专利名称：一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学显微镜，特别涉及一种可提供多色宏观检查光源的晶 圆检查光学显微镜。背景技水在半导体器件制作完成后，需通过晶圆检查光学显微镜对其进行外观检查， 以检出具有明显会影响器件质量的外观缺陷，所述外观缺陷包括破损、裂紋、 划痕、附着物或污染等，对所述外观缺陷的检查包括宏观检查和微观检查。现晶圆检查光学显微镜中用于提供宏观检查的宏观光源模块只提供白光， 通常的晶圆只在白光下就能检查出其上的外观缺陷，但像生成有反射型液晶(Liquid Crystal on Silicon, LCOS )芯片等元件的晶圓只有在绿光下才更容易发 现外观缺陷，故只提供白光进行宏观检查难以确保晶圓芯片上的外观缺陷被完 全检查出来。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学 显微镜，通过所述晶圆检查光学显微镜可大大提高宏观检查的精确性。本实用新型的目的是这样实现的 一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检 查光学显微镜，该光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、 用于对晶圓进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圓至检查区域的晶圓载 送机构以及用于控制宏观检查单元、微观检查单元、晶圆栽送机构对晶圆进行 检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光' 源模块，该宏观光源模块包括光源灯以及连接在光源灯上的光源输出单元，该 宏观光源模块的光源灯为多色灯，该宏观光源模块还包括一连接至光源灯的光 源颜色选择单元，用于供使用者选用光源灯的颜色。
在上述的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜中，该光源灯为发光二级管(Light-Emitting Diode, LED)。在上述的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜中，该光源输出 单元为光纤。与现有的晶圆检查光学显微镜只提供白光进行宏观检查而使有些晶圆上的 外观缺陷很难被检出相比，本实用新型中提供了多色光进行宏观检查，使用者 可依据晶圆上不同的芯片选用不同颜色的光，如此可确保晶圆检查光学显微镜 进行宏观检查的精确性和可靠性。
本实用新型的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜由以下的实 施例及附图给出。图1为本实用新型的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜的方 框图；图2为图1中宏观光源模块的方框图。
具体实施方式
以下将对本实用新型的可提供多色宏观检查光源的晶圓检查光学显微镜作 进一步的详细描述。参见图1，本实用新型的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜l 包括宏观检查单元IO、微观检查单元ll、晶圓载送机构12和控制模块13。宏观检查单元10用于进行晶圓的宏观检查，其包括宏观光源模块100和宏 观检查台101。宏观光源模块IOO用于提供宏观检查的光源。宏观检查台101用 于置放晶圆进行宏观检查，其在宏观光源模块100所提供的光照射下进行旋转， 以供多角度的对晶圆进行宏观检查。微观检查单元11用于进行晶圓的微观检查。晶圓载送机构12用于载送晶圆至检查区域，当进行宏观检查时，晶圆载送 机构12将晶圆载送至宏观检查台IOI上，当进行孩i观检查时，晶圓载送机构12 将晶圆载送至微观检查单元11 。 控制模块13用于控制宏观检查单元10、微观检查单元11、晶圆载送机构 12对晶圆进行宏观检查和微观检查。参见图2,上述宏观光源模块100包括光源灯100a、光源输出单元100b和 光源颜色选择单元100c，其中，所述光源灯100a为多色灯，所述光源输出单元 100b连接在光源灯100a上，所述光源颜色选择单元100c连"l矣至光源灯100a上， 用于供使用者选用光源灯100a的颜色。较佳的所述光源灯100a可实施为多色 发光二级管，所述光源输出单元100b可实施为光纤。以下将详述通过本实用新型的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显 微镜l对晶圆进行检查的过程首先，通过晶圆载送机构12将晶圆载送至宏观 检查台101上；然后，通过光源颜色选择单元100c选择所检芯片应使用的光源 100a;接着，宏观检查台101旋转以供使用者在光源100a所提供的光下对所检 晶圆进行多方位的宏观检查；之后通过晶圆载送机构12将晶圆载送至微观检查 单元11进行微观检查。综上所述，本实用新型提供了多色光进行宏观检查，使用者可依据不同的 芯片选用不同颜色的光，如此可确保晶圓检查光学显微镜进行宏观检查的精确 性和可靠性。
权利要求1、一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜，该光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制宏观检查单元、微观检查单元、晶圆载送机构对晶圆进行检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括光源灯以及连接在光源灯上的光源输出单元，其特征在于，该宏观光源模块的光源灯为多色灯，该宏观光源模块还包括一连接至光源灯的光源颜色选择单元，用于供使用者选用光源灯的颜色。
2、 如权利要求1所述的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜， 其特征在于，该光源灯为发光二级管。
3、 如权利要求1所述的可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜， 其特征在于，该光源输出单元为光纤。
专利摘要本实用新型公开了一种可提供多色宏观检查光源的晶圆检查光学显微镜。现有的晶圆检查光学显微镜只能提供白光进行宏观检查致使有些晶圆表面的缺陷很难被检查出来。本实用新型的晶圆检查光学显微镜包括用于对晶圆进行宏观检查的宏观检查单元、用于对晶圆进行微观检查的微观检查单元、用于载送晶圆至检查区域的晶圆载送机构以及用于控制上述构件进行晶圆检查的控制模块，其中，该宏观检查单元具有用于提供宏观检查光源的宏观光源模块，该宏观光源模块包括互连的光源灯和光源输出单元以及用于供使用者选用光源灯颜色的光源颜色选择单元，其中，该宏观光源模块的光源灯为多色灯。采用本实用新型能提高晶圆检查光学显微镜进行宏观检查的精确性和可靠性。
文档编号G02B21/06GK201035212SQ20072006798
公开日2008年3月12日 申请日期2007年3月20日 优先权日2007年3月20日
发明者庄祈龙, 俊 许, 亮 陈 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司