RGB单元进行四次重复异步感光，经过逻辑处理提高图象分辨率的方法。在RGB感光板上将平均每三个感光板合成一个RGB单元，同时每个感光板分三层形成一个RGB单元，将RGB单元附着在钟摆式感光床上，钟摆式感光床在二分之一间距内重复感光，形成四个逻辑单元，即可将同级感光板提高四倍分辨率。
文档编号G03F7/20GK1466016SQ0212082
公开日2004年1月7日 申请日期2002年6月4日 优先权日2002年6月4日
发明者仇伟军, 路友谊 申请人:仇伟军, 路友谊