专利名称：荧光测量装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种荧光测量装置，用于通过使用激发光源来进行激光测量。
相关技术的说明在已知荧光测量装置中，设置在真空试样腔中的荧光体由紫外线激发，且由荧光体发射的荧光将通过光传感器测量，并通过数据处理单元进行分析，从而获得荧光强度、荧光光谱、色度坐标等。
图8表示了普通荧光测量装置的结构，它包括真空试样腔42，该真空试样腔42有试样台座41，荧光体40置于该试样台座41上；电源单元44和激发光源43，用于向荧光体40发射紫外线；检测光纤45；光传感器46，例如分光光度计；微计算机47，用作数据处理单元；彩色显示器48；以及打印机49。
当通过这样的普通荧光测量装置来测量多种类型的荧光体时，为了测量各个荧光体，将打开真空试样腔，并用新的荧光体更换在试样台座上的荧光体。而且，当测量相同试样的多个不同点时，将打开真空试样腔，以便使荧光体在试样台座上运动。
这样，每次更换或移动荧光体，都需要释放真空，然后再次对试样腔抽真空。这不仅增加了功率消耗，而且延长了测量的时间周期。
本发明的一个目的是提供一种荧光测量装置，它能够利用激发光源基本同时地测量在试样腔中的多个试样。
本发明的还一目的是提供一种荧光测量装置，它能够利用激发光源基本同时地测量在试样腔中的相同试样的多个点。
发明的公开(1)根据本发明的荧光测量装置包括试样台座，该试样台座可相对于激发光照射位置运动，且该试样台座布置成使多个试样可布置在它上面。
根据上述结构，通过使上面布置有多个试样的试样台座相对于激发光照射位置运动，可以连续对多个试样进行荧光测量，而不需要在试样腔中进行试样更换。这不仅缩短了整个测量的时间周期，而且节约了能量消耗。
当试样台座可旋转，且多个试样布置在试样台座的圆周位置上时，可以只通过简单的旋转操作而对多个试样进行荧光测量。
而且，可以布置有遮光部件，用于限制激发光照射的试样台座范围。该遮光部件可以防止激发光照射到置于试样台座上的其它试样上。
(2)根据本发明的荧光测量装置包括试样台座，该试样台座可相对于激发光照射位置运动；以及显微镜，用于限制对置于试样台座上的试样的荧光测量范围。
根据上述结构，显微镜可以限制由激发光照射的试样的荧光测量部分。通过使试样台座相对于激发光照射位置运动，可以对相同试样的多个点进行荧光测量。这不仅缩短了整个测量的时间周期，而且节约了能量消耗。
当还布置有(a)可视光源，用于将标记光照射在显微镜的荧光测量范围上；以及(b)标记光投射装置，使得能够更清楚地视觉认识试样的荧光测量部分。
附图的简要说明
图1是本发明的荧光测量装置的示意图，该荧光测量装置有旋转类型的试样台座；图2是表示试样台座2的结构的放大透视图；图3是试样放置盘3的局部剖视图；图4是覆盖试样和试样放置盘3的遮光板13的透视图；图5是表示怎样放置遮光板13的局部剖视图；图6是具有水平运动类型试样台座的荧光测量装置的示意图；图7是表示投射到面板上的标记点的视图，它已经通过CCD照相机进行照相，并显示在监视器显示装置上；以及图8是表示普通荧光测量装置的透视图。
优选实施例的说明下面将参考附图更详细地介绍本发明的实施例。
1.第一实施例图1是本发明的荧光测量装置的示意图，它有旋转类型的试样台座。
盘状不锈钢试样台座2可旋转地布置在真空试样腔1中。在该真空试样腔1的外部，轮子8通过真空密封件7安装在旋转轴6上。该轮子8进行人工驱动。旋转轴6有凹槽，这样，该旋转轴6停止在使得激发光照射到通孔2a上时的位置处。旋转轴6可以由步进电机通过齿轮、皮带等驱动。
真空试样腔1通过排气孔14而通过真空泵(未示出)减压至预定压力(大约10-2托)。测量在真空中进行，但是根据激发光的波长，也可以N2环境中进行。为了提供N2环境，通过可打开的进口孔12引入N2气体。真空试样腔1有观察窗(未示出)，通过该观察窗可以从外部观察荧光。
试样台座2在它的外周布置有多个(例如8个)通孔2a，作为试样放置部件的试样放置盘3可拆卸地装入这些通孔2a内。
例如，激发物灯(波长为146nm)用作激发光源4。
荧光测量装置有测量光纤15，用于通过透镜套筒16测量荧光。测量光纤15的末端与光传感器和数据处理单元相连。不过，该装置与图8中所示的普通装置相同，因此未在图1中表示。
图2是表示试样台座2的结构的放大透视图。
试样台座2是不锈钢盘，该盘的直径为220mm，厚度为大约16mm，且具有最多8个通孔2a，每个通孔的直径为20mm。试样放置盘3可插入到通孔2a中。插入该通孔2a中的试样放置盘3能够很容易地拔出和取下。如图3所示，各试样放置盘3有柱形凸起3a，以便插入通孔2a中；以及凹形部分3b，粉末试样将置于该凹形部3b中。
图4表示了覆盖试样放置盘3的遮光板13。该遮光板13覆盖布置在试样台座2上的试样放置盘3，并布置成使激发光照射范围限制在试样放置盘3的凹形部分3b上。因此，遮光板13有很小的窗口13a，激发光能够通过该窗口13a引入。由激发光源4发出的激发光具有展开角度。因此，遮光板13防止激发光照射到不进行测量的其它试样上。
图5是表示遮光板13布置成覆盖试样台座2上的试样放置盘3时的局部剖视图。遮光板13通过较长臂固定在真空试样腔1的壁上，且在遮光板13和试样台座2之间有预定距离。图5表示了激发光怎样通过纵向小窗口13a照射到试样上以及然后怎样产生荧光。
下面将介绍测量步骤。合适数目的试样放置盘3置于试样台座2的通孔2a上，各种荧光粉试样分别布置在凹形部分3b中。激发光源4打开，并观察一个试样的荧光光谱。当观察结束时，试样台座2旋转预定角度，并观察下一个试样的荧光光谱。这样，可以连续观察全部试样的荧光光谱。
2.第二实施例图6是具有水平运动类型试样台座的荧光测量装置的示意图。该水平运动类型的荧光测量装置不仅可以测量粉末状荧光体，而且可以测量板状荧光体，例如等离子体显示板(PDP)。
图6中的该装置与图1中的装置的主要区别在于图6中的装置的试样台座21并不旋转，而是可在X-Y平面中移动，且图6中的装置具有显微镜观察系统，该显微镜观察系统具有CCD监视器装置。在图6中，真空试样腔1和激发光源4的结构基本与图1中所示相同。
试样台座21可移动地安装在XY平台22上。该XY平台22通过XY驱动装置(旋转编码器)23而沿X方向和Y方向驱动。XY运动量显示在显示装置24上。
板状荧光体25布置在试样台座21上其预定位置处。
为了能够测量多个荧光体，试样台座21具有多个通孔2a，这些通孔2a的形成位置并不局限于特定位置。不过，在本实施例中，通孔2a形成为网格形式，而不是以同心形式。
显微镜观察系统包括显微镜26和微测量光纤27，用于观察在板上的荧光点；CCD照相机28，用于获取所观察的图像的图片；监视器显示装置29；形成标记点的可视光源(卤素灯等)30；标记光引入光纤31；以及宏观测量光纤32，该宏观测量光纤32的视野覆盖整个试样台座21。
宏观测量光纤32和穿过显微镜的微测量光纤27可以交替与作为光传感器的分光光度计33连接。
下面将介绍测量步骤。首先，打开CCD照相机28和监视器显示装置。板25置于试样台座29上预定位置处，并打开形成标记点的可视光源30。通过标记光引入光纤31将可视光源30的光引入显微镜26，然后在板25上投射标记点。
图7是表示投射到板上的标记点S1、S2的视图，该标记点的图片通过CCD照相机而获得，并显示在监视器显示装置29上。图7表示了在两个标记点S1、S2之间的间隙P是显微镜的焦点位置。
用户通过XY驱动装置而使XY平台22移动，这样，希望进行测量的板25部分到达焦点位置P。
这时，打开激发光源4，以便照射激发光而产生荧光。然后，由希望测量的板25部分产生的荧光光谱可以通过显微镜26和微测量光纤27而由分光光度计33进行测量。当照射激发光时，可以使用遮光板(见图4)，以便限制照射范围。
当希望观察整个板的荧光光谱时，将与分光光度计33相连的微测量光纤27从该分光光度计33上取下，然后使宏观测量光纤32与该分光光度计33相连(优选是，在该宏观测量时不使用遮光板)。
因此，已经介绍了本发明的实施例，但是本发明并不局限于这些实施例。例如，在第一实施例中的试样台座可旋转运动，但是它的运动方向并不局限于旋转。也就是，可以使用可水平运动的试样台座，甚至该试样台座不可旋转。而且，根据第一实施例，为了将试样布置在试样台座2上，使用了装入试样台座2中的试样放置盘3。不过，该试样台座可以提供有凹形部分，该凹形部分作为试样放置盘，试样将置于它上面。而且，可以并不在试样台座中形成凹形部分，而是试样可以直接放置在试样台座上。
根据第一和第二实施例，通过使用分光光度计来测量荧光光谱。也可以不是该荧光光谱，而是通过使用功率计来获得全部波长的荧光强度，通过使用单色计来获得特定波长的荧光强度，以及通过使用过滤比色计来获得彩色坐标。
而且，在本发明的范围内可以进行各种变化。
权利要求
1.一种荧光测量装置，其中，由激发光源发出的激发光照射在试样腔中的试样上，以便进行荧光测量，该荧光测量装置包括试样台座，该试样台座可相对于激发光照射位置运动，且该试样台座布置成使多个试样可布置在它上面。
2.根据权利要求1所述的荧光测量装置，其中试样台座可旋转，并布置成使多个试样置于试样台座上的同心位置处。
3.根据权利要求1所述的荧光测量装置，还包括遮光部件，用于限制激发光照射的试样台座范围。
4.一种荧光测量装置，其中，由激发光源发出的激发光照射在试样腔中的试样上，以便进行荧光测量，该荧光测量装置包括试样台座，该试样台座可相对于激发光照射位置运动；以及显微镜，用于限制对置于试样台座上的试样的荧光测量范围。
5.根据权利要求4所述的荧光测量装置，还包括标记光投射装置，用于将标记光照射在显微镜的荧光测量范围上。
全文摘要
一种荧光测量装置布置成通过使用激发光源而基本同时测量在试样腔中的多个试样或者相同试样的多个点。该荧光测量装置有在激发光照射位置处的旋转试样台座(2)，多个通孔(2a)形成于旋转试样台座(2)的圆周上，且试样放置单元(3)可插入各个通孔(2a)中。通过使试样台座(2)相对于激发光照射位置运动，可以对多个试样进行荧光测量，同时不需要在试样腔(1)中更换试样。
文档编号G02B21/06GK1556919SQ0380107
公开日2004年12月22日 申请日期2003年3月24日 优先权日2002年3月29日
发明者松树义彦, 藤村慎二, 二 申请人:大塚电子株式会社, 大 电子株式会社